Общ преглед на проекта
Този интегриран проект за третиране на вода е инсталиран в производствения обект на Chengdu Xinhai Gongcheng Technology и се състои от две независими системи:
- Система за третиране на отпадъчни води от полупроводникови производствени процеси: 2 м³/ч
- Система за производство на промишлена чиста вода: 32 м³/ч
Системата за третиране на отпадъчни води отговаря на изискванията за непряк отток, определени в GB 39731-2020 – Стандарт за отток на водни замърсители за електронната индустрия, което позволява съответстващ отток към градската мрежа за отпадъчни води.
Процес на третиране на отпадъчни води
Изравняване на отпадъчните води → Неутрализация на pH → Коагулация → Успокояване → Филтрация чрез многослойен филтър → Филтрация чрез активиран въглен → Прецизна картридж-филтрация → Съответстващ отток
Процес на производство на чиста вода
Предварителна обработка на суровата вода → Многостепенна очистка → Доставка на промишлена чиста вода
Интегрираното решение едновременно гарантира производствена вода високо качество и съответстващ отток на отпадъчни води за операциите по производство на полупроводникови устройства.
Функции за автоматизация
Системата е оснастена с напълно автоматизирана PLC контролна платформа, която включва:
- Онлайн мониторинг на качеството на водата
- Автоматично дозиране на химикали
- Интелигентно включване/изключване на оборудването
- Непрекъснато 24-часово функциониране
- Стабилна производителност при променливи експлоатационни условия
- Ниски нужди за поддръжка
Проектирана за непрекъснато производство на полупроводници, системата осигурява надеждна работа с минимално намеса от страна на оператора.
Приложения
Това интегрирано решение за третиране на вода е специално проектирано за:
- Производство на полупроводници
- Изработка и тестване на интегрални схеми
- Производство на микроелектроника
- Производство на прецизни електронни компоненти
- Лаборатории за научни изследвания и разработки в областта на полупроводниците
Подходящи източници на отпадъчни води включват:
- Отпадъчни води от травене на чипове
- Отпадъчни води от почистване на пластина
- Отпадъчни води от шлифоване и полиране
- Леко органично процесно отпадъчно водно състояние
- Кисели и алкални отпадъчни води от процеси на почистване
Приложената система за чиста вода осигурява висококачествена процесна вода, необходима за производството на полупроводници, което позволява на производителите да постигнат както качество на производствената вода, така и съответствие с екологичните изисквания.
Решението е особено подходящо за:
- Нови производствени обекти за полупроводници
- Модернизации на системи за третиране на вода
- Интегрирани проекти за чиста вода и третиране на отпадъчни води
- Проекти за съответствие с GB 39731-2020
- Обекти за полупроводници в целия югозападен регион на Китай
Описание на проекта
Chengdu Xinhai Gongcheng Technology се специализира в изследванията, опаковането и прецизното производство на полупроводникови чипове. Производствените процеси изискват непрекъснато доставяне на високочиста процесна вода, като едновременно с това се генерират отпадъчни води от производството на полупроводници при почистването на оборудването и производствените операции.
След въвеждането на стандарта GB 39731-2020 – Стандарт за изхвърляне на водни замърсители от електронната индустрия съществуващите уредби за пречистване на водата на клиента вече не бяха в състояние постоянно да изпълняват новите изисквания за непряко изхвърляне. За да се гарантира съответствие с нормативните изисквания и едновременно да се осигури надеждно доставяне на производствена вода, компанията имаше нужда от напълно интегрирано решение, което обединява пречистване на отпадъчни води и производство на промишлена чиста вода.
Въз основа на работните условия на завода и най-новите нормативни изисквания BHP проектира комплексна система за пречистване на вода, която включва уредба за пречистване на отпадъчни води с капацитет 2 m³/ч, интегрирана със система за производство на промишлена чиста вода с капацитет 32 m³/ч.
Процесът за пречистване на отпадъчните води започва с уравнителен резервоар, който изравнява дебита и характеристиките на отпадъчните води, като минимизира хидравличните и замърсителните колебания. След това отпадъчните води преминават през прецизна корекция на pH и неутрализация, последвана от добавяне на специализирани коагуланти за отстраняване на увисналите твърди частици, фините органични замърсители и колоидните частици чрез коагулация и кларификация.
След кларификацията пречистената вода преминава през серия мултимедийни филтри, филтри с активен въглен и прецизни картридж филтри, които осигуряват напреднала полировка и гарантират постоянна съответност с изискванията за непряк отток, посочени в GB 39731-2020.
Приложената промишлена система за чиста вода с производителност 32 m³/ч доставя висококачествена технологична вода за производството на полупроводникови устройства, прецизно почистване и свързани производствени процеси, което допринася за поддържане на качеството на продуктите и добивността при производството.
И двете системи са интегрирани в компактна, напълно автоматизирана платформа с интелигентни контроли, базирани на PLC, автоматично управление на процесите и работа без наблюдение. Интегрираната конструкция минимизира експлоатационните разходи, като осигурява надеждна дългосрочна производителност.
От пускането си в експлоатация проектът постоянно постига стабилно отвеждане на отпадъчни води, напълно съответстващо на стандарта GB 39731-2020, и непрекъснато доставя висококачествена промишлена чиста вода за производствени нужди. Интегрираното решение е позволило на клиента успешно да изпълни изискванията при екологичните проверки, да подобри надеждността на производството и да постигне едновременна съответност както в доставката на вода, така и в управлението на отпадъчните води.
Днес проектът служи като отличен пример за интегрирани системи за третиране на отпадъчни води и производство на чиста вода за малки и средни производители на полупроводникови устройства в Ченду и целия югозападен регион на Китай.
EN
