Обзор проекта
Этот интегрированный проект водоподготовки установлен на производственном объекте компании Chengdu Xinhai Gongcheng Technology и состоит из двух независимых систем:
- Система очистки сточных вод для полупроводниковой промышленности: 2 м³/ч
- Система производства промышленной деионизированной воды: 32 м³/ч
Система очистки сточных вод соответствует требованиям стандарта GB 39731-2020 «Нормы сброса загрязняющих веществ в водные объекты для электронной промышленности» к непрямому сбросу, что позволяет осуществлять сброс очищенных стоков в городскую канализационную сеть.
Процесс очистки сточных вод
Уравнивание сточных вод → нейтрализация pH → коагуляция → осветление → фильтрация через многослойный фильтр → фильтрация через активированный уголь → точечная картриджная фильтрация → сброс в соответствии с нормативами
Процесс получения чистой воды
Предварительная очистка исходной воды → многоступенчатая очистка → подача промышленной чистой воды
Комплексное решение одновременно обеспечивает производство воды высокого качества и сброс сточных вод в соответствии с нормативными требованиями для предприятий по производству полупроводников.
Особенности автоматизации
Система оснащена полностью автоматизированной платформой управления на базе ПЛК, включающей:
- Онлайн-мониторинг качества воды
- Автоматическая дозировка химических реагентов
- Интеллектуальный пуск/останов оборудования
- Непрерывная работа в течение 24 часов
- Стабильная производительность при изменяющихся эксплуатационных условиях
- Низкие требования к техническому обслуживанию
Система разработана специально для непрерывного производства полупроводников и обеспечивает надёжную работу с минимальным участием оператора.
Области применения
Это комплексное решение по очистке воды специально предназначено для:
- Производства полупроводников
- Производственные мощности по упаковке и тестированию ИС
- Производство микроэлектроники
- Производство прецизионных электронных компонентов
- Лаборатории НИОКР в области полупроводников
Подходящие источники сточных вод включают:
- Стоки от травления чипов
- Стоки от очистки пластин
- Стоки от шлифовки и полировки
- Сточные воды с незначительным содержанием органических веществ
- Кислых и щелочных промывных сточных вод
Встроенная система деионизированной воды обеспечивает высококачественную технологическую воду, необходимую для производства полупроводников, что позволяет производителям одновременно соблюдать требования к качеству технологической воды и экологическим нормам.
Решение особенно подходит для:
- Новые производственные мощности по выпуску полупроводников
- Модернизация систем очистки воды
- Комплексные проекты по производству ультрачистой воды и очистке сточных вод
- Проекты по обеспечению соответствия стандарту GB 39731-2020
- Полупроводниковые производственные мощности по всему юго-западу Китая
Описание проекта
Chengdu Xinhai Gongcheng Technology специализируется на исследованиях, упаковке и прецизионном производстве полупроводниковых чипов. Её производственные процессы требуют непрерывной подачи технологической воды высокой степени чистоты, а также сопровождаются образованием сточных вод от полупроводниковых процессов при мойке оборудования и выполнении производственных операций.
После вступления в силу стандарта GB 39731-2020 «Нормативы сброса загрязняющих веществ с промышленными сточными водами для электронной промышленности» существующие очистные сооружения заказчика более не могли стабильно обеспечивать выполнение новых требований к непрямому сбросу. Для соблюдения нормативных требований и одновременного сохранения надёжного снабжения производственной водой компании потребовалось комплексное решение, объединяющее очистку сточных вод и производство промышленной ультрачистой воды.
На основе условий эксплуатации завода и последних нормативных требований BHP разработала комплексную систему очистки воды, включающую установку по очистке сточных вод мощностью 2 м³/ч, интегрированную с промышленной системой получения чистой воды мощностью 32 м³/ч.
Процесс очистки сточных вод начинается с уравнительного резервуара, который выравнивает расход и характеристики сточных вод, минимизируя гидравлические и загрязняющие колебания. Затем сточные воды проходят точную корректировку pH и нейтрализацию, после чего вводятся специализированные коагулянты для удаления взвешенных веществ, мелких органических загрязнителей и коллоидных частиц путём коагуляции и отстаивания.
После отстаивания очищенная вода проходит через серию многослойных фильтров, фильтров с активированным углём и прецизионных картриджных фильтров, обеспечивая продвинутую доочистку и стабильное соответствие требованиям к непрямому сбросу, установленным стандартом GB 39731-2020.
Сопутствующая промышленная система очистки воды производительностью 32 м³/ч обеспечивает высококачественную технологическую воду для производства полупроводников, точной очистки и связанных с ними производственных процессов, способствуя поддержанию качества продукции и выхода годной продукции.
Обе системы интегрированы в компактную полностью автоматизированную платформу с интеллектуальным управлением на базе ПЛК, автоматическим управлением процессами и работой без постоянного присутствия оператора. Интегрированная конструкция минимизирует эксплуатационные расходы, обеспечивая при этом надёжную долгосрочную работу.
С момента ввода в эксплуатацию проект постоянно обеспечивает стабильный сброс сточных вод, полностью соответствующий стандарту GB 39731-2020, а также непрерывно поставляет высококачественную промышленную очищенную воду для производственных нужд. Интегрированное решение позволило заказчику успешно выполнить требования экологического надзора, повысить надёжность производства и одновременно обеспечить соответствие нормативным требованиям как в области водоснабжения, так и в области управления сточными водами.
Сегодня проект служит отличным примером для комплексных систем очистки сточных вод и получения чистой воды для небольших и средних производителей полупроводников в Чэнду и по всему юго-западу Китая.
EN
