1. Ham Su Kaynakları, Tipik Kirleticiler ve Su Kalitesi Özellikleri
Yarı iletken ultra saf su (UPW) sistemleri için ham su genellikle belediye su tedariklerinden veya sahada bulunan yeraltı sularından sağlanır. Üretilen ultra saf su, yüzey kazıma, ince film biriktirme, kimyasal mekanik düzeltme (CMP), wafel temizliği, fotolitografi ve diğer ileri düzey üretim süreçleri gibi kritik yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılır; burada su kalitesi doğrudan cihaz verimini ve ürün güvenilirliğini etkiler.
Ham sudaki tipik kirleticiler arasında kalsiyum ve magnezyum sertlik iyonları, askıda katılar, koloidal parçacıklar, arta kalan klor, sülfatlar, silikatlar ve iz düzeyde ağır metaller yer alır. Su kaynağının özelliğine bağlı olarak iz düzeyde mikroorganizmalar ve Toplam Organik Karbon (TOC) da bulunabilir.
Yarı iletkenler için ultra saf su (UPW) sistemleri, modern üretimde en yüksek su kalitesi standartlarından birini gerektirir. Neredeyse tüm çözünmüş iyonlar, askıda katı parçacıklar, mikroorganizmalar ve organik kirleticiler uzaklaştırılmalıdır. Ürün suyu, elektriksel direnç değerinin 18,25 MΩ·cm’ye ulaşmasını sağlamalıdır; aynı zamanda partikül kirliliği, TOC, silika ve iz metal iyonları son derece düşük seviyelere indirilmelidir.
Fotovoltaik, lityum pil veya diğer endüstriyel uygulamalarda kullanılan ultra saf su sistemlerine kıyasla, yarı iletkenler için UPW sistemleri çok daha yüksek su saflığı, üstün işletme kararlılığı ve kesintisiz sürekli performans talep eder.
2. Yaygın Müşteri Zorlukları
Yarı iletkenler için ultra saf su üretiminin temel zorluğu, son derece yüksek saflık düzeylerinde tutarlı ve kararlı su kalitesini sürdürmektir.
Ham su kalitesindeki dalgalanmalar, direnç, silika konsantrasyonu ve iz iyon seviyelerini doğrudan etkileyebilir; bu da yonga verimini düşürme ve üretim hatalarını artırma riskine yol açabilir.
Geleneksel endüstriyel saf su sistemleri, iz iyonlarını, çözünmüş organik maddeleri (TOC) ve ultra ince partikülleri tamamen uzaklaştırmak için yeterli saflaştırma kapasitesine sahip değildir; bu nedenle gelişmiş yarı iletken üretim süreçleri için uygun değildir.
Ayrıca, filtre kartuşları, iyon değiştirici reçineleri ve membran elemanları kirlenmeye ve performans kaybına karşı hassastır; bu da sürekli üretimi kesintiye uğratan sık bakım duruşlarına neden olur.
Standart ekipmanlar genellikle yetersiz korozyon direncine veya temizliğe sahip boru sistemleri ve depolama tankları kullanır; bu da malzeme sızıntısı nedeniyle ikincil kirlenme riskini artırır.
Yarı iletken fabrikalarının sürekli genişlemesi ve süreç teknolojilerinin hızla gelişmesiyle birlikte, geleneksel sabit tasarım su arıtma sistemleri tesis güncellemeleri ve kapasite artırımları için sınırlı esneklik sunmaktadır. Üreticiler, ileri düzey yarı iletken üretimine özel olarak tasarlanmış, yüksek düzeyde özelleştirilebilir, ölçeklenebilir ve uluslararası uyumlu UPW sistemlerine giderek daha fazla ihtiyaç duymaktadır.
3. Arıtma Süreci ve Temel Ekipman Konfigürasyonu
Yarı iletken üretiminin katı su kalitesi gereksinimlerini karşılamak amacıyla, kanıtlanmış çok aşamalı bir UPW üretim süreci uyguluyoruz; bu süreç şunlardan oluşur:
Ön arıtma → Çift geçiş ters ozmoz (RO) → Elektrodiyonizasyon (EDI) → Karışık yatak parlatma → Nihai hassas filtrasyon
Ham su, askıda katı maddeleri, arta kalan kloru, koloidal kirleticileri ve büyük organik molekülleri uzaklaştırmak üzere çoklu ortam filtrasyonu, aktif karbon filtrasyonu ve hassas kartuş filtrasyonu ile ön arıtmaya tabi tutulur.
Ön işlem görmüş su, çözünmüş tuzların, silisin ve metal iyonlarının büyük çoğunluğunu uzaklaştırmak için çift geçişli ters ozmoz (RO) sisteminden geçirilir.
Gelişmiş bir Elektrodeiyonizasyon (EDI) sistemi, kimyasal yenileme gerektirmeden kalan iyonik kirleticileri sürekli olarak uzaklaştırır ve geleneksel iyon değişimi yenilemesiyle ilişkili ikincil kirlenme riskini ortadan kaldırır.
Son olarak, parlatma amaçlı karışık yatak iyon değişimi sistemi ile uç nokta ultrafiltrasyon birleşimi, 18,25 MΩ·cm’lik sabit direnç değerine sahip ultra saf su üretir ve bu da gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinin gereksinimlerini tam olarak karşılar.
Temel ekipmanlar şunlardır:
- Tam otomatik ön işlem sistemleri
- Çift geçişli kirlenmeye dayanıklı ters ozmoz üniteleri
- EDI ultra saf su sistemleri
- Parlatma amaçlı karışık yatak iyon değişimi üniteleri
- Uç nokta hassas filtrasyon sistemleri
- Akıllı elektriksel kontrol sistemleri
- Yüksek hassasiyetli çevrimiçi su kalitesi izleme cihazları
4. Çözüm Avantajları
Bu çözüm, gelişmiş yarı iletken üretim süreçleri için özel olarak tasarlanmıştır ve sektörün en yüksek standartlarına uygun ultra saf su üretimi sağlar.
Yonga verimini ve üretim güvenilirliğini maksimize etmek amacıyla TOC, partikül kirliliği, silika ve iz metal iyonları gibi kritik su kalitesi parametreleri tam olarak kontrol edilir.
Temiz oda yerleşimi, süreç teknolojisi düğümü, üretim kapasitesi ve ham su özelliklerine dayalı tamamen özelleştirilmiş mühendislik çözümleri sunuyoruz. Yüksek saflıkta korozyona dayanıklı borular, kompakt kaydırmalı ekipmanlar ve modüler genişleme tasarımları, ikincil kirliliği etkili bir şekilde ortadan kaldırırken gelecekteki kapasite artırımlarına da uyum sağlar.
Tüm temel ekipmanlar, elektriksel kontrol sistemleri ve su arıtma bileşenleri, uluslararası güvenlik düzenlemelerine ve dünya çapındaki yarı iletken üretim gereksinimlerine uygunluk sağlamak amacıyla CE, UL ve ISO standartlarına göre sertifikalandırılmıştır.
Çok aşamalı saflaştırma süreci, akıllı su kalitesi izleme ve otomatik süreç kontrolünü içerir; bu da membranların, reçinelerin ve filtrasyon bileşenlerinin ömrünü uzatarak ham su dalgalanmalarına karşı üstün direnç sağlar.
Modüler entegre tasarım, kurulum için gerekli alanı en aza indirir, hızlı devreye alma imkânı sunar ve yarı iletken üretim tesislerinin genişletilmesi ile süreç güncellemeleri için mükemmel esneklik sağlar.
5. Proje Referansları ve Destekleyici Belgeler
Yarı iletken ultra saf su sistemlerini, birden fazla yonga üretim tesisi ile yarı iletken montaj ve test tesislerine başarıyla teslim ettik.
Temsilci bir proje, 12 inçlik İleri Yarı İletken Üretim Tesisi Ultra Saf Su (UPW) Sistemi’dir; burada ürün suyu, elektriksel direnç değerini sürekli olarak 18,25 MΩ·cm seviyesinde tutarak en yüksek yarı iletken ultra saf su spesifikasyonlarına tam olarak uyar.
Sistem, fabrika kabul testlerini (FAT) ve endüstriyel uyumluluk denetimlerini başarıyla geçerek, kararlı yüksek hacimli yarı iletken üretimini destekleyen güvenilir yıl boyu sürekli işlem yeteneğini göstermiştir.
Destekleyici belgeler şunlardır:
- Yarı iletkenler için özel UPW süreç patentleri
- CE, UL ve ISO sertifikasyon belgeleri
- Üçüncü taraf tarafından akredite edilmiş su kalitesi test raporları
- Proje tamamlanma ve kabul belgeleri
- Öncü yarı iletken projelerinden performans referansları
6. Hizmet Kapsamı ve İş Birliği Süreci
Yarı iletkenler için ultrasağlam su sistemleri için kapsamlı EPC anahtar teslim çözümleri sunuyoruz; bu çözümler saha incelemesi, ham su kalitesi analizi, özelleştirilmiş süreç mühendisliği, standart dışı ekipman tasarımı ve üretimi, montaj, devreye alma, sistem doğrulaması, işletme ve bakım hizmetleri, sistem güncellemeleri ile ömür boyu tüketim malzemeleri tedarikini kapsar.
Standart İş Birliği Süreci
- Saha İncelemesi ve Ham Su Analizi – Sahada inceleme yapın, su örnekleri toplayın ve kapsamlı bir ham su kalitesi değerlendirme raporu hazırlayın.
- Özelleştirilmiş Mühendislik Tasarımı – Yarı iletken üretim süreç gereksinimlerine dayalı olarak özel bir UPW sistemi çözümü, ekipman konfigürasyonu ve ticari teklif geliştirme.
- Ekipman Üretimi ve İnşaat – Sözleşme onaylandıktan sonra özelleştirilmiş ekipmanların imalatına ve sahada kurulumuna başlama.
- Kurulum, Devreye Alma ve Sistem Doğrulaması – Sistemin kurulumunu tamamlama, parametre kalibrasyonunu yapma ve tüm su kalitesi spesifikasyonlarının sürekli olarak karşılandığına dair uzun süreli deneme çalıştırması gerçekleştirme.
- Proje Kabulü ve Teknik Eğitim – Proje kabul prosedürlerine destek olma ve kapsamlı operatör eğitimi sağlama.
- Uzun Vadeli Teknik Destek – Önleyici bakım, rutin denetimler, sistem optimizasyonu, performans yükseltmeleri ve ömür boyu teknik destek sunma.
EN
