1. Vituo vya Maji ya Kupita, Uchafuzi wa Kawaida na Sifa za Maji
Maji ya matumizi yanayotokana na uzalishaji wa semi-yakondi ya Silicon Carbide (SiC) na Gallium Nitride (GaN) huja kubadilika kwa sababu ya mchakato wa kukua kwa epitaxial, kuchoma, kuingiza ions, kufunga film ndogo, kuganda wafer na kuyafuta, pamoja na mchakato wa kufuta vituo vya safi. Kulingana na maji ya matumizi ya semi-yakondi ya silikon ya kawaida, maji ya matumizi ya semi-yakondi ya kigeni ya tatu yana muundo uliochanganywa zaidi na ni ngumu zaidi kuyafanya.
Vitovu vya kawaida vinajumuisha fluoride, asidi na alkali katika wingi mkubwa, vichipu vya Silicon Carbide vya ukubwa mdogo sana, viungo vya gallium, nitridi, viongozi vya metali mbaya vya kiasi kidogo, na kiasi kidogo cha vitovu vya kihistoria kama vile mapara ya photoresist na kemikali za kufuta, ambayo husababisha mabadiliko ya kiwango cha COD.
Uchafuzi wa maji unaochukuliwa unahusisha mizizi ya asidi kali na ya alkali kwa mpangilio wa mbadala, vikomo vya fluoride vya juu, vichafuzi vya chafu vya ukubwa mdogo sana, na tabia za kuharibu kwa nguvu. Vipande vya kolioidi vya kudumu vinapungua polepole sana, ikiongeza hatari ya kufunga mishipa na kufunga membrane. Pia, uzalishaji wa semiconductor zenye upana mkubwa wa band ya nishati unahitaji maji ya kurejeshwa yenye utakatifu mkubwa sana, na viwango vya ubora wa maji vinavyotaka ni vya kipekee kuliko vyenye matumizi ya kawaida katika usafi wa uchafuzi wa maji ya viwandani.
2. Changamoto za Wateja Wa Kawaida
Wazalishaji wa semiconductor za SiC na GaN mara nyingi hukabiliana na vitatizo vingi vya usafi wa uchafuzi wa maji.
Viparato vya SiC na GaN vya kina sana huvimba vigumu kupitia kuvimba kawaida, kusababisha kujaza kwenye mafuriko, kuzungukwa kwa vifaa, uchafuzi mara kwa mara wa membrane, na kukatishwa kwa uzalishaji kwa gharama kubwa. Maji ya uvimbu yenye fluoride ya juu yanayotengenezwa wakati wa mchakato wa kuchafua huvimba vigumu kwa usahihi, kufanya kuwa vigumu kufuata viwajibikaji vya mazingira ya kutoa maji yanayozidi kuvimba.
Mchakato wa uzalishaji pia unazalisha maji ya uvimbu yanayobadilika kati ya asidi na alkali na yanayoweza kuharibu vibaya, kuhitaji vifaa vya kisasa vya kuzuia uvimbu badala ya mifumo ya viwandani vya kawaida. Wakati huo huo, watoa mikopo ya semiconductor hutanataka kiasi kikubwa cha maji ya safi sana kuyarejesha, wakati teknolojia za kawaida za kuvimba mara nyingi hazikupata ubora wa maji unaoahitishwa, kusababisha matumizi makubwa ya maji ya kawaida na gharama za uendeshaji zinazozidi.
Zaidi ya hayo, vituo vya kuzalisha vya semiconductor vya kisasa vinaweza kuwa na nafasi ndogo ya kusakinisha na mistari ya uzalishaji inayobadilika haraka, ikifanya vituo vya kusambaza vya kawaida vikubwa kuwa vigumu kukuza au kuboresha. Kwa hivyo, kuna mahitaji yanayozidi kwa vituo vya kusambaza vya maji ya uvukivu vya ukubwa mdogo, vya aina ya moduli, na vya kuboreshwa kwa kina kwa ajili ya uzalishaji wa semiconductor unaofanya kazi kwa uhakika mkubwa.
3. Mchakato wa Kutibu na Ufafanuzi wa Vifaa vya Msingi
Ili kutatua matatizo ya uko wa fluoride kwa kiwango cha juu, vichipu vya ukubwa mdogo sana, na tabia za kuharibu ya maji ya uvukivu ya SiC na GaN, tunatumia mchakato maalum wa kusambaza unaojumuisha:
Kusambaza kwa kujitenga → Kuweka pH kwa uhakika na kuharibu kipindi cha koloidi → Kuunganisha na kufuta fluoride → Kuchuja kwa makini → Ufafanuzi wa kina wa membrane ya juu → Kutumia tena maji ya safi sana
Mizani ya maji ya asidi, ya alkali, yenye fluoride, na ya kusindikiza inakusanywa na kufanana kwa kujitenga ili kupunguza mabadiliko ya uhamisho wa maji na ubora wa maji. Udhibiti wa uhakika wa pH unaharibu viumbe vya koloidi, wakati mfumo uliochaguliwa kwa ushindani na kusimama kinafanya kwa ufanisi kutoa vinyonga vya kuvutia na sehemu kubwa ya fluoride.
Kutumia karboni ya kusambaa na kufiltrisha kwa uhakika hupunguza viungo vya kiumbo cha kisasa na vya mbali vya metali vilivyobaki. Maji yaliyopatikana yanapasuka kwenye mfumo wa Kufiltrisha Juu (UF), na baadaye kwenye mfumo wa Kurejesha Osmosis (RO) uliojengwa kupunguza uchafuzi, kutoa maji ya ubora wa juu yanayofaa kwa usafishaji wa wafers na mchakato mingine ya uzalishaji wa semikondaktori.
Vifaa vya msingi vinajumuisha:
- Vitabu vya kufanana vya kuvimba na mfumo wa kurekebisha pH
- Vifaa vya kufuta fluoride kwa ufanisi na vya kuharibu koloidi
- Mifumo ya kufanya maji ya kuvimba kwa mtindo wa kiotomatiki kabisa
- Mifumo ya kuchafua kwa kutumia membra zinazolinda uchafuzi
- Mifumo ya kutoa kemikali kwa uangalizi wa akili
- Vyombo vya kufuatilia ubora wa maji kwenye mtandao kwa usahihi wa juu
4. Faida za Suluhisho
Suluhisho hili limeundwa hasa kwa uzalishaji wa semikondaktori ya kigeni cha tatu cha SiC na GaN, ukijibu changamoto tatu muhimu za sekta: kuondoa vichipu vya ukubwa mdogo sana, udhibiti wa fluoride, na upinzani dhidi ya uvunjivu.
Maji yaliyochemshwa huendelea kujikidhi mahitaji ya kutumia tena katika uzalishaji na viwango vya kutoa kwa mazingira. Vifaa visivyofuata kanuni za kawaida vinaweza kubuniwa ili kujikidhi mpangilio wa chini ya kiwanda na mazingira ya kufanya kazi yenye uvunjika mkubwa, ikiwa ni pamoja na miundo ya kuipinzana na uvunjika, vifurushi vya kupinzana na kufunga, na miundo ya kipekee ya kikundi iliyopangwa kwa ajili ya vifaa vya semikondaktori.
Mifumo yote ya kuvumilia umeme, vifaa vya kimekaniki, na vifungu vya kusafisha maji vinazalishwa kwa kufuata standadi za kimataifa za CE, UL, na ISO, kuhakikisha usalama bora, uaminifu, na utii wa sheria kwa matumizi ya juu ya semikondaktori.
Mfumo unatoa upinzani mzuri kwa mabadiliko ya ubora wa maji, ukipunguza kwa kiasi kikubwa uchafu wa membrane, mara kwa mara ya matengenezo, na muda usiofaa wa uendeshaji. Kiwango cha upokeaji tena wa maji kinaweza kuzidi 95%, kinipunguza kwa kiasi kikubwa matumizi ya maji ya kisichochafuka na gharama jumla za uendeshaji.
Uundaji wake wa aina ya moduli na unaochukua nafasi ndogo unawezesha kuongeza uwezo kwa njia ya flexible, wakati udhibiti wa akili unaofanywa kwa kutosha unahakikisha uendeshaji wa kudumu na wa kusudiwa kwa uzuri wa juu katika uuzaji wa semiconductor.
5. Marejeo ya Mradi na Uthibitisho wa Msaada
Tumejitolea kwa mafanikio mifumo ya matibabu ya maji yaliyotumika kwa vituo vya uundaji wa wafani wa semikonducta za SiC na GaN, inayojumuisha kiolesura cha kipeo cha uzalishaji wa semikonducta ya wide-bandgap yenye uwezo wa matibabu wa 900 m³/siku.
Mfumo umefanya kazi kwa uaminifu, ukitoa matokeo ya kudhibitisha kikamilifu kuzungukwa kwa vichakavu, kustahimisha kutoa fluoridi, na kuzalisha maji ya kurudi tena kwa njia ya kudumu ambayo inakidhi mahitaji ya maji ya kisemikondaktori ya kisasa sana. Mradi ulifanikiwa kupita majaribio ya kukubali katika uzinduzi na majaribio ya kufuata sheria za mazingira.
Maudhui ya kusaidia yanajumuisha:
- Patenti za mbinu zinazotumika kwa pekee
- Mashariki ya CE, UL, na ISO
- Ripoti za kujaribu ubora wa maji kutoka kwa mtandaoni mwingine
- Maudhui ya kukubali mradi
- Miradi ya kurejelea kutoka kwa wafanyabiashara wakuu wa kisemikondaktori
6. Kikoa cha huduma na mchakato wa kushirikiana
Tunatoa suluhisho kamili za EPC za ufunguo wa mlango wa matibabu ya maji yaliyotumika kwa wafabrikia wa semikonducta ya kizazi cha tatu, inayojumuisha utafiti wa eneo, utafiti wa ubora wa maji, uhandisi wa mchakato uliofafanuliwa, uundaji wa vifaa visivyofuata kawaida, usanidi, uanzishwaji, huduma za uendeshaji na matengenezo, maboresho ya mfumo, na usambazaji wa vitu vya matumizi kwa muda wa maisha.
Mchakato wa Kushirikiana kwa kawaida
- Utafiti wa mahali na sampuli ya maji ya taka pamoja na uchambuzi wa ubora wa maji unaofaa kikamilifu
- Uundaji wa mchakato na vifaa vilivyofanuliwa kwa kina kulingana na hali za uzalishaji
- Ufanyaji wa vifaa na ujenzi mahali baada ya uthibitisho wa mkataba
- Usanidi, uhamisho, na uendeshaji wa majaribio pamoja mpaka kufikia utendaji wa kudumu unaofaa
- Msaada wa kubali mradi na mafunzo ya muendeshaji
- Matengenezo ya kingo ya muda mrefu, msaada wa kikabidhi, uboreshaji wa mfumo, na huduma za maboresho
EN
