Pregled projekta
Ta integrirani projekt za čiščenje vode je bil nameščen na proizvodnem objektu podjetja Chengdu Xinhai Gongcheng Technology in sestavljen iz dveh neodvisnih sistemov:
- Sistem za čiščenje odpadne vode iz polprevodniške industrije: 2 m³/h
- Sistem za proizvodnjo industrijske čiste vode: 32 m³/h
Sistem za čiščenje odpadne vode izpolnjuje zahteve za posredno izpuščanje iz standarda GB 39731-2020 – Standard za izpuščanje onesnaževalcev v vodi za elektronsko industrijo, kar omogoča skladno izpuščanje v mestno omrežje za odpadno vodo.
Postopek čiščenja odpadne vode
Izravnavanje odpadne vode → Nevtralizacija pH → Koagulacija → Razjasnitev → Večplastno filtriranje → Filtriranje z aktivnim ogljem → Natančno patronsko filtriranje → Skladno izpuščanje
Postopek proizvodnje čiste vode
Predobdelava surove vode → Večstopenjska očistitev → Dobava industrijske čiste vode
Integrirana rešitev hkrati zagotavlja visokokakovostno proizvodno vodo in skladno izpuščanje odpadne vode za proizvodnjo polprevodnikov.
Funkcije avtomatizacije
Sistem je opremljen s popolnoma avtomatizirano PLC krmilno platformo, ki vključuje:
- Spletno spremljanje kakovosti vode
- Samodejno dodajanje kemikalij
- Inteligenčen zagon/ustavitev opreme
- Neprekinjen 24-urni obrat
- Stabilno delovanje pri spremenljivih obratovalnih pogojih
- Nizek zahtevnost vzdrževanja
Zasnovan za neprekinjeno proizvodnjo polprevodnikov, sistem zagotavlja zanesljivo delovanje z minimalnim poseganjem operaterja.
Uporabe
To integrirano rešitev za čiščenje vode je posebej zasnovana za:
- Proizvodnja polprevodnikov
- Izdelavo in preskušanje integriranih vezij (IC)
- Proizvodnjo mikroelektronike
- Proizvodnjo natančnih elektronskih komponent
- Laboratorije za raziskave in razvoj (R&D) polprevodnikov
Ustrezni viri odpadne vode vključujejo:
- Odpadno vodo iz etšanja čipov
- Odpadno vodo iz čiščenja ploščic (wafer)
- Odpadno vodo iz brušenja in lakanja
- Blaga organska odpadna voda iz procesov
- Kislih in alkalnih odpadnih voda iz čistilnih procesov
Spremljajoči sistem za čisto vodo zagotavlja visokokakovostno procesno vodo, potrebno za proizvodnjo polprevodnikov, kar omogoča proizvajalcem doseči tako kakovost proizvodne vode kot skladnost z okoljskimi predpisi.
Rešitev je posebno primerna za:
- Nove naprave za proizvodnjo polprevodnikov
- Nadgradnje sistemov za obrabo vode
- Integrirani projekti za čisto vodo in obrabo odpadne vode
- Projekti za skladnost z GB 39731-2020
- Naprave za polprevodnike po celotni jugozahodni Kitajski
Opis projekta
Chengdu Xinhai Gongcheng Technology se specializira za raziskave čipov za polprevodnike, pakiranje in natančno proizvodnjo. Njene proizvodne metode zahtevajo neprekinjen dobavni tok visokokakovostne procesne vode, hkrati pa pri čiščenju opreme in proizvodnih operacijah nastaja odpadna voda iz procesov za polprevodnike.
Po uvedbi standarda GB 39731-2020 – Standard za izpuščanje onesnaževalcev v vodi za elektronsko industrijo obstoječe obrati strankinega podjetja niso več bile zmožne dosledno izpolnjevati novih zahtev za posredno izpuščanje. Za zagotovitev skladnosti z zakonodajo ter hkrati zanesljive oskrbe z proizvodno vodo je podjetje potrebovalo popolnoma integrirano rešitev, ki združuje čiščenje odpadne vode in proizvodnjo industrijske čiste vode.
Na podlagi obratovalnih pogojev obrata in najnovejših predpisov je BHP zasnovalo celovit sistem za čiščenje vode, sestavljen iz obrata za čiščenje odpadne vode zmogljivosti 2 m³/h, integriranega z sistemom za proizvodnjo industrijske čiste vode zmogljivosti 32 m³/h.
Postopek čiščenja odpadne vode se začne z izravnalnim rezervoarjem, ki uravna pretok in lastnosti odpadne vode ter zmanjša hidravlične in onesnaževalne nihanja. Nato se odpadna voda natančno prilagodi glede pH in nevtralizira, nato pa se doda specializirani koagulanti za odstranitev suspendiranih trdnih delcev, drobnih organskih onesnaževalcev in koloidnih delcev s procesoma koagulacije in razjasnjevanja.
Po razjasnjevanju se očiščena voda filtrira skozi večstopenjske filtre, filtre z aktivnim ogljem in natančne patronne filtre, kar omogoča napredno poliranje in zagotavlja stalno skladnost z zahtevami za posreden izliv, določenimi v standardu GB 39731-2020.
Spremljajoči industrijski sistem za čisto vodo zmogljivosti 32 m³/h zagotavlja visokokakovostno tehnološko vodo za proizvodnjo polprevodnikov, natančno čiščenje in povezane proizvodne postopke ter tako pomaga ohranjati kakovost izdelkov in izkoristek proizvodnje.
Oba sistema sta integrirana v kompaktno, popolnoma avtomatizirano platformo z inteligentnimi krmilniki na osnovi PLC, avtomatskim upravljanjem procesov in delovanjem brez osebja. Integrirana konstrukcija zmanjšuje obratovalne stroške, hkrati pa zagotavlja zanesljivo dolgoročno delovanje.
Od vzpostavitve projekta se izpuščanje odpadnih voda redno izvaja stabilno in v skladu z zahtevami standarda GB 39731-2020, hkrati pa se neprekinjeno dobavlja industrijska čista voda visoke kakovosti za proizvodnjo. Integrirana rešitev omogoča stranki uspešno izpolnjevanje zahtev okoljskih nadzornih organov, izboljšanje zanesljivosti proizvodnje ter hkratno skladnost v oblasti oskrbe z vodo in ravnanja z odpadnimi vodami.
Danes ta projekt služi kot odličen referenčni primer integriranih sistemov za čiščenje odpadnih vod in proizvodnjo čiste vode za male in srednje velike proizvajalce polprevodnikov v Chengduju in celotni jugozahodni Kitajski.
EN
