1. Suvni ifloslanish manbalari, tipik ifloslantiruvchilar va suv xususiyatlari
Kremniy karbid (SiC) va galliy nitrid (GaN) yarimo'tkazgichlarini ishlab chiqarish jarayonida hosil bo'ladigan suvli chiqindi asosan epitaksial o'sish, tishlanish, ion implantatsiyasi, yupqa qatlamli joylashuv, plastinkalarni silliqlash va tozalash hamda tozalash xonalari suv bilan yuvilish jarayonlaridan kelib chiqadi. Oddiy kremniy yarimo'tkazgichlaridan hosil bo'ladigan suvli chiqindiga nisbatan uchinchi avlod yarimo'tkazgichlaridan hosil bo'ladigan suvli chiqindi tarkibi ancha murakkabroq va uni qayta ishlash ancha qiyinroq.
Odatdagi zahodlar fluorid, yuqori konsentratsiyadagi kislotalar va ishqorlar, ultra mayda kremniy karbid zarralari, galliy birikmalari, nitrurlar, mikro miqdordagi og'ir metall ionlari hamda fotoqo'rqituvchi qoldiqlari va erituvchi kimyoviy moddalarga o'xshash organik zahodlarning maydona miqdorlari bo'lib, bu BOK darajalarining o'zgaruvchanligiga sabab bo'ladi.
Suvni tozalash jarayonida kuchli kislotali va ishqoriy oqimlar almashinib turadi, ftorid konsentratsiyasi yuqori, juda mayda suspendlangan qatqozlar mavjud va suv juda korroziv xususiyatga ega. Barqaror kolloid zarrachalar juda sekin cho'kadi, bu esa nay uzunligidagi ifloslanish va membrananing bloklanish xavfini oshiradi. Shuningdek, keng tirqishli yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun juda yuqori darajadagi tozalangan suv talab qilinadi; suv sifati standartlari an'anaviy sanoat suvini tozalashdan ancha qat'iyroq.
2. Oddiy mijozlarning qiyinchiliklari
SiC va GaN yarimo'tkazgichlarini ishlab chiqaruvchilar odatda bir nechta suvni tozalash muammolariga duch keladi.
Oddiy cho'kib ketish usuli orqali ultra-yuqori darajadagi SiC va GaN zarralarni olib tashlash qiyin, shuning uchun loy to'planadi, jihozlar to'siladi, membranalar tez-tez ifloslanadi va qimmatga tushadigan ishlab chiqarish to'xtatiladi. Etilish jarayonida hosil bo'ladigan yuqori ftorli suvni doimiy ravishda tozalash qiyin, shuning uchun atrof-muhitga chiqarish bo'yicha qattiqroq ekologik standartlarga rioya qilish qiyinlashadi.
Ishlab chiqarish jarayoni shuningdek, yuqori korrozion xususiyatga ega bo'lgan almashinuvchi kislotali va ishqoriy suv oqimlarini ham hosil qiladi; shu sababli standart sanoat tizimlari emas, balki maxsus korroziyaga chidamli jihozlar talab qilinadi. Bir vaqtda yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari juda yuqori darajadagi ultratovushli suvni tiklashni talab qiladi, ammo oddiy tozalash texnologiyalari ko'pincha talab qilinadigan suv sifatini ta'minolmaydi; natijada tabiiy suvning ortiqcha sarfi va operatsion xarajatlarning oshib ketishi sodir bo'ladi.
Shu bilan birga, zamonaviy yarimo'tkazgich fabrikalari odatda cheklangan o'rnatish maydoniga ega bo'lib, ishlab chiqarish liniyalari tez rivojlanib boradi; shu sababli an'anaviy keng ko'lamli qayta ishlash uskunalari kengaytirish yoki yangilash uchun qiyin bo'ladi. Natijada, yuqori aniqlikdagi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun maxsus loyihalangan, kompakt, modulli va to'liq moslashtirilgan suvni tozalash tizimlariga talab ortib bormoqda.
3. Tozalash jarayoni va asosiy jihozlar konfiguratsiyasi
SiC va GaN suvni chiqindilari yuqori ftorid miqdori, ultra mayda zarrachalar va korroziv xususiyatlarga ega bo'lgani uchun, biz quyidagilardan iborat maxsus qayta ishlash jarayonidan foydalanamiz:
Ajratilgan to'plangan suv → Aniq pH sozlash va kolloidlarni barqarorlashtirish → Suyuqlikni biriktirish va ftoridni olib tashlash → Yaxshi filtratsiya → Yuqori darajadagi membranali tozalash → Ultrasaf suvni qayta ishlatish
Kislotali, ishqoriy, ftorid tutuvchi va texnologik suv chiqindi oqimlari gidravlik va suv sifatidagi tebranishlarni minimal darajada kamaytirish maqsadida alohida to’plangan va barqarorlashtirilgan. Aniq pH nazorati kolloid zarralarni noyob qiladi, shu bilan birga optimallashtirilgan koagulyatsiya va cho’kib ketish tizimi osilgan qatormodda va aksariyat ftoridni samarali ravishda olib tashlaydi.
Faol uglerodli sorbsiya va aniq filtratsiya orqali izdagi organik birikmalar va qoldiq metall ifloslanishlari yo'q qilinadi. Tozalangan suv keyinchalik yuqori sifatli filtratsiya (UF) tizimidan, so'ngra chuqur tuzsizlantirish uchun zarrachalarga chidamli teskari osmoz (RO) tizimidan o'tadi va plastinkalarni tozalash hamda boshqa yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlariga mos keladigan yuqori tozalikdagi suvni hosil qiladi.
Asosiy jihozlar:
- Zanglamaydigan barqarorlashtirish idishlari va pH ni sozlash tizimlari
- Yuqori samarali ftoridni olib tashlash va kolloidlarni buzish reaktorlari
- To’liq avtomatlashtirilgan suv yumshatish tizimlari
- Tovushsiz membranali filtratsiya tizimlari
- Aqlli kimyoviy moddalarni dozalash tizimlari
- Yuqori aniqlikdagi onlayn suv sifati nazorat asboblari
4. Yechimning afzalliklari
Bu yechim uchinchi avlod SiC va GaN yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun maxsus loyihalangan bo'lib, ultra mayda zarrachalarni olib tashlash, ftoridni nazorat qilish va korroziyaga chidamlilik kabi sanoatning uchta muhim muammolarini samarali hal qiladi.
Tozalangan suv doimiy ravishda ishlab chiqarishda qayta foydalanish talablari hamda atrof-muhitga chiqarish standartlariga mos keladi. Kichik hajmli zavod joylashuvlariga va juda korroziv ish sharoitlariga moslashtirilgan standartdan tashqari jihozlar loyihalash mumkin; bunda mustahkamlangan korroziyaga chidamli konstruksiyalar, to‘sqinlikka chidamli oqim kanallari va yarimo‘tkazgich zavodlariga moslashtirilgan modulli, siqilgan dizaynlar qo‘llaniladi.
Barcha asosiy elektr boshqaruv tizimlari, mexanik jihozlar va suvni tozalash komponentlari yuqori darajadagi yarimo'tkazgich ilovalari uchun ajoyib xavfsizlik, ishonchlilik va me'yoriy talablarga mos kelishini ta'minlaydigan xalqaro tan olingan CE, UL va ISO standartlariga mos ravishda ishlab chiqarilgan.
Tizim suv sifatidagi o'zgarishlarga a'lo qarshilik ko'rsatadi, membrananing ifloslanishini, texnik xizmat ko'rsatish chastotasini va ishlab chiqarishni to'xtatish vaqtini sezilarli darajada kamaytiradi. Suvni qayta ishlash darajasi 95% dan oshishi mumkin, bu esa toza suv iste'molini va umumiy operatsion xarajatlarni sezilarli darajada kamaytiradi.
Uning modulli, joy tejovchi dizayni quvvatni mos ravishda kengaytirish imkonini beradi; to'liq avtomatlashtirilgan aqlli boshqaruv esa uzluksiz, yuqori aniqlikdagi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun barqaror ishlashni ta'minlaydi.
5. Loyihalar ma'lumotnomasi va qo'llab-quvvatlovchi hujjatlar
Biz SiC va GaN yarimo'tkazgichli plastinkalar ishlab chiqarish zavodlari uchun axlat suvlari tozalash tizimlarini muvaffaqiyatli yetkazib berdik, jumladan, kunlik 900 m³ suvni tozalash quvvatiga ega bo'lgan namuna keng bandli yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish zavodi ham bor.
Tizim ishonchli tarzda ishlaydi, zarrachalarning to'planishini samarali ravishda bartaraf etadi, ftoridni olib tashlashni barqarorlashtiradi va yarimo'tkazgichlar uchun ultratovushli toza suv qayta foydalanish talablariga mos keladigan qayta ishlangan suvni doimiy ravishda ishlab chiqaradi. Loyiha zavodda qabul qilish sinovlarini hamda ekologik moslik tekshiruvlarini muvaffaqiyatli o'tkazdi.
Qo‘llaniladigan hujjatlar:
- Xususiy jarayon patentlari
- CE, UL va ISO sertifikatlari
- Uchinchi tomon tomonidan suv sifati bo‘yicha tekshiruv hisobotlari
- Loyihani qabul qilish hujjatlari
- Yetakchi yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari tomonidan amalga oshirilgan referent loyihalar
6. Xizmat doirasi va hamkorlik jarayoni
Biz uchinchi avlod yarimo'tkazgichli ishlab chiqaruvchilar uchun to'liq EPC kalitli axlat suvlari tozalash yechimlarini taklif etamiz: maydon tekshiruvi, suv sifatini tahlil qilish, moslashtirilgan jarayon muhandisligi, standartdan tashqari jihozlarni ishlab chiqarish, o'rnatish, sinovdan o'tkazish, ekspluatatsiya va texnik xizmat ko'rsatish xizmatlari, tizimni yangilash hamda hayot davomida sarf-xarajat materiallarini ta'minlash.
Standart Hamkorlik Jarayoni
- Sayt tekshiruvi va chiqindi suv namunalari olinishi hamda to'liq suv sifatini tahlil qilish
- Ishlab chiqarish sharoitlariga asoslanib, maxsus jarayon va jihozlar loyihasi
- Shartnoma tasdiqlanganidan keyin jihozlarni ishlab chiqarish va ob'ekt maydonida qurilish ishlari
- O'rnatish, sinovdan o'tkazish va barqaror moslikka erishilguncha birlashtirilgan sinov ishlari
- Loyihani qabul qilishga yordam berish va operatorlarga o'qitish
- Uzoq muddatli oldini olish maqsadidagi texnik xizmat ko'rsatish, texnik qo'llab-quvvatlash, tizimni optimallashtirish va yangilash xizmatlari
EN
