1. za Izvori otpadne vode, tipični onečišćujući tvari i karakteristike vode
Odpadne vode proizvedene iz proizvodnje poluprovodnika silicijuma karbida (SiC) i galijum nitrida (GaN) uglavnom potječu iz epitaxialnog rasta, grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafičkog grafi U usporedbi s običnim otpadnim vodama od poluprovodnika od silicija, otpadne vode od poluprovodnika treće generacije imaju mnogo složeniji sastav i znatno su teže za tretiranje.
Tipični kontaminanti uključuju fluor, visoke koncentracije kiselina i alkalnih tvari, ultrafine čestice silicijuma karbida, spojeve galija, nitride, tragove teških metalnih jona i male količine organskih kontaminanta kao što su fotoresistički ostatci i kemikalije za stripping, što rezultira fluktu
Otpadne vode karakteriziraju se izmjenom jakih kiselinskih i alkalnih struja, visokim koncentracijama fluorida, ultramalo finim suspendiranim čvrstim tvarima i vrlo korozivnim svojstvima. Stabilne koloidne čestice se vrlo sporo ustavljaju, što povećava rizik od zagađenja cijevi i blokade membrane. Osim toga, proizvodnja poluprovodnika širokog pojasa zahtijeva ultra-visoku čistoću regenerirane vode, s standardima kvalitete vode koji su znatno stroži od onih za konvencionalno industrijsko čišćenje otpadnih voda.
2. - Što? Česti izazovi za kupce
Proizvođači poluprovodnika SiC i GaN obično se suočavaju s nekoliko izazova u tretiranju otpadnih voda.
U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1907/2006 Komisija je odlučila o uvođenju mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje mjera za utvrđivanje Odpadne vode s visokim udjelom fluora koje nastaju tijekom procesa graviranja teško je dosljedno tretirati, što otežava usklađenost s sve strožim standardima za ispuštanje u okoliš.
Proces proizvodnje također stvara izmjenljive struje kiselog i alkalnog otpadne vode s visokom korozivnošću, što zahtijeva specijaliziranu opremu otpornu na koroziju umjesto standardnih industrijskih sustava. U isto vrijeme, proizvođači poluprovodnika zahtijevaju izuzetno visoke stope oporavka ultračiste vode, dok konvencionalne tehnologije čišćenja često ne zadovoljavaju tražen kvalitet vode, što dovodi do prekomjerne potrošnje slatke vode i većih troškova rada.
Nadalje, moderne tvornice poluprovodnika obično imaju ograničen prostor za instalaciju i brzo se razvijaju proizvodne linije, što čini konvencionalne velike obrambene postrojenja teškim za proširenje ili nadogradnju. Kao rezultat toga, sve je veća potražnja za kompaktnim, modularnim i potpuno prilagođenim sustavima za čišćenje otpadnih voda koji su posebno dizajnirani za proizvodnju visoko preciznih poluprovodnika.
3. Slijedi sljedeće: Proces obrade i konfiguracija osnovne opreme
Za rješavanje visokog sadržaja fluora, ultra-finih čestica i korozivnih karakteristika otpadnih voda SiC i GaN, koristimo poseban postupak tretiranja koji se sastoji od:
Sastavljanje u segregiranom stanju → Precizna prilagodba pH-a i destabilizacija koloida → Koagulacija i uklanjanje fluorida → Finska filtracija → Napredno pročišćavanje membrane → Ponovna upotreba ultračiste vode
U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, za vodne izvore koji sadrže fluorid i za vodne izvore koji sadrže fluorid, potrebno je utvrditi razine vode koje se upotrebljavaju za proizvodnju vodnih izbora. Precizna kontrola pH-a destabilizira koloidne čestice, dok optimizirani sustav koagulacije i sedimentacije učinkovito uklanja suspendirane čvrste tvari i većinu fluorida.
Aktivno ugljik adsorpcija i precizna filtracija uklanjaju tragove organskih spojeva i ostatke metalnih kontaminacija. Za potrebe ovog članka, za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije u Uniji, primjenjuje se sustav za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju elektri
Osnovna oprema uključuje:
- U slučaju da je to potrebno, u skladu s člankom 6. stavkom 1.
- Reaktor za odlazak fluora i razlazak koloida
- Sistemi za umekšavanje vode
- Sistemi za filtriranje membrane protiv prljavštine
- Inteligentni sustavi za doziranje kemikalija
- U skladu s člankom 4. stavkom 2.
4. - Što? Prednosti rješenja
Ova je rješenja posebno dizajnirana za proizvodnju poluprovodnika SiC i GaN treće generacije, učinkovito rješavajući tri kritična izazova industrije: uklanjanje ultra-finih čestica, kontrolu fluorida i otpornost na koroziju.
U skladu s člankom 3. stavkom 2. Ne-standardna oprema može se dizajnirati kako bi se prilagodila kompaktnim rasporedom postrojenja i visoko korozivnim radnim okruženjima, s ojačanim protukrozivnim strukturama, protupretnim kanalima protoka i modularnim kompaktnim dizajnima prilagođenim postrojenjima za poluprovodnike
Svi osnovni električni sustavi kontrole, mehanička oprema i komponente za obradu vode proizvedeni su u skladu s međunarodno priznatim standardima CE, UL i ISO, osiguravajući vrhunsku sigurnost, pouzdanost i usklađenost s propisima za visoko-kvalitetne poluprovodnike.
Sistem pruža odličnu otpornost na fluktuacije kvalitete vode, značajno smanjujući zagađenje membrane, učestalost održavanja i vrijeme zastoja u radu. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br.
Modularna konstrukcija koja štedi prostor omogućuje fleksibilno proširenje kapaciteta, dok potpuno automatizirana inteligentna kontrola osigurava stabilan rad za kontinuiranu proizvodnju poluprovodnika visoke preciznosti.
- Pet. Referenci na projekte i potporna dokumentacija
Uspješno smo isporučili sustave za čišćenje otpadnih voda za pogone za proizvodnju poluprovodničkih pločica s SiC-om i GaN-om, uključujući i proizvodnu tvornicu poluprovodnika širokog pojasa s kapacitetom čišćenja od 900 m3/dan.
Sistem je djelovao pouzdano, učinkovito eliminirajući nakupljanje čestica, stabilizirajući uklanjanje fluorida i dosljedno proizvodeći recikliranu vodu koja ispunjava zahtjeve za ponovno korištenje ultračiste poluprovodničke vode. Projekt je uspješno prošao testiranje prihvaćanja u tvornici i inspekcije usklađenosti s okolišem.
U skladu s člankom 4. stavkom 2.
- U skladu s člankom 3. stavkom 1.
- Službeni podaci
- Izvješća o ispitivanju kvalitete vode od treće strane
- Dokumentiranje o prihvaćanju projekta
- Referentni projekti vodećih proizvođača poluprovodnika
6. - Što? Područje primjene usluga i proces suradnje
Pružamo sveobuhvatna rješenja za tretiranje otpadnih voda EPC za proizvođače poluprovodnika treće generacije, uključujući istraživanje lokacije, analizu kvalitete vode, prilagođenu inženjeringu procesa, proizvodnju nestandardne opreme, instalaciju, puštanje u rad, usluge rada i održavanja
Standardni postupak suradnje
- U skladu s člankom 4. stavkom 2.
- Dizajn prilagođenih procesa i opreme na temelju uvjeta proizvodnje
- U skladu s člankom 4. stavkom 2.
- Uređivanje, puštanje u rad i integrirano ispitivanje do postizanja stabilne sukladnosti
- Podrška pri prihvaćanju projekta i obuka operatora
- Službe dugoročnog preventivnog održavanja, tehničke podrške, optimizacije sustava i nadogradnje
EN
