Projektübersicht
Dieses integrierte Wasseraufbereitungsprojekt wurde in der Produktionsstätte von Chengdu Xinhai Gongcheng Technology installiert und besteht aus zwei unabhängigen Systemen:
- Halbleiter-Abwasserbehandlungssystem: 2 m³/h
- Industrielles Reinstwassererzeugungssystem: 32 m³/h
Das Abwasserbehandlungssystem erfüllt die Anforderungen an indirekte Einleitungen gemäß GB 39731-2020 – Emissionsstandard für Wasserstoffschadstoffe der Elektronikindustrie und ermöglicht so eine konforme Einleitung in das kommunale Abwassernetz.
Abwasserbehandlungsprozess
Abwasserausgleich → pH-Neutralisation → Koagulation → Klärung → Mehrschichtfiltration → Aktivkohlefiltration → Präzisionskartuschenfiltration → Einhaltung der Einleitvorschriften
Reinstwassererzeugungsprozess
Rohwasservorbehandlung → mehrstufige Reinigung → industrielle Reinstwasserversorgung
Die integrierte Lösung gewährleistet gleichzeitig hochwertiges Produktionswasser und die einhaltungskonforme Abwassereinleitung für Halbleiterfertigungsanlagen.
Automatisierungsfunktionen
Das System ist mit einer vollautomatisierten SPS-Steuerungsplattform ausgestattet, die folgende Merkmale bietet:
- Online-Wasserqualitätsüberwachung
- Automatische Chemikaliendosierung
- Intelligente Gerätestart-/Stoppsteuerung
- Kontinuierlicher 24-Stunden-Betrieb
- Stabile Leistung unter wechselnden Betriebsbedingungen
- Niedrige Wartungsanforderungen
Für den kontinuierlichen Halbleiterfertigungsprozess konzipiert, gewährleistet das System zuverlässigen Betrieb mit minimalem manuellem Eingriff.
Anwendungen
Diese integrierte Wasseraufbereitungslösung ist speziell ausgelegt für:
- Halbleiterfertigung
- IC-Verpackungs- und -Testeinrichtungen
- Mikroelektronikfertigung
- Herstellung präziser elektronischer Komponenten
- Halbleiter-F&E-Laboratorien
Geeignete Abwasserquellen umfassen:
- Chip-Ätzabwasser
- Wafer-Reinigungsabwasser
- Schleif- und Polierabwasser
- Mildes organisches Prozessabwasser
- Säure- und alkalihaltigem Reinigungsabwasser
Das zugehörige Reinstwassersystem liefert hochwertiges Prozesswasser, das für die Halbleiterfertigung erforderlich ist, und ermöglicht es Herstellern, sowohl die geforderte Produktionswasserqualität als auch die Umweltvorschriften einzuhalten.
Die Lösung eignet sich besonders für:
- Neue Halbleiterfertigungsanlagen
- Modernisierungen von Wasseraufbereitungssystemen
- Integrierte Projekte für Reinstwasser- und Abwasseraufbereitung
- Konformitätsprojekte gemäß GB 39731-2020
- Halbleiteranlagen im gesamten Südwesten Chinas
Projektbeschreibung
Chengdu Xinhai Gongcheng Technology spezialisiert sich auf die Forschung, das Verpacken und die präzise Fertigung von Halbleiterchips. Ihre Produktionsprozesse erfordern eine kontinuierliche Versorgung mit hochreinem Prozesswasser und erzeugen gleichzeitig Halbleiter-Prozessabwasser durch die Reinigung von Geräten sowie durch Fertigungsoperationen.
Nach Inkrafttreten der Norm GB 39731-2020 – Emissionsstandard für Wasserstoffschadstoffe der Elektronikindustrie konnten die bestehenden Aufbereitungsanlagen des Kunden die neuen Anforderungen an indirekte Einleitungen nicht mehr zuverlässig erfüllen. Um sowohl die regulatorische Konformität als auch eine zuverlässige Versorgung mit Produktionswasser sicherzustellen, benötigte das Unternehmen eine vollständig integrierte Lösung, die Abwasseraufbereitung und industrielle Reinstwassergewinnung kombiniert.
Basierend auf den Betriebsbedingungen des Werks und den neuesten behördlichen Anforderungen hat BHP ein umfassendes Wasseraufbereitungssystem konzipiert, das aus einer Abwasseraufbereitungsanlage mit einer Kapazität von 2 m³/h besteht, die in ein Industrie-Reinstwassersystem mit einer Kapazität von 32 m³/h integriert ist.
Der Abwasseraufbereitungsprozess beginnt mit einem Ausgleichsbehälter, der Durchfluss und Abwassereigenschaften ausgleicht und so hydraulische sowie Schadstoffschwankungen minimiert. Anschließend erfolgt eine präzise pH-Einstellung und Neutralisation des Abwassers, gefolgt von der Zugabe spezialisierter Koagulanzien zur Entfernung suspendierter Feststoffe, feiner organischer Verunreinigungen und kolloidaler Partikel mittels Koagulation und Klärung.
Nach der Klärung durchläuft das aufbereitete Wasser eine Reihe von Mehrmedienfiltern, Aktivkohlefiltern und Präzisions-Kartuschenfiltern, wodurch eine fortschrittliche Polierung gewährleistet wird und eine stets sichere Einhaltung der indirekten Einleitungsanforderungen gemäß GB 39731-2020 erreicht wird.
Das zugehörige industrielle Reinstwassersystem mit einer Leistung von 32 m³/h liefert hochwertiges Prozesswasser für die Halbleiterfertigung, die Präzisionsreinigung und verwandte Produktionsprozesse und trägt so zur Aufrechterhaltung der Produktqualität und der Fertigungs-Ausbeute bei.
Beide Systeme sind in eine kompakte, vollautomatisierte Plattform integriert, die intelligente, SPS-basierte Steuerung, automatisches Prozessmanagement und unbeaufsichtigten Betrieb bietet. Das integrierte Design minimiert die Betriebskosten und gewährleistet gleichzeitig zuverlässige Langzeitleistung.
Seit der Inbetriebnahme erfüllt das Projekt kontinuierlich die Anforderungen an die Abwasserabgabe gemäß GB 39731-2020 und versorgt die Produktion ständig mit hochwertigem industriellem Reinstwasser. Durch die integrierte Lösung konnte der Kunde die Anforderungen von Umweltinspektionen erfolgreich erfüllen, die Zuverlässigkeit der Produktion verbessern und gleichzeitig sowohl bei der Wasserversorgung als auch beim Abwassermanagement die gesetzlichen Vorgaben einhalten.
Heute dient das Projekt als hervorragende Referenz für integrierte Abwasserbehandlungs- und Reinstwassersysteme für kleine und mittelgroße Halbleiterhersteller in Chengdu und im gesamten Südwesten Chinas.
EN
