Sljedeći članak:

1. za Izvori otpadne vode, tipični onečišćujući tvari i značajke kvalitete vode

U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila da se odvojiti od primjene članka 3. stavka 1. točke (b) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 na temelju članka 3. stavka 1. Prvenstveno se stvara tijekom graviranja pločaka, ugradnje tankih filmova, implantacije iona, fotolitografije, kemijske mehaničke planarizacije (CMP), kiselog i alkalnog čišćenja i čišćenja izduvnih plinova. Ti tokovi otpadne vode općenito se klasificiraju u pet kategorija: otpadne vode koje sadrže fluor, kisele i alkalne otpadne vode, organske otpadne vode, otpadne vode od teških metala i koncentrat visoke slanosti.

Tipični kontaminanti uključuju fluoride, silikate, spojeve bora i fosfora, tragove teških metala (kao što su bakar, nikl i cink), fotoresističke ostatke, organske rastvarače, površinski aktivne tvari, ultrafini suspendirane čestice i koloidne nečistoće.

Odpadne vode iz proizvodnje poluprovodničkih oblaka karakteriziraju se značajnim fluktuacijama brzine protoka, izmjenama kiselosti i alkalnosti, vrlo stabilnim koloidnim česticama, lošom biološkom razgradljivošću i visokim potencijalom za škrljenje i koroziju. Neki teški metali postoje kao stabilni metalni kompleksi koje je teško ukloniti konvencionalnim metodama obrade.

Osim toga, postrojenja za proizvodnju poluprovodnika podliježu izuzetno strogim standardima za otpuštanje i ponovno korištenje vode u okolišu, što vode od otpadnih voda iz tvornice obloga čini jednim od tehnički najzahtjevnijih industrijskih tokova otpadnih voda za liječenje.

2. - Što? Česti izazovi za kupce

Za obradu otpadnih voda u proizvodnji poluprovodničkih pločica postoje nekoliko visoko specijaliziranih tehničkih izazova.

Složeni teški metali i stabilna spojeva fluorida i silikata teško se uklanjaju konvencionalnim postupcima čišćenja, što otežava usklađenost s sve strožim standardima za pražnjenje kada se karakteristike otpadnih voda mijenjaju.

Ultrafini koloidni čestice i fotoresistički ostatci često uzrokuju nakupljanje blata, blokadu cijevi i ozbiljnu prljavštinu membrane, što rezultira čestim isključenjem opreme koja prekida kontinuiranu proizvodnju obloga.

U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila da se za proizvodnju poluprovodnika primjenjuje sljedeći postupak:

Uobičajena oprema za čišćenje otpadnih voda općenito nema otpornost na koroziju, sposobnost protiv prljavštine i čistoću potrebnu za proizvodnju poluprovodnika, što povećava rizik od sekundarne kontaminacije.

Osim toga, tvornice poluprovodnika neprestano proširuju proizvodne kapacitete, zadržavajući kompaktne rasporede čistih prostorija. U skladu s člankom 1. stavkom 2. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila o uvođenju mjera za smanjenje emisija u skladu s člankom 2. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009.

3. Slijedi sljedeće: Proces obrade i konfiguracija osnovne opreme

Za rješavanje raznih i tehnički zahtjevnih karakteristika otpadnih voda iz proizvodnih postrojenja za poluprovodničke pločice, koristimo potpuno integrisani postupak čišćenja koji se sastoji od:

Sastavljanje u segregiranom obliku → Odvojena zbirka → Decomplexation & Water Conditioning → Fluoride & Silica Removal → Koagulacija & Sedimentation → Biološki tretman → Napredna pročišćavanje membrane → Smanjenje zapremine koncentrata

U slučaju da se ne provodi ispitivanje, ispitivanje se provodi u skladu s člankom 6. stavkom 2.

Poseban proces dekompleksiranja razgrađuje stabilne teške metalne komplekse prije nego što precizni sustav za uklanjanje fluorida i silicijuma selektivno ukloni karakteristične onečišćujući tvari.

Odpadne vode se zatim koaguliraju i sedimentaciju, a zatim naprednu oksidaciju za razgradnju otpornih organskih spojeva.

U slučaju da je proizvod bio u stanju da se izloži u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, proizvođač mora upotrijebiti sustav za ispitivanje.

U skladu s člankom 3. stavkom 2. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila da se odredi sljedeći postupak:

Osnovna oprema uključuje:

• Sistemi za odvojeno prikupljanje i izjednačavanje otpornih na koroziju
• S druge energije
• Reaktor za uklanjanje fluorida
• Inteligentni sustavi za doziranje kemikalija
• Sistemi za filtriranje membrane protiv prljavštine
• Instrumenti za online praćenje kvalitete vode
• S druge opreme za upravljanje električnim sustavima

4. - Što? Prednosti rješenja

Ovo rješenje posebno je dizajnirano kako bi se riješili složeni uvjeti otpadnih voda koji se susreću u postrojenjima za proizvodnju poluprovodničkih oblaka.

Proces obrade koji je proizveo tvrtka učinkovito uklanja teške metale, spojeve fluorida i silikata i otporne organske onečišćujući tvari, a istovremeno dosljedno proizvodi pročišćenu vodu koja ispunjava i propise o otpadu okoliša i zahtjeve za ponovno korištenje biljne vode.

Pružamo potpuno prilagođene rješenja opreme na temelju rasporeda čiste sobe, karakteristika otpadnih voda, proizvodnih kapaciteta i raspoložive instalacije prostora. Uređaji za otpornu opremu na koroziju, materijali otporni na habanje, kanali protoka protiv zamašljanja i kompaktna modularna oprema osiguravaju optimalne performanse u zahtjevnim uvjetima rada poluprovodnika.

Sve osnovne opreme, električne komponente za kontrolu i sustavi za čišćenje vode certificirani su prema standardima CE, UL i ISO, ispunjavaju stroge zahtjeve sigurnosti i usklađenosti naprednih postrojenja za proizvodnju poluprovodnika diljem svijeta.

Proces segregiranog tretiranja pruža odličnu otpornost na fluktuacije u kvaliteti vode i vode, značajno smanjujući učestalost održavanja, zamrzavanje membrane i stvaranje kalu.

U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.

Modularni integrirani dizajn minimizira prostor za instalaciju, omogućuje fleksibilnu buduću ekspanziju i podržava potpuno automatizirano rad za kontinuiranu proizvodnju poluprovodnika velikih zapremina.

- Pet. Referenci na projekte i potporna dokumentacija

Uspješno smo završili projekte čišćenja otpadnih voda za više 12-inčnih i 8-inčnih postrojenja za proizvodnju poluprovodnih oblaka.

U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.

Sustav je pokazao dugoročno stabilno funkcioniranje, uspješno rješavanje problema povezanih s prekomjernim koncentracijama fluorida i silicijuma, ostatke teških metala i membranske onečišćenja. Projekt je prošao i inspekcije prihvaćanja okoliša i stroge provjere kvalitete vode u tvornici, osiguravajući stabilnu proizvodnju oblaka i neprekidne proizvodne operacije.

U skladu s člankom 4. stavkom 2.

• U skladu s člankom 3. stavkom 1.
• Službeni broj:
• Izvješća o ispitivanju kvalitete vode
• Dokumentiranje o završetku projekta i prihvaćanju
• Referentni projekti za vodeće proizvođače poluprovodnika

6. - Što? Područje primjene usluga i proces suradnje

Pružamo sveobuhvatna rješenja za obradu otpadnih voda EPC za postrojenja za proizvodnju poluprovodnih oblaka, uključujući istraživanje mjesta, uzorkovanje i analizu otpadnih voda, prilagođene inženjering procese, dizajn nestandardne opreme, proizvodnju, instalaciju, puštanje u rad,

Standardni postupak suradnje

• U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.
• U skladu s zahtjevima procesa proizvodnje oblaka, razvijte namjenjeni postupak obrade, prilagođeno rješenje opreme i komercijalni prijedlog.
• U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.
• Uvođenje u rad Završetak instalacije, integrirano puštanje u rad i neprekidno ispitivanje dok se ne postignu svi ciljevi učinkovitosti tretmana.
• Pomoć u postupcima prihvaćanja za okoliš i pružanje sveobuhvatne obuke operatora.
• Dugo trajna tehnička podrška Obavljanje rutinskih inspekcija, preventivno održavanje, optimizacija sustava, nadogradnja opreme i tehnička podrška 24 sata dnevno.