1. Tullantı Sularının Mənbələri, Tipik Çirkləndiricilər və Suyun Keyfiyyət Xüsusiyyətləri
Yarımkeçirici kristal plastinkalarının (Wafer Fab) istehsalı zamanı yaranan tullantı suları çox mürəkkəbdir və bir neçə emal axınından ibarətdir. Bu sular əsasən plastinkaların aşındırılması, nazik təbəqənin çökməsi, ion implantasiyası, fotolitoqrafiya, kimyəvi-mexaniki planarlaşdırma (CMP), turşu və qələvi ilə yuyulması və çıxan qazların süzülməsi zamanı əmələ gəlir. Bu tullantı su axınları ümumiyyətlə beş kateqoriyaya bölünür: floridli tullantı suları, turşulu və qələviləşmiş tullantı suları, üzvi tullantı suları, ağır metallarla çirklənmiş tullantı suları və yüksək duzluluqlu konsentrat.
Tipik çirkləndiricilərə floridlər, silikatlar, bor və fosfor birləşmələri, iz miqdarında ağır metallar (mis, nikel və sink kimi), fotoresist qalıqları, üzvi həlledicilər, səthi-aktiv maddələr, ultra incə asılı hissəciklər və kolloid çirkləndiricilər daxildir.
Yarımkeçirici plastinkaların istehsalı üçün istifadə olunan suyun tullantı suyu axını əhəmiyyətli dərəcədə dəyişən səviyyəyə, turşu və qələvi şəraitinin növbələşməsinə, yüksək dərəcədə sabit kolloid hissəciklərə, zəif bioloji parçalanma qabiliyyətinə və çox yüksək miqyaslaşma və korroziya potensialına malikdir. Bəzi ağır metallar sabit metal kompleksləri şəklində mövcuddur və ənənəvi təmizləmə üsulları ilə çıxarılması çətindir.
Bununla yanaşı, yarımkeçirici istehsalat müəssisələri son dərəcə sərt mühitə təsir edən tullantı suyunun buraxılması və suyun təkrar istifadəsi standartlarına tabedir; bu da plastinka istehsalı üçün istifadə olunan suyun tullantı suyunu emal etmək üçün ən texniki cəhətdən çətin sənaye tullantı suyu axınlarından birinə çevirir.
2. Yayğın müştəri çətinlikləri
Yarımkeçirici plastinkaların istehsalı üçün istifadə olunan suyun tullantı suyunun təmizlənməsi bir neçə xüsusi texniki çətinliklərlə üzləşir.
Kompleksləşmiş ağır metallar və sabit florid-silikat birləşmələri ənənəvi təmizləmə prosesləri ilə çıxarılması çətin olan maddələrdir; bu da tullantı suyunun xassələrinin dəyişməsi zamanı artan sərtliklə tələb olunan buraxılma standartlarına uyğunluq təmin etməyi çətinləşdirir.
Ultraincə kolloid hissəciklər və fotoresist qalıqları tez-tez çamur yığılmasına, boru kəmərlərinin tıkanmasına və ağır membran çirklənməsinə səbəb olur; nəticədə davamlı plastinka istehsalı pozulur və avadanlıq tez-tez dayandırılır.
Yarımkeçirici istehsalı müxtəlif layihələr üçün fərqli sulu tullantı axınları yaradan bir çox istehsal prosesini əhatə etdiyindən, birləşdirilmiş emal tez-tez artıq kimyəvi maddə dozası tələb edir və çoxlu çamur hasil edir; bu da yüksək işlətmə və atma xərclərinə gətirib çıxarır.
Standart sulu tullantıların emalı avadanlıqları ümumiyyətlə yarımkeçirici istehsalı üçün lazım olan korroziyaya davamlılığı, çirklənməyə qarşı müqaviməti və təmizliyi təmin edə bilmir; bu da ikinci dərəcəli çirklənmə riskini artırır.
Bununla yanaşı, yarımkeçirici fabrikları sıx təmiz otaq planlaşdırması saxlayaraq istehsal imkanlarını davamlı genişləndirirlər. Ənənəvi mülki tullantı suyu təmizləmə qurğuları böyük sahə tutur və gələcəkdə genişlənmə üçün məhdud esneklik təmin edir; bu da tamamilə inteqrasiya olunmuş və fərdiləşdirilmiş tullantı suyu təmizləmə həllərinə olan tələbatı yaradır.
3. Emal prosesi və əsas avadanlıq konfiqurasiyası
Yarımkeçirici plastinka fabrikinin tullantı suyunun müxtəlif və texniki cəhətdən tələbkar xüsusiyyətlərini həll etmək üçün biz aşağıdakı tamamilə inteqrasiya olunmuş emal prosesindən istifadə edirik:
Ayrı-ayrı toplama → Kompleksləşmənin pozulması və suyun kondisionlaşdırılması → Florid və Silika çıxarılması → Koaqulyasiya və çökmə → Bioloji emal → İrəli membran təmizləmə → Konsentratın həcmində azalma
Fərdi tullantı suyu axınları hidravlik və su keyfiyyəti dalğalanmalarını minimuma endirmək üçün ayrı-ayrı toplanır və bərabərləşdirilir.
Xüsusi dekompleksasiya prosesi, dəqiq florid və silisium dioksidinin çıxarılması sistemi tərəfindən xarakterik çirkləndirici maddələrin seçici şəkildə çıxarılmasından əvvəl sabit ağır metalların komplekslərini parçalayır.
Sular sonra koaqulyasiya və çökmə prosesindən keçir, sonra isə davamlı üzvi birləşmələrin parçalanması üçün inkişaf etmiş oksidləşməyə məruz qalır.
Bioloji emal sistemi suyun ultrafiltrasiya (UF) sistemi və kir tutmaya qarşı tərs osmoz (RO) membran sistemi vasitəsilə irəli səviyyəli təmizlənməsindən əvvəl qalıq COD-un daha da azaldılmasına kömək edir.
Yüksək keyfiyyətli təkrar istifadə olunan su yarımkeçirici istehsalında təmizləmə proseslərində təkrar istifadə olunur, buna qarşı konsentrləşdirilmiş sular isə effektiv atıqların idarə edilməsi və resursların bərpa edilməsi üçün daha da həcm azaldılması prosesindən keçir.
Əsas avadanlıqlar aşağıdakılardır:
- Korrosiyaya davamlı ayrılmış toplama və eyniləşdirmə sistemləri
- Ağır metal dekompleksləşmə reaktorları
- Yüksək səmərəli florid çıxarma reaktorları
- Ağıllı kimyəvi dozaj sistemləri
- Tullantıya qarşı membran filtrasiya sistemləri
- Onlayn su keyfiyyəti monitorinq cihazları
- Tam avtomatlaşdırılmış elektrik idarəetmə sistemləri
4. Həllin üstünlükləri
Bu həll xüsusi olaraq yarımkeçirici plastinlərin istehsalı müəssisələrində qarşılaşılan mürəkkəb tullantı suyu şəraitinə cavab verilməsi üçün hazırlanmışdır.
Mülkiyyətli emal prosesi ağır metalları, florid-silikat birləşmələrini və çətin parçalanabilən üzvi kontaminantları effektiv şəkildə aradan qaldırır və eyni zamanda təmizlənmiş suyun həm ekoloji buraxılış qaydalarına, həm də müəssisənin suyun təkrar istifadəsi tələblərinə uyğun olmasını təmin edir.
Biz təmiz otaq düzülüşünə, tullantı suyunun xarakteristikalarına, istehsal gücü və mövcud quraşdırma sahəsinə əsaslanan tamamilə fərdiləşdirilmiş avadanlıq həlləri təqdim edirik. Fərdiləşdirilmiş korroziyaya davamlı avadanlıq korpusları, aşınmaya davamlı materiallar, tıxanmaya qarşı axın kanalları və kompakt modulyar avadanlıq yarımkeçirici sənayesinin tələbkar iş şəraitində optimal performansı təmin edir.
Bütün əsas avadanlıq, elektrik idarəetmə komponentləri və su təmizləmə sistemləri CE, UL və ISO standartlarına uyğun sertifikatlaşdırılıb və dünyanın iri yarımkeçirici istehsalat obyektlərinin qatı təhlükəsizlik və uyğunluq tələblərini ödəyir.
Ayrı-ayrı təmizləmə prosesi hidravlik və su keyfiyyəti dalğalanmalarına qarşı yüksək müqavimət göstərir və bu da texniki xidmət tezliyini, membranların çirklənməsini və çamurun yaranmasını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
Su bərpa dərəcəsi 95% -dən yuxarıdır ki, bu da təzə su istehlakını və əməliyyat xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və ümumi istehsalat səmərəliliyini artırır.
Modullu inteqrasiya edilmiş dizayn quraşdırma sahəsini minimuma endirir, gələcəkdə çevik genişlənməyə imkan verir və davamlı, yüksək həcmli yarımkeçirici istehsalatı üçün tam avtomatlaşdırılmış iş rejiminə dəstək verir.
5. Layihə istinadları və dəstək sənədləri
Biz bir neçə 12-duymluq və 8-duymluq yarımkeçirici plastinka istehsalat obyektləri üçün sulu tullantıların təmizlənməsi layihələrini uğurla başa vurmuşuq.
Nümayəndə layihəsi — 1200 m³/gün təmizləmə qabiliyyətinə malik irəli səviyyəli plastinka istehsalı zavoduna aid Kompleks Sulu Tullantıların Təmizlənməsi və Suyun Təkrar İstifadəsi Sistemi-dir.
Sistem uzun müddətli sabit işləməni nümayiş etdirmişdir və florid, silisium və qalıq ağır metalların yüksək konsentrasiyaları ilə yanaşı membranların çirklənməsi problemlərini uğurla həll etmişdir. Layihə həm ekoloji qəbul yoxlamalarını, həm də sərt fabrik suyun keyfiyyəti yoxlamalarını keçmişdir; bu da plastinkaların sabit istehsalını və davamlı istehsal proseslərini təmin edir.
Dəstəkləyici sənədlər aşağıdakılardan ibarətdir:
- Məxsusi yarımkeçirici sulu tullantıların təmizlənməsi prosesi üzrə patentlər
- CE, UL və ISO sertifikatları
- Üçüncü tərəf tərəfindən akkreditə edilmiş su keyfiyyəti test hesabatları
- Layihənin tamamlanması və qəbulu sənədləri
- Əsas yarımkeçirici istehsalçıları üçün referans layihələr
6. Xidmət əhatəsi və əməkdaşlıq prosesi
Biz yarımkeçirici kristal disk istehsalı obyektləri üçün tam EPC açar-üstü tullantı suyu təmizləmə həlləri təqdim edirik: sahə araşdırması, tullantı suyu nümunələrinin alınması və analizi, fərdiləşdirilmiş proses mühəndisliyi, qeyri-standart avadanlıqların dizaynı, istehsalı, quraşdırılması, işə salınması, istismar və texniki xidmət xidmətləri, sistemlərin modernizasiyası və ömür boyu sərf olunan materialların təchizatı.
Standart Əməkdaşlıq Proseduru
- Sahə Araşdırması və Tullantı Suyu Analizi – Sahədə araşdırma aparın, tullantı suyu nümunələrini toplayın və ətraflı su keyfiyyəti analizi hesabatı təqdim edin.
- Fərdiləşdirilmiş Mühəndislik Dizaynı – Kristal disk istehsalı prosesinin tələblərinə əsaslanaraq xüsusi təmizləmə prosesi, fərdiləşdirilmiş avadanlıq həlli və kommersiya təklifi hazırlayın.
- Avadanlıq istehsalı və tikinti – Müqavilə təsdiqləndikdən sonra fərdiləşdirilmiş avadanlıqların istehsalına və sahədə quraşdırılmasına başlamaq.
- Quraşdırma və qəbul – Bütün təmizləmə performansı göstəriciləri ardıcıl şəkildə əldə edilənə qədər tam quraşdırma, inteqrasiya olunmuş qəbul və davamlı sınaq işi.
- Layihənin qəbulu və texniki təlim – Mühit qəbul prosedurlarında kömək etmək və ətraflı operator təlimi təmin etmək.
- Uzunmüddətli texniki dəstək – Planlı yoxlamalar, profilaktik təmir, sistem optimallaşdırılması, avadanlığın yenilənməsi və 24/7 texniki dəstək təmin etmək.
EN
