1. Πηγές υδάτων αποβλήτων, τυπικοί ρύποι και χαρακτηριστικά ποιότητας νερού
Τα απόβλητα υδάτινα που προέρχονται από την κατασκευή ημιαγωγικών δίσκων (Wafer Fab) είναι εξαιρετικά πολύπλοκα και αποτελούνται από πολλαπλές ροές διεργασιών. Δημιουργούνται κυρίως κατά την επεξεργασία ετερογενών δίσκων (etching), την καταβύθιση λεπτών υμενίων (thin-film deposition), την ενσωμάτωση ιόντων (ion implantation), τη φωτολιθογραφία (photolithography), τη χημικο-μηχανική επίπεδη επεξεργασία (CMP), τον όξινο και αλκαλικό καθαρισμό, καθώς και την καθάριση αερίων εκπομπών (exhaust gas scrubbing). Αυτές οι ροές αποβλήτων υδάτων ταξινομούνται συνήθως σε πέντε κατηγορίες: απόβλητα υδάτινα που περιέχουν φθόριο, όξινα και αλκαλικά απόβλητα υδάτινα, οργανικά απόβλητα υδάτινα, απόβλητα υδάτινα που περιέχουν βαρέα μέταλλα και συμπυκνώματα υψηλής αλατότητας.
Τυπικοί ρύποι περιλαμβάνουν φθορίδια, πυριτικά, ενώσεις βορίου και φωσφόρου, ίχνη βαρέων μετάλλων (όπως χαλκού, νικελίου και ψευδαργύρου), κατάλοιπα φωτοαντιστάσεων, οργανικούς διαλύτες, επιφανειοδραστικές ουσίες, υπερλεπτά κολλοειδή σωματίδια και κολλοειδή ακαθαρσίες.
Τα απόβλητα νερού από τις εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών χαρακτηρίζονται από σημαντικές διακυμάνσεις στην παροχή, εναλλασσόμενες όξινες και αλκαλικές συνθήκες, εξαιρετικά σταθερά κολλοειδή σωματίδια, κακή βιοαποδομησιμότητα και υψηλή τάση για απόθεση λεπτών στρωμάτων και διάβρωση. Ορισμένα βαρέα μέταλλα υπάρχουν ως σταθερά μεταλλικά σύμπλοκα, τα οποία είναι δύσκολο να απομακρυνθούν με συμβατικές μεθόδους επεξεργασίας.
Επιπλέον, οι εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών υπόκεινται σε εξαιρετικά αυστηρά περιβαλλοντικά πρότυπα για απόρριψη και επαναχρησιμοποίηση νερού, καθιστώντας τα απόβλητα νερού από τις εγκαταστάσεις παραγωγής πλακιδίων ένα από τα πιο τεχνικά απαιτητικά βιομηχανικά ρεύματα αποβλήτων νερού προς επεξεργασία.
2. Συνηθισμένες προκλήσεις των πελατών
Η επεξεργασία αποβλήτων νερού στις εγκαταστάσεις παραγωγής πλακιδίων ημιαγωγών παρουσιάζει αρκετές εξαιρετικά εξειδικευμένες τεχνικές προκλήσεις.
Τα σύμπλοκα βαρέων μετάλλων και οι σταθερές ενώσεις φθοριούχου-πυριτίου είναι δύσκολο να απομακρυνθούν με συμβατικές διαδικασίες επεξεργασίας, καθιστώντας δύσκολη τη συμμόρφωση με τα όλο και πιο αυστηρά πρότυπα απόρριψης, όταν οι χαρακτηριστικές παράμετροι των αποβλήτων νερού μεταβάλλονται.
Οι υπερλεπτές κολλοειδείς σωματίδιες και τα υπολείμματα φωτοαντιστάσεων προκαλούν συχνά συσσώρευση ιλύος, απόφραξη σωληνώσεων και σοβαρή επιβάρυνση μεμβρανών, με αποτέλεσμα συχνές διακοπές λειτουργίας του εξοπλισμού που διακόπτουν τη συνεχή παραγωγή πλακών.
Επειδή η κατασκευή ημιαγωγών περιλαμβάνει πολλές διαδικασίες παραγωγής που παράγουν διαφορετικές ροές υγρών αποβλήτων, η συνδυασμένη μεταχείριση απαιτεί συχνά υπερβολική προσθήκη χημικών και παράγει μεγάλους όγκους ιλύος, με αποτέλεσμα υψηλό κόστος λειτουργίας και διάθεσης.
Ο τυπικός εξοπλισμός μεταχείρισης υγρών αποβλήτων συνήθως δεν διαθέτει την αντοχή στη διάβρωση, την ικανότητα αντίστασης στην επιβάρυνση και την καθαρότητα που απαιτούνται για την παραγωγή ημιαγωγών, αυξάνοντας τον κίνδυνο δευτερογενούς μόλυνσης.
Επιπλέον, οι εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών επεκτείνουν συνεχώς την παραγωγική τους ικανότητα, διατηρώντας παράλληλα συμπαγείς διατάξεις καθαρών χώρων. Οι συμβατικές εγκαταστάσεις επεξεργασίας αστικών λυμάτων καταλαμβάνουν μεγάλες επιφάνειες και προσφέρουν περιορισμένη ευελιξία για μελλοντική επέκταση, δημιουργώντας ζήτηση για πλήρως ενσωματωμένες και προσαρμοσμένες λύσεις επεξεργασίας λυμάτων.
3. Διαδικασία Επεξεργασίας & Διαμόρφωση Βασικού Εξοπλισμού
Για να ανταποκριθούμε στα ποικίλα και τεχνικά απαιτητικά χαρακτηριστικά των λυμάτων από εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών, χρησιμοποιούμε μια πλήρως ενσωματωμένη διαδικασία επεξεργασίας που αποτελείται από:
Διαχωρισμένη Συλλογή → Αποσυνθήκευση & Ρύθμιση Ποιότητας Νερού → Αφαίρεση Φθοριούχων & Πυριτιούχων → Συσσωμάτωση & Ιζηματοποίηση → Βιολογική Επεξεργασία → Προηγμένη Μεμβρανική Καθαρισμός → Μείωση Όγκου Συμπυκνώματος
Οι μεμονωμένες ροές λυμάτων συλλέγονται και εξισορροπούνται ξεχωριστά για να ελαχιστοποιηθούν οι διακυμάνσεις στην υδραυλική ροή και στην ποιότητα του νερού.
Μια αφιερωμένη διαδικασία αποσυμπλέξιμου συστήματος διασπά σταθερά σύμπλοκα βαρέων μετάλλων πριν από ένα ακριβές σύστημα αφαίρεσης φθοριούχων και πυριτιούχων ενώσεων, το οποίο επιλεκτικά αφαιρεί χαρακτηριστικούς ρύπους.
Τα λύματα υφίστανται στη συνέχεια συσσωμάτωση και ιζηματοποίηση, ακολουθούμενες από προηγμένη οξείδωση για την αποδόμηση ανθεκτικών οργανικών ενώσεων.
Ένα βιολογικό σύστημα επεξεργασίας αφαιρεί περαιτέρω το υπολειπόμενο COD πριν από τη διέλευση του νερού από ένα σύστημα υπερδιήθησης (UF) και ένα αντι-επικάλυψης μεμβρανικό σύστημα αντίστροφης όσμωσης (RO) για προηγμένη καθαριότητα.
Το ανακτηθέν νερό υψηλής ποιότητας επαναχρησιμοποιείται στις διαδικασίες καθαρισμού παραγωγής ημιαγωγών, ενώ τα συμπυκνωμένα λύματα υφίστανται περαιτέρω μείωση όγκου για αποτελεσματική διάθεση και ανάκτηση πόρων.
Τα βασικά εξοπλισμένα συστήματα περιλαμβάνουν:
- Ανθεκτικά στη διάβρωση συστήματα διαχωρισμένης συλλογής και εξισορρόπησης
- Αντιδραστήρες αποσυμπλέξιμων βαρέων μετάλλων
- Αντιδραστήρες υψηλής απόδοσης για την αφαίρεση φθοριούχων ενώσεων
- Έξυπνα συστήματα δόσεως χημικών
- Μεμβρανικά συστήματα διήθησης ανθεκτικά σε φραγμούς
- Όργανα συνεχούς παρακολούθησης της ποιότητας του νερού
- Πλήρως αυτοματοποιημένα ηλεκτρικά συστήματα ελέγχου
4. Πλεονεκτήματα της λύσης
Αυτή η λύση έχει σχεδιαστεί ειδικά για να αντιμετωπίζει τις πολύπλοκες συνθήκες υγρών αποβλήτων που παρατηρούνται σε εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών.
Η ιδιόκτητη διαδικασία επεξεργασίας απομακρύνει αποτελεσματικά τα βαρέα μέταλλα, τις ενώσεις φθοριούχου-πυριτίου και τους ανθεκτικούς οργανικούς ρύπους, παράγοντας συνεχώς επεξεργασμένο νερό που πληροί τόσο τους κανονισμούς περιβαλλοντικής απόρριψης όσο και τις απαιτήσεις επαναχρησιμοποίησης νερού στην εγκατάσταση.
Προσφέρουμε πλήρως προσαρμοσμένες λύσεις εξοπλισμού, βασισμένες στη διάταξη του καθαρού χώρου, τα χαρακτηριστικά των υγρών αποβλήτων, την παραγωγική ικανότητα και τον διαθέσιμο χώρο εγκατάστασης. Οι προσαρμοσμένοι ανθεκτικοί στη διάβρωση περίβλημα εξοπλισμού, τα ανθεκτικά στη φθορά υλικά, οι ροές αντιφρακτικού σχεδιασμού και ο συμπαγής, ενότητας μορφής εξοπλισμός διασφαλίζουν άριστη απόδοση σε απαιτητικές συνθήκες λειτουργίας ημιαγωγών.
Όλος ο βασικός εξοπλισμός, τα ηλεκτρικά στοιχεία ελέγχου και τα συστήματα επεξεργασίας νερού πιστοποιούνται σύμφωνα με τα πρότυπα CE, UL και ISO, πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις ασφαλείας και συμμόρφωσης που ισχύουν για προηγμένες εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών σε όλο τον κόσμο.
Η διαχωρισμένη διαδικασία επεξεργασίας παρέχει εξαιρετική αντίσταση σε διακυμάνσεις υδραυλικής πίεσης και ποιότητας νερού, μειώνοντας σημαντικά τη συχνότητα συντήρησης, την επιβάρυνση των μεμβρανών και την παραγωγή λάσπης.
Οι ρυθμοί ανάκτησης νερού υπερβαίνουν το 95 %, μειώνοντας σημαντικά την κατανάλωση γλυκού νερού και το κόστος λειτουργίας, ενώ βελτιώνουν τη συνολική απόδοση της παραγωγής.
Ο ενσωματωμένος μοντουλαρός σχεδιασμός ελαχιστοποιεί τον απαιτούμενο χώρο εγκατάστασης, επιτρέπει εύκαμπτη μελλοντική επέκταση και υποστηρίζει πλήρως αυτοματοποιημένη λειτουργία για συνεχή, υψηλού όγκου παραγωγή ημιαγωγών.
5. Αναφορές Έργων & Υποστηρικτική Τεκμηρίωση
Έχουμε ολοκληρώσει με επιτυχία έργα επεξεργασίας αποβλήτων για πολλές εγκαταστάσεις κατασκευής πλακιδίων ημιαγωγών διαμέτρου 12 ιντσών και 8 ιντσών.
Ένα αντιπροσωπευτικό έργο είναι ένα Ολοκληρωμένο Σύστημα Επεξεργασίας Αποβλήτων Υδάτων και Επαναχρησιμοποίησης Νερού για μια Προηγμένη Εγκατάσταση Κατασκευής Πλακιδίων, με χωρητικότητα επεξεργασίας 1.200 m³/ημέρα.
Το σύστημα έχει αποδείξει μακροχρόνια σταθερή λειτουργία, επιλύοντας με επιτυχία προβλήματα που σχετίζονται με υπερβολικές συγκεντρώσεις φθορίου και πυριτίου, κατάλοιπα βαρέων μετάλλων και επιφανειακής λειτουργικής επιφόρτισης μεμβρανών. Το έργο πέρασε τόσο τις επισήμως εγκεκριμένες περιβαλλοντικές επιθεωρήσεις όσο και τις αυστηρές επαληθεύσεις ποιότητας νερού της εγκατάστασης, διασφαλίζοντας σταθερή παραγωγή πλακιδίων και αδιάλειπτες κατασκευαστικές λειτουργίες.
Τα υποστηρικτικά έγγραφα περιλαμβάνουν:
- Δικαιώματα ευρεσιτεχνίας για ειδική διαδικασία επεξεργασίας αποβλήτων υδάτων ημιαγωγών
- Πιστοποιητικά CE, UL και ISO
- Εκθέσεις δοκιμών ποιότητας νερού από εξουσιοδοτημένα ανεξάρτητα εργαστήρια
- Τεκμηρίωση ολοκλήρωσης και παραλαβής του έργου
- Αναφορικά έργα για κορυφαίους κατασκευαστές ημιαγωγών
6. Εύρος Υπηρεσιών & Διαδικασία Συνεργασίας
Παρέχουμε ολοκληρωμένες λύσεις επεξεργασίας αποβλήτων ύδατος EPC «turnkey» για εγκαταστάσεις παραγωγής πλακιδίων ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της έρευνας τοποθεσίας, της δειγματοληψίας και ανάλυσης αποβλήτων υδάτων, της εξατομικευμένης μηχανικής διαδικασίας, του σχεδιασμού μη τυποποιημένου εξοπλισμού, της κατασκευής, της εγκατάστασης, της θέσης σε λειτουργία, των υπηρεσιών λειτουργίας και συντήρησης, των αναβαθμίσεων συστημάτων και της προμήθειας καταναλωσίμων για ολόκληρο το χρονικό διάστημα ζωής.
Τυποποιημένη Διαδικασία Συνεργασίας
- Έρευνα Τοποθεσίας & Ανάλυση Αποβλήτων Υδάτων – Διεξάγουμε έρευνα επιτόπου, συλλέγουμε δείγματα αποβλήτων υδάτων και παρέχουμε εκτενή έκθεση ανάλυσης ποιότητας νερού.
- Εξατομικευμένος Μηχανικός Σχεδιασμός – Αναπτύσσουμε ειδική διαδικασία επεξεργασίας, εξατομικευμένη λύση εξοπλισμού και εμπορική προσφορά βασισμένη στις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής πλακιδίων.
- Κατασκευή Εξοπλισμού και Κατασκευή – Έναρξη προσαρμοσμένης κατασκευής εξοπλισμού και επιτόπιας εγκατάστασης μετά την επιβεβαίωση της σύμβασης.
- Εγκατάσταση & Θέση σε λειτουργία – Ολοκλήρωση της εγκατάστασης, ενσωματωμένη θέση σε λειτουργία και συνεχής δοκιμαστική λειτουργία μέχρις ότου επιτευχθούν συνεχώς όλοι οι στόχοι απόδοσης της επεξεργασίας.
- Παραλαβή Έργου & Τεχνική Εκπαίδευση – Υποστήριξη στις διαδικασίες περιβαλλοντικής παραλαβής και παροχή ολοκληρωμένης εκπαίδευσης για τους χειριστές.
- Μακροπρόθεσμη Τεχνική Υποστήριξη – Παροχή τακτικών ελέγχων, προληπτικής συντήρησης, βελτιστοποίησης συστήματος, αναβαθμίσεων εξοπλισμού και τεχνικής υποστήριξης 24/7.
EN
