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이 통합 수처리 프로젝트는 청두 신하이 공청 테크놀로지 제조 시설에 설치되었으며, 두 개의 독립된 시스템으로 구성됨:
폐수 처리 시스템은 전자 산업을 위한 수질 오염물 배출 기준(GB 39731-2020)의 간접 배출 요건을 준수하여, 시정 폐수 관망으로의 적법한 배출이 가능함.
폐수 처리 공정
폐수 균질화 → pH 중화 → 응집 → 침전 → 다중 매체 여과 → 활성탄 여과 → 정밀 카트리지 여과 → 기준 충족 배출
순수수 제조 공정
원수 전처리 → 다단계 정제 → 산업용 순수수 공급
이 통합 솔루션은 반도체 제조 공정에서 고품질 생산용수와 기준을 충족하는 폐수 배출을 동시에 보장합니다.
이 시스템은 완전 자동화된 PLC 제어 플랫폼을 갖추고 있으며, 다음 기능을 포함합니다:
반도체 연속 제조를 위해 설계된 이 시스템은 최소한의 운영자 개입으로 신뢰성 높은 운전을 제공합니다.
이 통합 수처리 솔루션은 다음 용도로 특별히 설계되었습니다:
적합한 폐수 원천에는 다음이 포함됨:
동반되는 순수수 시스템은 반도체 생산에 필요한 고품질 공정용 수를 공급하여 제조사가 생산용 수의 품질과 환경 규제 준수를 동시에 달성할 수 있도록 지원함.
해당 솔루션은 특히 다음에 적합함:
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청두 신하이공정 기술은 반도체 칩 연구, 패키징, 정밀 제조를 전문으로 한다. 이 업체의 생산 공정에서는 장비 세척 및 제조 작업 과정에서 고순도 공정용수를 지속적으로 공급해야 하며, 동시에 반도체 공정 폐수도 발생시킨다.
전자산업용 수질오염물질 배출기준(GB 39731-2020) 시행 후, 고객사 기존 처리 시설은 새로운 간접 배출 기준을 일관되게 충족시키지 못하게 되었다. 규제 준수를 확보하면서도 안정적인 생산용수 공급을 유지하기 위해, 폐수 처리와 산업용 순수수 생산을 통합한 종합 솔루션이 필요했다.
식물의 운영 조건과 최신 규제 요구 사항을 기반으로 BHP는 2 m³/h 폐수 처리 시설과 32 m³/h 산업용 순수 수 생산 시스템이 통합된 종합적인 수처리 시스템을 설계하였다.
폐수 처리 공정은 유량 및 폐수 특성을 균형 있게 조절하는 조정조에서 시작하여, 유압 및 오염물질 변동을 최소화한다. 이후 폐수는 정밀한 pH 조정 및 중화 과정을 거치고, 응집제를 특수하게 첨가하여 응집 및 침전을 통해 부유 고형물, 미세 유기 오염물질 및 콜로이드 입자를 제거한다.
침전 후 처리된 물은 다중 매체 여과기, 활성탄 여과기, 정밀 카트리지 여과기를 차례로 통과하며 고도 정제가 이루어지고, GB 39731-2020에서 규정한 간접 배출 요건에 지속적으로 부합하도록 보장한다.
동반되는 32 m³/h 산업용 순수수 시스템은 반도체 제조, 정밀 세정 및 관련 생산 공정에 고품질 공정용 수자원을 공급하여 제품 품질과 제조 수율을 유지하는 데 기여한다.
두 시스템 모두 PLC 기반 지능형 제어, 자동 공정 관리, 무인 운전 기능을 갖춘 소형 완전 자동화 플랫폼에 통합되어 있다. 통합 설계는 운영 비용을 최소화하면서도 신뢰성 높은 장기 성능을 제공한다.
가동 이후 이 프로젝트는 GB 39731-2020 기준을 완전히 충족하는 안정적인 폐수 배출을 지속적으로 달성해 왔으며, 동시에 생산에 필요한 고품질 산업용 순수수를 꾸준히 공급해 왔다. 통합 솔루션을 통해 고객사는 환경 점검 요건을 성공적으로 충족하고, 생산 신뢰성을 개선하며, 급수 및 폐수 관리 양쪽 모두에서 동시 준수를 달성하였다.
오늘날 이 프로젝트는 청두 및 중국 서남 지역의 중소형 반도체 제조업체를 위한 통합 폐수 처리 및 순수수 시스템의 훌륭한 벤치마크가 되고 있다.
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