semiconductor-ultrapure-water-upw-system-solution, semiconductor-ultrapure-water-upw-system-solution, /solutions
EN
U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila da se za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za Proizvedena ultračista voda se koristi u kritičnim proizvodnim procesima poluprovodnika, uključujući graviranje pločaka, odlaganje tankih filmova, kemijsku mehaničku planarizaciju (CMP), čišćenje pločaka, fotolitografiju i druge napredne procese proizvodnje, gdje kvalitet vode izravno utječe na prin
Tipični kontaminanti u sirovoj vodi uključuju kalcijeve i magnezijeve ione tvrdoće, suspendirane čvrste tvari, koloidne čestice, ostatak hlora, sulfate, silikate i tragove teških metala. U zavisnosti od izvora vode mogu se naći i mikroorganizmi u tragovima i ukupni organski ugljik (TOC).
Poluprovodnički UPW sustavi zahtijevaju jedan od najviših standarda kvalitete vode u modernoj proizvodnji. Gotovo svi rastvoreni ioni, suspendirane čestice, mikroorganizmi i organski kontaminanti moraju biti uklonjeni. Za proizvodnu vodu potrebno je postići električni otpor od 18,25 MΩ·cm, dok se kontaminacija česticama, TOC, silicijuma i iona u tragovima mora kontrolirati na vrlo niske razine.
U usporedbi s ultračistim vodnim sustavima koji se koriste u fotonaponski energiji, litijumskim baterijama ili drugim industrijskim primjenama, poluprovodnički UPW sustavi zahtijevaju znatno veću čistoću vode, iznimnu operativnu stabilnost i neprekidnu neprekidnu radnost
U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju vode iz poluprovodnika potrebno je osigurati da je voda u skladu s člankom 3. točkom (a) ovog članka.
U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1907/2006, u skladu s člankom 3. stavkom 3. točkom (b) Uredbe (EZ) br. 1907/2006, u skladu s člankom 3. točkom (c) Uredbe (EZ) br. 1907/2006, u skladu s člankom 3. točkom (c) Uredbe (EZ)
Uobičajeni industrijski čisti vodeni sustavi obično nemaju dovoljno čistila za potpuno uklanjanje iona, rastvorenih organskih tvari (TOC) i ultrafinih čestica, što ih čini neprikladnim za napredne procese proizvodnje poluprovodnika.
Osim toga, kartridži filtriranja, smole za razmjenu iona i elementi membrane podložni su prljavštini i smanjenju performansi, što rezultira čestim isključenjima održavanja koji prekidaju kontinuiranu proizvodnju.
Uobičajena oprema često koristi cijevi i spremnike za skladištenje s nedovoljnom otpornošću na koroziju ili čistoćom, što povećava rizik od sekundarne kontaminacije uzrokovane izlijevanjem materijala.
U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2. Proizvođači sve više zahtijevaju visoko prilagođene, skalabilne i međunarodno usklađene UPW sustave posebno dizajnirane za naprednu proizvodnju poluprovodnika.
Kako bismo ispunili stroge zahtjeve kvalitete vode u proizvodnji poluprovodnika, koristimo dokazani višestepeni proizvodni proces UPW-a koji se sastoji od:
U slučaju da se primjenjuje druga metoda, u slučaju primjene primjene se primjenjuje druga metoda.
Sirova voda se prvo pretražuje multimedijalnom filtracijom, aktivnim ugljenom i preciznim filterom za uklanjanje suspendiranih čvrstih tvari, ostataka hlora, koloidnih kontaminanta i velikih organskih molekula.
Zatim se pretražena voda prolazi kroz dvostruki sustav obrne osmoze (RO) kako bi se uklonila velika većina rastvorenih soli, silicija i metalnih iona.
Napredni sustav elektrodejonizacije (EDI) kontinuirano uklanja preostale ionske kontaminante bez kemijske regeneracije, eliminišući rizik od sekundarne kontaminacije povezane s konvencionalnom regeneracijom razmjene iona.
Konačno, sistem poliranja i izmjene iona u mješovitim posteljima zajedno s ultrafiltracijom terminala proizvodi ultračistu vodu s stabilnim otpornošću od 18,25 MΩ·cm, što u potpunosti ispunjava zahtjeve naprednih procesa proizvodnje poluprovodnika.
Osnovna oprema uključuje:
Ova je rješenja posebno dizajnirana za napredne procese proizvodnje poluprovodnika i dosljedno proizvodi ultračistu vodu koja je u skladu s najvišim industrijskim standardima.
Kriticni parametri kvalitete vode uključujući TOC, kontaminaciju česticama, silicij i ione metala precizno se kontroliraju kako bi se povećala proizvodnja i pouzdanost proizvodnje.
Pružamo potpuno prilagođena inženjerska rješenja temeljena na rasporedu čiste sobe, procesnoj tehnologiji čvora, proizvodnom kapacitetu i karakteristikama sirove vode. Visoko čiste cijevi otporne na koroziju, kompaktna oprema za montažu na klizanje i modularni dizajni za proširenje učinkovito uklanjaju sekundarnu kontaminaciju dok se prilagođavaju budućim nadogradnjama kapaciteta.
Sve osnovne opreme, električni sustavi kontrole i komponente za čišćenje vode certificirani su prema standardima CE, UL i ISO, osiguravajući usklađenost s međunarodnim propisima o sigurnosti i zahtjevima proizvodnje poluprovodnika diljem svijeta.
Proces pročišćavanja u više stupnjeva uključuje inteligentno praćenje kvalitete vode i automatsku kontrolu procesa, pružajući odličnu otpornost na fluktuacije sirove vode uz produžavanje životnog vijeka membrana, smola i filtracijskih komponenti.
Modularni integrirani dizajn minimizira potrebe za prostorom za instalaciju, omogućuje brzu implementaciju i pruža izvanrednu fleksibilnost za proširenje poluprovodničkih tvornica i nadogradnju procesa.
Uspješno smo isporučili poluprovodničke ultračiste sisteme za vodu za više postrojenja za proizvodnju pločaka i postrojenja za sastavljanje i testiranje poluprovodnika.
Predstavnički projekt je 12-inčni napredni poluprovodnički sustav ultračiste vode (UPW), gdje proizvodna voda dosljedno održava električni otpor od 18,25 MΩ·cm, u potpunosti u skladu s najvišim specifikacijama poluprovodničke ultračiste vode.
Sistem je pokazao pouzdan neprekidno rad tijekom cijele godine, podržavajući stabilnu proizvodnju poluprovodnika velikih zapremina dok je uspješno prošao testiranje prihvaćanja tvornice (FAT) i inspekcije sukladnosti industrije.
U skladu s člankom 4. stavkom 2.
Pružamo sveobuhvatna EPC rješenja za poluprovodničke ultračiste vodene sustave, uključujući istraživanje lokacije, analizu kvalitete sirove vode, prilagođenu inženjeringu procesa, dizajn i proizvodnju nestandardne opreme, instalaciju, puštanje u rad, provjeru sustava, usluge rada i održa