1. Sumber Air Sisa, Pencemar Lazim & Ciri-Ciri Kualiti Air
Air sisa yang dihasilkan daripada fabrikasi wafer semikonduktor (Wafer Fab) adalah sangat kompleks dan terdiri daripada pelbagai aliran proses. Ia terutamanya dihasilkan semasa pengukir wafer, pemendapan lapisan nipis, penanaman ion, fotolitografi, pengatasan mekanikal kimia (CMP), pembersihan berasid dan beralkali, serta penyucian gas buangan. Aliran air sisa ini secara umumnya dikelaskan kepada lima kategori: air sisa mengandungi fluorida, air sisa berasid dan beralkali, air sisa organik, air sisa logam berat, dan pekat berketerlarutan tinggi.
Pencemar lazim termasuk fluorida, silikat, sebatian boron dan fosforus, logam berat dalam jumlah surih (seperti kuprum, nikel, dan zink), sisa fotoresist, pelarut organik, bahan pembasah, zarah tersuspensi ultrahalus, dan bendasing koloid.
Air sisa loji fabrikasi wafer semikonduktor dicirikan oleh perubahan ketara dalam kadar aliran, keadaan berasid dan beralkali secara bergilir, zarah koloid yang sangat stabil, kebolehuraian biologi yang rendah, serta potensi tinggi untuk pembentukan kerak dan kakisan. Sesetengah logam berat wujud sebagai kompleks logam stabil yang sukar diasingkan dengan kaedah rawatan konvensional.
Selain itu, kemudahan pembuatan semikonduktor tertakluk kepada piawaian pelepasan alam sekitar dan penggunaan semula air yang amat ketat, menjadikan air sisa fabrikasi wafer antara aliran air sisa industri yang paling mencabar dari segi teknikal untuk dirawat.
2. Cabaran Pelanggan yang Lazim
Rawatan air sisa dalam fabrikasi wafer semikonduktor membentangkan beberapa cabaran teknikal yang sangat khusus.
Logam berat yang terkompleks dan sebatian fluorida-silikat yang stabil sukar diasingkan dengan proses rawatan konvensional, menyukarkan pematuhan terhadap piawaian pelepasan yang semakin ketat apabila ciri-ciri air sisa berubah-ubah.
Zarah-zarah koloid ultrahalus dan sisa-sisa fotoresist kerap menyebabkan pengumpulan lumpur, penyumbatan paip, dan pendaraban membran yang teruk, mengakibatkan penutupan peralatan secara kerap yang mengganggu pengeluaran wafer secara berterusan.
Oleh sebab pembuatan semikonduktor melibatkan pelbagai proses pengilangan yang menghasilkan aliran air sisa yang berbeza, rawatan gabungan sering memerlukan dos bahan kimia yang berlebihan dan menghasilkan isi padu lumpur yang besar, membawa kepada kos operasi dan pelupusan yang tinggi.
Peralatan rawatan air sisa piawai umumnya kurang tahan kakisan, kurang rintangan terhadap pendaraban, dan kurang bersih untuk keperluan pembuatan semikonduktor, meningkatkan risiko kontaminasi sekunder.
Selain itu, loji semikonduktor terus-menerus memperluas kapasiti pengeluaran sambil mengekalkan susun atur bilik bersih yang padat. Fasiliti rawatan air sisa awam konvensional memerlukan ruang yang luas dan memberikan kelenturan yang terhad untuk pengembangan masa depan, mencipta permintaan terhadap penyelesaian rawatan air sisa yang sepenuhnya terintegrasi dan disesuaikan.
3. Proses Rawatan & Konfigurasi Peralatan Utama
Untuk mengatasi ciri-ciri pelbagai dan menuntut dari segi teknikal air sisa loji fab wafer semikonduktor, kami menggunakan proses rawatan yang sepenuhnya terintegrasi yang terdiri daripada:
Pengumpulan Terpisah → Pemecahan Kompleks & Penyesuaian Kualiti Air → Penyingkiran Fluorida & Silika → Koagulasi & Pemendapan → Rawatan Biologi → Pemurnian Membran Lanjutan → Pengurangan Isipadu Pepekatan
Aliran air sisa individu dikumpulkan dan diseimbangkan secara berasingan untuk meminimumkan fluktuasi hidraulik dan kualiti air.
Suatu proses dekompleksasi khusus memecahkan kompleks logam berat stabil sebelum sistem penyingkiran fluorida dan silika yang tepat menghilangkan kontaminan ciri khas secara pilihan.
Air sisa kemudiannya menjalani pengkoagulan dan pengenapan, diikuti oleh pengoksidaan lanjutan untuk menguraikan sebatian organik tahan larut.
Suatu sistem rawatan biologi seterusnya menghilangkan COD baki sebelum air melalui sistem Ultrafiltrasi (UF) dan membran Osmosis Songsang (RO) tahan pendaraban untuk pemurnian lanjutan.
Air terpakai semula berkualiti tinggi digunakan semula dalam proses pembersihan pengeluaran semikonduktor, manakala air sisa pekat mengalami pengurangan isipadu lanjutan bagi pembuangannya yang cekap serta pemulihan sumber.
Peralatan utama termasuk:
- Sistem pengumpulan berasingan dan penyamarataan yang tahan kakisan
- Reaktor penguraian kompleks logam berat
- Reaktor penyingkiran fluorida berkecekapan tinggi
- Sistem pengagihan bahan kimia pintar
- Sistem penapisan membran anti-pelapisan
- Alat pemantau kualiti air dalam talian
- Sistem kawalan elektrik sepenuhnya automatik
4. Kelebihan Penyelesaian
Penyelesaian ini direkabentuk khusus untuk menangani keadaan air sisa yang kompleks yang dihadapi di kemudahan pembuatan wafer semikonduktor.
Proses rawatan eksklusif ini berkesan mengeluarkan logam berat, sebatian fluorida-silikat, dan kontaminan organik tahan rawatan, sambil secara konsisten menghasilkan air terolah yang memenuhi kedua-dua peraturan pelepasan alam sekitar dan keperluan penggunaan semula air di loji.
Kami menyediakan penyelesaian peralatan yang sepenuhnya disesuaikan berdasarkan susun atur bilik bersih, ciri-ciri air sisa, kapasiti pengeluaran, dan ruang pemasangan yang tersedia. Perumahan peralatan tahan kakisan yang disesuaikan, bahan tahan haus, saluran aliran anti-sumbat, dan peralatan modular padat memastikan prestasi optimum dalam keadaan operasi semikonduktor yang mencabar.
Semua peralatan utama, komponen kawalan elektrik, dan sistem rawatan air disahkan mengikut piawaian CE, UL, dan ISO, memenuhi keperluan keselamatan dan pematuhan yang ketat di kemudahan pembuatan semikonduktor maju di seluruh dunia.
Proses rawatan berasingan memberikan rintangan yang sangat baik terhadap turun naik hidraulik dan kualiti air, secara ketara mengurangkan kekerapan penyelenggaraan, pendaraban membran, dan penghasilan lumpur.
Kadar pemulihan air melebihi 95%, secara ketara mengurangkan penggunaan air tawar dan kos operasi sambil meningkatkan kecekapan pengeluaran secara keseluruhan.
Reka bentuk bermodul terkamput meminimumkan ruang pemasangan, membenarkan pengembangan masa depan yang fleksibel, dan menyokong operasi sepenuhnya automatik untuk pembuatan semikonduktor berkelantangan tinggi secara berterusan.
5. Rujukan Projek & Dokumentasi Sokongan
Kami telah berjaya menyiapkan projek rawatan air sisa bagi beberapa kemudahan fabrikasi wafer semikonduktor 12 inci dan 8 inci.
Suatu projek perwakilan ialah Sistem Rawatan Air Sisa dan Penggunaan Semula Air yang Komprehensif bagi Fasiliti Pembuatan Wafer Lanjutan, dengan kapasiti rawatan sebanyak 1,200 m³/hari.
Sistem ini telah menunjukkan operasi stabil dalam jangka masa panjang, berjaya menyelesaikan isu-isu berkaitan kepekatan fluorida dan silika yang terlalu tinggi, logam berat baki, serta pendaraban membran. Projek ini lulus kedua-dua pemeriksaan penerimaan alam sekitar dan pengesahan ketat kualiti air kilang, memastikan pengeluaran wafer yang stabil dan operasi pembuatan berterusan.
Dokumentasi sokongan termasuk:
- Paten proses rawatan air sisa semikonduktor eksklusif
- Sijil pensijilan CE, UL, dan ISO
- Laporan ujian kualiti air yang disahkan oleh pihak ketiga
- Dokumen penyelesaian dan penerimaan projek
- Projek rujukan bagi pengilang semikonduktor terkemuka
6. Lingkup Perkhidmatan & Proses Kerjasama
Kami menyediakan penyelesaian rawatan air sisa EPC siap pakai yang komprehensif untuk kemudahan pembuatan wafer semikonduktor, termasuk penyiasatan tapak, pengambilan sampel dan analisis air sisa, kejuruteraan proses tersuai, rekabentuk peralatan bukan piawai, pembuatan, pemasangan, penyusunan, perkhidmatan operasi dan penyelenggaraan, peningkatan sistem, serta bekalan bahan habis pakai sepanjang hayat.
Proses Kerjasama Piawai
- Penyiasatan Tapak & Analisis Air Sisa – Jalankan penyiasatan di tapak, kumpulkan sampel air sisa, dan sediakan laporan analisis kualiti air yang komprehensif.
- Rekabentuk Kejuruteraan Tersuai – Bangunkan proses rawatan khusus, penyelesaian peralatan tersuai, dan cadangan komersial berdasarkan keperluan proses pembuatan wafer.
- Pembuatan Peralatan & Pembinaan – Mulakan pembuatan peralatan tersuai dan pemasangan di tapak selepas pengesahan kontrak.
- Pemasangan & Penyusunan – Menyelesaikan pemasangan, penyusunan terpadu, dan operasi percubaan berterusan sehingga semua sasaran prestasi rawatan dicapai secara konsisten.
- Penerimaan Projek & Latihan Teknikal – Membantu prosedur penerimaan alam sekitar dan memberikan latihan komprehensif kepada operator.
- Sokongan Teknikal Jangka Panjang – Sediakan pemeriksaan berkala, penyelenggaraan berjadual, pengoptimuman sistem, peningkatan peralatan, dan sokongan teknikal 24/7.
EN
