1. Tullantı suyunun mənbələri, tipik çirkləndirici maddələr və suyun xarakteristikaları
Silisium karbid (SiC) və qallium nitrid (GaN) yarımkeçirici istehsalından yaranan tullantı suyu əsasən epitaksial böyümə, aşındırma, ion implantasiyası, nazik təbəqə çökməsi, plastinka sürtməsi və təmizlənməsi, eləcə də təmiz otaqların yuyulması proseslərindən əmələ gəlir. Ənənəvi silisium yarımkeçirici tullantı sularına nisbətən üçüncü nəsil yarımkeçirici tullantı sularının tərkibi çox daha mürəkkəbdir və onların təmizlənməsi xeyli çətin olur.
Tipik kontaminantlar florid, yüksək konsentrasiyalı turşular və qələvilər, ultra incə silisium karbid zərrəcikləri, qallium birləşmələri, nitridlər, iz miqdarında ağır metal ionları və fotoresist qalıqları ilə soyulma kimyəvi maddələri kimi kiçik miqdarda üzvi kontaminantlardır; bu da COD səviyyələrinin dəyişkən olmasına səbəb olur.
Sulu çöküntülər yüksək florid konsentrasiyaları, ultra incə süspansiyalı hissəciklər və son dərəcə korroziyaedici xassələrə malik dəyişən güclü turşu və qələvi axınlarla xarakterizə olunur. Sabit kolloid hissəciklər çox yavaş çökür, boru kəmərlərinin tıxanma və membranların bloklanma riskini artırır. Bundan əlavə, geniş zolaqlı yarımkeçirici istehsalı ultra yüksək təmizlikli təkrar emal edilmiş su tələb edir; suyun keyfiyyət standartları adi sənaye sulu çöküntülərinin təmizlənməsi üçün qəbul edilən standartlardan əhəmiyyətli dərəcədə daha sərt olur.
2. Yayğın müştəri çətinlikləri
SiC və GaN yarımkeçiricilərinin istehsalçıları adətən bir neçə sulu çöküntülərin təmizlənməsi ilə bağlı çətinliklərlə üzləşirlər.
Ultra-ince SiC və GaN zərrəcikləri adi çökmə üsulu ilə çıxarılmaq çətindir; nəticədə çamur yığılması, avadanlıqların tıxanması, tez-tez membranların kirilməsi və bahalı istehsal dayanmaları baş verir. Qazma prosesləri zamanı yaranan yüksək floridləşmiş suların müntəzəm şəkildə təmizlənməsi çətindir; bu da artan ekoloji buraxılış standartlarına uyğunluğunu təmin etməyi çətinləşdirir.
İstehsal prosesi həmçinin yüksək korrozivlikli dəyişən turş və qələvi sular axını yaradır; buna görə də standart sənaye sistemləri əvəzinə xüsusi korroziyaya davamlı avadanlıqlar tələb olunur. Eyni zamanda, yarımkeçirici istehsalçıları son dərəcə yüksək ultratəmiz suyun təkrar istifadə dərəcəsini tələb edirlər; lakin adi təmizləmə texnologiyaları tez-tez tələb olunan su keyfiyyətini təmin edə bilmir, nəticədə çoxlu təzə su istifadəsi və daha yüksək işlətmə xərcləri yaranır.
Bununla yanaşı, müasir yarımkeçirici fabrikləri adətən məhdud quraşdırma sahəsinə və sürətlə inkişaf edən istehsal xətlərinə malikdirlər ki, bu da ənənəvi böyükmiqyaslı təmizləmə qurğularının genişləndirilməsini və ya yenilənməsini çətinləşdirir. Nəticədə, yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici istehsalı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, kompakt, modullu və tamamilə fərdiləşdirilmiş sulu tullantıların təmizlənməsi sistemlərinə olan tələbat artmaqdadır.
3. Emal prosesi və əsas avadanlıq konfiqurasiyası
SiC və GaN sulu tullantılarının yüksək florid miqdarı, ultra incə zərrəciklər və korroziya xüsusiyyətlərini aradan qaldırmaq üçün biz aşağıdakılardan ibarət xüsusi bir təmizləmə prosesindən istifadə edirik:
Ayrı-ayrı toplanma → Dəqiq pH tənzimlənməsi və kolloid destabilizasiyası → Koaqulyasiya və floridin aradan qaldırılması → Dəqiq süzülmə → İrəliləmiş membran təmizlənməsi → Ultra-təmiz suyun təkrar istifadəsi
Turşu, qələvi, floridən ibarət və emal suları axınları hidravlik və su keyfiyyəti dalğalanmalarını minimuma endirmək üçün ayrı-ayrılıqda toplanır və eyniləşdirilir. Dəqiq pH nəzarəti kolloid hissəcikləri qeyri-sabit edir, o zaman da optimallaşdırılmış koaqulyasiya və çökmə sistemi asılı maddələri və əksər hissəsini təmizləyir.
Aktivləşdirilmiş karbonun adsorbsiyası və dəqiq süzülməsi iz miqdarında üzvi birləşmələri və qalıq metal kontaminantlarını aradan qaldırır. Emal olunmuş su daha sonra yüksək təmizlikli su əldə etmək üçün ultrafiltrasiya (UF) sistemi və çirklənməyə qarşı təsirli tərs ozmoz (RO) sistemi vasitəsilə keçir; bu su yarımkeçirici istehsal proseslərində, o cümlədən plastinlərin təmizlənməsində istifadə oluna bilər.
Əsas avadanlıqlar aşağıdakılardır:
- Korroziyaya davamlı eyniləşdirmə rezervuarları və pH tənzimləmə sistemləri
- Yüksək səmərəli florid gidermə və kolloid parçalama reaktorları
- Tam avtomatlaşdırılmış su yumşaldıcı sistemlər
- Tullantıya qarşı membran filtrasiya sistemləri
- Ağıllı kimyəvi dozaj sistemləri
- Yüksək dəqiqlikli onlayn su keyfiyyəti monitorinq cihazları
4. Həllin üstünlükləri
Bu həll yolu xüsusi olaraq üçüncü nəsil SiC və GaN yarımkeçirici istehsalı üçün hazırlanmışdır və ultra incə zərrəciklərin çıxarılması, floridin idarə edilməsi və korroziyaya davamlılıq kimi sənayedəki üç əsas çətinliyi effektiv şəkildə həll edir.
Emal edilmiş su həmişə istehsalda təkrar istifadə tələblərini və mühitə buraxılma standartlarını ödəyir. Sıx zavod planlaşdırması və yüksək korroziv iş şəraitinə uyğunlaşdırılmış fərdiləşdirilmiş standart olmayan avadanlıq, gücləndirilmiş korroziyaya qarşı strukturlar, tıkanmaya qarşı axın kanalları və yarımkeçirici tesisləri üçün optimallaşdırılmış modullu kompakt dizaynlarla təchiz edilə bilər.
Bütün əsas elektrik idarəetmə sistemləri, mexaniki avadanlıqlar və su emal komponentləri beynəlxalq tanınan CE, UL və ISO standartlarına uyğun istehsal olunur; bu da yüksək səviyyəli yarımkeçirici tətbiqlər üçün üstün təhlükəsizlik, etibarlılıq və tənzimləməyə uyğunluq təmin edir.
Sistem su keyfiyyəti dalğalanmalarına qarşı yüksək müqavimət göstərir, membranların çirklənməsini, texniki xidmət tezliyini və istismardayı durğu müddətlərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Suyun təkrar istifadəsi səviyyəsi 95% -dən yuxarı ola bilər ki, bu da təzə suyun istehlakını və ümumi istismar xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
Modullu və yer-tutmayan dizaynı tutumun elastik genişləndirilməsinə imkan verir; tam avtomatlaşdırılmış ağıllı idarəetmə isə davamlı və yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici istehsalı üçün sabit iş rejiminin təmin edilməsini təmin edir.
5. Layihə istinadları və dəstək sənədləri
Biz SiC və GaN yarımkeçirici plastinlərin istehsalı üçün sənaye tullantı suyu təmizləmə sistemlərini uğurla təchiz etmişik, o cümlədən gündə 900 m³ tutumlu geniş zolaqlı yarımkeçirici istehsalı üzrə nümunəvi zavodu da daxil olmaqla.
Sistem etibarlı şəkildə işləyib, hissəciklərin yığılmasını effektiv şəkildə aradan qaldırıb, floridin çıxarılmasını sabitləşdirib və yarımkeçirici sənayesinin ultra-təmiz suyunun təkrar istifadəsi üçün tələb olunan standartlara uyğun bərpa edilmiş suyun davamlı istehsalını təmin edib. Layihə həm zavodda qəbul testini, həm də mühitə uyğunluq yoxlamalarını uğurla keçib.
Dəstəkləyici sənədlər aşağıdakılardan ibarətdir:
- Mülkiyyət prosesi patentləri
- CE, UL və ISO sertifikatları
- Üçüncü tərəf su keyfiyyəti test hesabatları
- Layihə qəbulu sənədləri
- Apex yarımkeçirici istehsalçılarından olan istinad layihələri
6. Xidmət əhatəsi və əməkdaşlıq prosesi
Biz üçüncü nəsil yarımkeçirici istehsalçıları üçün tam EPC açarlı-hazır tullantı suyu təmizləmə həlləri təqdim edirik: sahə araşdırması, suyun keyfiyyətinin analizi, fərdiləşdirilmiş proses mühəndisliyi, standart olmayan avadanlıqların istehsalı, quraşdırma, işə salma, istismar və texniki xidmət xidmətləri, sistem yeniləmələri və ömür boyu sarf materiallarının təchizatı.
Standart Əməkdaşlıq Proseduru
- Sahə araşdırması və kompleks su keyfiyyəti analizi ilə birlikdə çirkab suyunun nümunələrinin alınması
- İstehsal şəraitinə əsaslanan fərdiləşdirilmiş proses və avadanlıq dizaynı
- Müqavilənin təsdiqlənməsindən sonra avadanlıqların istehsalı və sahədə tikinti işləri
- Quraşdırma, qəbul testi və sabit uyğunluq əldə edilənə qədər inteqrasiya olunmuş sınaq istismarı
- Layihənin qəbuluna dəstək və operatorların hazırlanması
- Uzunmüddətli profilaktik texniki xidmət, texniki dəstək, sistem optimallaşdırılması və yeniləmə xidmətləri
EN
