1. Yarımkeçirici Ultra-Təmiz Su (UPW) sistemləri üçün ilkin su mənbələri, tipik çirkləndiricilər və suyun keyfiyyət xüsusiyyətləri
Yarımkeçirici Ultra-Təmiz Su (UPW) sistemləri üçün ilkin su adətən şəhər su təchizatı və ya sahədəki yeraltı sularından alınır. Hazırlanan ultra-təmiz su yarımkeçirici istehsalının kritik proseslərində — silikon plastinkaların aşındırılması, incə təbəqə çöküntüsü, kimyəvi-mexaniki planetləşdirmə (CMP), plastinkaların təmizlənməsi, fotolitoqrafiya və digər irəli istehsal proseslərində istifadə olunur; burada suyun keyfiyyəti birbaşa cihazın verimi və məhsulun etibarlılığına təsir edir.
İlkin suda tipik çirkləndiricilərə kalsium və maqnezium sərtlik ionları, asılı qatı maddələr, kolloid hissəciklər, qalıq xlor, sulfatlar, silikatlar və iz miqdarında ağır metallar daxildir. Su mənbəyindən asılı olaraq, iz miqdarında mikroorqanizmlər və ümumi üzvi karbon (TOC) da mövcud ola bilər.
Yarımkeçirici UPW sistemləri müasir istehsalda ən yüksək su keyfiyyəti standartlarından birini tələb edir. Demək olar ki, bütün həll olmuş ionlar, asılı hissəciklər, mikroorqanizmlər və üzvi kontaminantlar aradan qaldırılmalıdır. Məhsul suyunun elektrik müqaviməti 18,25 MΩ·sm-ə çatması tələb olunur; eyni zamanda hissəcik kontaminasiyası, ümumi üzvi karbon (TOC), silisium və iz metall ionları çox aşağı səviyyələrdə nəzarət altına alınmalıdır.
Fotovoltaik, litium batareyaları və ya digər sənaye tətbiqlərində istifadə olunan ultratəmiz su sistemlərinə nisbətən yarımkeçirici UPW sistemləri əhəmiyyətli dərəcədə daha yüksək su təmizliyi, istisnai əməliyyat sabitliyi və pozuntusuz davamlı iş performansı tələb edir.
2. Yayğın müştəri çətinlikləri
Yarımkeçirici ultratəmiz su istehsalında əsas çətinlik, çox yüksək təmizlik səviyyəsində davamlı sabit su keyfiyyətini saxlamaqdır.
Xammal suyunun keyfiyyətindəki dalğalanmalar birbaşa müqavimət, silisium konsentrasiyası və iz ionlarının səviyyələrini təsir edə bilər; bu da plastinka veriminin azalmasına və istehsal defektlərinin artmasına səbəb ola bilər.
Adi industrial təmiz su sistemləri adətən iz ionları, həll olmuş üzvi birləşmələr (TOC) və ultra incə zərrəcikləri tamamilə aradan qaldırmaq üçün kifayət qədər təmizləmə qabiliyyətinə malik deyillər; bu səbəbdən onlar irəli səviyyəli yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün uyğun deyillər.
Bununla yanaşı, süzgəc patronları, ion mübadiləsi reçinləri və membran elementləri çirklənməyə və performansın aşağı düşməsinə meyllidirlər; nəticədə tez-tez texniki xidmət dayandırmaları baş verir və davamlı istehsal pozulur.
Standart avadanlıqlar tez-tez korroziyaya qarşı kifayət qədər davamlı olmayan və ya təmizlik səviyyəsi kifayət qədər yüksək olmayan boru sistemlərindən və saxlama rezervuarlarından istifadə edirlər; bu da materialların çıxması nəticəsində ikincil çirklənmə riskini artırır.
Yarıkeçirici fabriklərinin davamlı genişlənməsi və emal texnologiyalarının sürətlə inkişaf etməsi ilə ənənəvi, sabit dizaynlı su təmizləmə sistemləri zavodun modernizasiyası və gücləndirilməsi üçün məhdud esneklik təmin edir. İstehsalçılar artıq irəli yarıkeçirici istehsalı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, yüksək dərəcədə fərdiləşdirilmiş, miqyaslandırılabilən və beynəlxalq standartlara uyğun UPW sistemlərinə daha çox ehtiyaclar duyurlar.
3. Emal prosesi və əsas avadanlıq konfiqurasiyası
Yarıkeçirici istehsalının sərt su keyfiyyəti tələblərini ödəmək üçün biz aşağıdakı sübut edilmiş çoxmərhələli UPW istehsal prosesindən istifadə edirik:
İlkin emal → İki dəfə keçirilən Ters Ozmoz (RO) → Elektrodionizasiya (EDI) → Qarışdırılmış Yataq Parlaq Emalı → Son Dəqiq Süzülmə
Xam su əvvəlcə çoxkomponentli süzgəcdən, aktiv kömür süzgəcindən və dəqiq patron süzgəcindən keçərək asılı hissəciklər, qalıq xlor, kolloid kontaminantlar və böyük üzvi molekulların aradan qaldırılmasını təmin edir.
Öncədən emal edilmiş su, əks osmoz (RO) iki dövrəli sistemi vasitəsilə keçir və bu zaman əksər həll olmuş duzlar, silika və metal ionları aradan qaldırılır.
İrəli səviyyəli Elektrodionizasiya (EDI) sistemi qalıq ion kontaminantlarını kimyəvi regenerasiya olmadan davamlı şəkildə aradan qaldırır və beləliklə, ənənəvi ion mübadiləsi regenerasiyası ilə əlaqədar ikincil kontaminasiya riski aradan qaldırılır.
Nəhayət, yekun qarışdırılmış yataq ion mübadiləsi sistemi və son ultrafiltrasiya sistemi 18,25 MΩ·sm sabit rezistivliyə malik ultratəmiz su istehsal edir ki, bu da irəli səviyyəli yarımkeçirici istehsal proseslərinin tələblərini tam ödəyir.
Əsas avadanlıqlar aşağıdakılardır:
- Tam avtomatlaşdırılmış ön emal sistemləri
- İki dövrəli çirklənməyə qarşı əks osmoz qurğuları
- EDI ultratəmiz su sistemləri
- Yekun qarışdırılmış yataq ion mübadiləsi qurğuları
- Son dəqiq filtrasiya sistemləri
- Ağıllı elektrik idarəetmə sistemləri
- Yüksək dəqiqlikli onlayn su keyfiyyəti monitorinq cihazları
4. Həllin üstünlükləri
Bu həll xüsusi olaraq irəli səviyyəli yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün nəzərdə tutulub və sənayedə ən yüksək standartlara uyğun ultra-təmiz su istehsal edir.
Kremniy, iz element ionları, TOC və zərrəcik kontaminasiyası daxil olmaqla suyun keyfiyyətini təyin edən əsas parametrlər dəqiq nəzarət altına alınır ki, plastinkaların çıxışı və istehsalın etibarlılığı maksimum səviyyəyə çatsın.
Təmiz otaq planlaşdırması, proses texnologiyası düyünü, istehsal gücü və xammal suyunun xarakteristikaları əsasında tamamilə fərdiləşdirilmiş mühəndislik həlləri təqdim edirik. Yüksək təmizlikli korroziyaya davamlı borular, kompakt skid montajlı avadanlıq və modullu genişlənmə dizaynları ikinci dəfə kontaminasiyanı effektiv şəkildə aradan qaldırır və gələcəkdə güc artırılmasına imkan verir.
Bütün əsas avadanlıqlar, elektrik idarəetmə sistemləri və suyun təmizlənməsi komponentləri CE, UL və ISO standartlarına uyğun sertifikatlandırılıb; bu da beynəlxalq təhlükəsizlik qaydalarına və dünya miqyasında yarımkeçirici istehsal tələblərinə uyğunluğunu təmin edir.
Çoxmərhələli təmizləmə prosesi ağıllı su keyfiyyəti monitorinqini və avtomatik proses idarəetməsini daxil edir; bu da membranların, rezinlərin və süzgəc komponentlərinin xidmət müddətini uzadarkən, ilkin suyun keyfiyyətindəki dalğalanmalara qarşı yüksək müqavimət təmin edir.
Modullu inteqrasiya olunmuş dizayn quraşdırma üçün lazım olan sahəni minimuma endirir, sürətli quraşdırmanı təmin edir və yarımkeçirici fabriklərinin genişləndirilməsi və proses yenilənmələri üçün əla çeviklik təmin edir.
5. Layihə istinadları və dəstək sənədləri
Biz bir neçə plastinka istehsalı zavodları və yarımkeçirici montaj və sınaq zavodları üçün yarımkeçirici ultratəmiz su sistemlərini uğurla təhvil vermişik.
Nümayəndə layihə 12 düymlü İrəliləmiş Yarımkeçirici Fabriki üçün Ultratəmiz Su (UPW) Sistemidir; burada məhsul suyu elektrik müqavimətini həmişə 18,25 MΩ·sm səviyyəsində saxlayır və yarımkeçirici ultratəmiz su standartlarının ən yüksək tələblərinə tam uyğun gəlir.
Sistem, fabrika qəbulu testləri (FAT) və sənaye uyğunluq yoxlamalarını uğurla keçərək, stabil yüksək həcmdə yarımkeçirici istehsalını dəstəkləyən, il ərzində etibarlı davamlı işləməni nümayiş etdirmişdir.
Dəstəkləyici sənədlər aşağıdakılardan ibarətdir:
- Yarımkeçirici UYP su emalı proseslərinə dair müəlliflik hüququ qorunan patentlər
- CE, UL və ISO sertifikatları
- Üçüncü tərəf tərəfindən akkreditə edilmiş su keyfiyyəti test hesabatları
- Layihənin tamamlanması və qəbulu sənədləri
- Nümunəvi yarımkeçirici layihələrindən əldə edilən performans istinadları
6. Xidmət əhatəsi və əməkdaşlıq prosesi
Biz yarımkeçirici ultratəmiz su sistemləri üçün tam miqyaslı EPC açar-üstü həllər təqdim edirik: sahə araşdırması, xammal suyunun keyfiyyət analizi, fərdiləşdirilmiş proses mühəndisliyi, standart olmayan avadanlıqların dizaynı və istehsalı, quraşdırma, işə salma, sistem təsdiqi, istismar və texniki xidmət xidmətləri, sistem yeniləmələri və ömür boyu sərf olunan materialların təchizatı.
Standart Əməkdaşlıq Proseduru
- Sahə Araşdırması və Xammal Suyunun Analizi – Sahədə onlayn araşdırma aparılması, su nümunələrinin toplanması və ətraflı xammal suyunun keyfiyyət qiymətləndirməsi hesabatının təqdim edilməsi.
- Fərdiləşdirilmiş mühəndislik dizaynı – Yarıkeçirici proses tələblərinə əsaslanaraq xüsusi UPW sistemi həllini, avadanlıq konfiqurasiyasını və kommersiya təklifini hazırlamaq.
- Avadanlıq istehsalı və tikinti – Müqavilə təsdiqləndikdən sonra fərdiləşdirilmiş avadanlıqların istehsalına və sahədə quraşdırılmasına başlamaq.
- Quraşdırma, qoşulma və sistem doğrulaması – Sistemin quraşdırılmasını, parametrlərin kalibrlənməsini və suyun keyfiyyəti üzrə bütün tələblərin ardıcıl olaraq ödənilməsinə qədər davamlı sınaq işlərini tamamlamaq.
- Layihənin qəbulu və texniki təlim – Layihənin qəbulu prosedurlarında kömək etmək və ətraflı operator təlimi təmin etmək.
- Uzunmüddətli texniki dəstək – Qarşısını almaq üçün texniki xidmət, müntəzəm yoxlamalar, sistem optimallaşdırılması, performansın artırılması və ömür boyu texniki dəstək təmin etmək.
EN
