1. Tullantı suyunun mənbələri, tipik çirkləndirici maddələr və suyun xarakteristikaları
CMP (Kimyəvi-mexaniki planarlaşdırma) qarışığı suları yarımkeçirici plastinlərin istehsalı zamanı əmələ gələn əsas texnoloji su tullantısıdır. Əsasən kimyəvi-mexaniki parlaqlaşdırma (CMP), CMP-dən sonra plastinlərin yuyulması, istifadə olunmuş qarışığın tullantıya çıxarılması və təmiz otaqların döşəməsinin yuyulması əməliyyatlarından əmələ gəlir.
Ənənəvi sənaye sularından fərqli olaraq, CMP qarışığı suları xüsusi xarakterli xüsusiyyətlərə malikdir. Əsas çirkləndiricilər nanoölçülü silika (SiO₂) və seriya (CeO₂) aşındırıcı zərrəciklərindən, həmçinin mikro miqdarda mis (Cu) və alüminium (Al) kimi metal ionlarından, parlaqlaşdırma qarışığı dispersantlarından, benzotriazol (BTA) korroziya inhibitorlarından və qalıq turşulardan və qalıq əsaslı maddələrdən ibarətdir.
Aşağıdakı su, çox yüksək buludluqla və xüsusi sabit kolloid hissəciklərlə xarakterizə olunur. Ultra incə hissəcik ölçüsü səbəbindən asılı maddələr çökmür və ənənəvi təmizləmə texnologiyaları ilə effektiv ayrılmaq mümkün deyil. Ümumi COD nisbətən aşağı olsa da, suyun viskozitesi yüksəkdir, miqyaslaşma potensialı böyükdür və suyun keyfiyyəti tez-tez dəyişir; buna görə də boru kəmərlərinin tıxanması və membranların kirli olması ümumi işlətmə problemləridir.
Daha çox, yarımkeçirici istehsalı, son dərəcə qatı proses suyu tələblərini ödəyən, adi sənaye tullanan suyunun təkrar istifadəsi üçün qoyulan tələblərdən çox daha yüksək su keyfiyyəti tələb edən ultratəmiz təkrar istifadə olunan suya ehtiyac duyur.
2. Yayğın müştəri çətinlikləri
CMP tullanan suyunun təmizlənməsi yarımkeçirici istehsalına xas olan bir neçə yüksək ixtisaslaşmış texniki çətinliklər təqdim edir.
Stabil nanoölçülü silika kolloidləri ənənəvi çöküntü proseslərindən istifadə edilərək çıxarılmasının çətin olması nəticəsində çamurun yığılması, ağır membran çirklənməsi, tez-tez membran dəyişdirilməsi və kristal plastinkaların istehsalının davamlılığını birbaşa təsir edən planlaşdırılmamış sistem dayanmaları baş verir.
Qalan parlatma kimyəvi maddələri və iz miqdarında ağır metallar tamamilə çıxarılmadıqda ekoloji uyğunluq risklərinə səbəb ola bilər.
Yarımkeçirici istehsalat tesisləri çox yüksək təmizlik dərəcəsinə malik bərpa olunmuş su tələb etdiyindən, ənənəvi su təmizləmə sistemləri tez-tez tələb olunan su keyfiyyətini sabit şəkildə əldə edə bilmir; bu da suyun təkrar istifadə dərəcəsinin aşağı düşməsinə və əməliyyat xərclərinin artmasına səbəb olur.
Standartlaşdırılmış sulu tullantıların təmizlənməsi avadanlığı ümumiyyətlə CMP süspansiyası sulu tullantılarının yüksək özlülüyü və ultra incə hissəcik xüsusiyyətləri üçün nəzərdə tutulmayıb; ona görə də tıkanmaya qarşı və korroziyaya qarşı müqaviməti kifayət qədər deyil.
Bununla yanaşı, yarımkeçirici fabrikləri tez-tez istehsalat gücünü artırır, müntəzəm emal sistemləri isə böyük sahə tutur və gücün artırılması üçün məhdud esneklik təmin edir. Nəticədə, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsalı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, inteqrasiya olunmuş və fərdiləşdirilmiş sulu tullantıların emalı həlləri artan tələbə məruz qalır.
3. Emal prosesi və əsas avadanlıq konfiqurasiyası
CMP sulu tullantılarının əsas çətinliklərini — sabit kolloidləri, ultra incə zərrəcikləri və membranların kirli olmasına — həll etmək üçün aşağıdakı xüsusi emal prosesindən istifadə edirik:
Ayrı-ayrı toplama → Dəqiq su şərti təminatı və koaqulyasiya → Yüksək effektiv flokulyasiya və çökmə → Dəqiq süzülmə → İnkişaf etmiş membran təmizlənməsi → Ultra təmiz suyun təkrar istifadəsi
CMP sulu tullantıları ayrı-ayrı toplanır və sabit emal şəraitini təmin etmək üçün bərabərləşdirilir.
Dəqiq pH tənzimlənməsi kolloid hissəciklərinin sabitliyini pozur, buna görə də yüksək səmərəli koaqulyasiya və flokulyasiya sistemi nanoölçülü aşındırıcı hissəcikləri sürətlə birləşdirir və çökdürür.
Çöküntüdən sonra su, dəqiq süzülmə və aktivləşdirilmiş karbon adsorbsiyasından keçməzdən əvvəl əksər asılı maddələr və kolloid kontaminantlar aradan qaldırılır; bu da qalıq üzvi birləşmələri və iz miqdarında metalların qarışığına son qoyur.
Nəhayət, ultrafiltrasiya (UF) sistemi və kir tutmaya qarşı tədbir görülmüş tərs osmoz (RO) membran sistemi birlikdə irəli səviyyəli duzsuzlaşdırma və təmizləmə təmin edir və silikon plastinkaların parlatılması və təmizlənməsi prosesləri üçün uyğun olan yüksək keyfiyyətli təkrar istifadə edilə bilən su hasil edir.
Əsas avadanlıqlar aşağıdakılardır:
- Ağıllı pH tənzimlənmə və kimyəvi şərtləndirmə sistemləri
- Yüksək səmərəli koaqulyasiya və flokulyasiya reaktorları
- Dəqiq süzgəc qurğuları
- Tullantıya qarşı membran filtrasiya sistemləri
- Aktivləşdirilmiş karbon təmizləmə sistemləri
- Tam avtomatlaşdırılmış kimyəvi dozaj sistemləri
- Yüksək dəqiqlikli onlayn su keyfiyyəti monitorinq sistemləri
4. Həllin üstünlükləri
Bu həll xüsusi olaraq yarımkeçirici CMP süspansiyası suları üçün hazırlanmışdır və kolloid ayrılması çətinliyi və ağır membran kirə girməsi kimi sənayedə ən çətin problemləri effektiv şəkildə həll edir.
Mülki emal prosesi ultra incə silika zərrəciklərini, iz miqdarında ağır metalları və qalıq üzvi kontaminantları effektiv şəkildə aradan qaldırır və eyni zamanda yarımkeçirici emal suyu təkrar istifadə standartlarına uyğun bərpa edilmiş su istehsal edir.
Biz, yarımkeçirici təmiz otaq mühitlərinə, zavodun planlaşdırılmasına və çirkab suyun xarakteristikalarına uyğun tamamilə fərdiləşdirilmiş avadanlıq həlləri təklif edirik. Fərdiləşdirilmiş tıxanmaya qarşı axın kanalları, korroziyaya davamlı avadanlıq korpusları və dəqiq süzgəc strukturları CMP çirkab suyu üçün tələb olunan ağır iş şəraitində optimal performansı təmin edir.
Bütün əsas elektrik idarəetmə sistemləri, mexaniki avadanlıqlar və suyun təmizlənməsi komponentləri Avropa və Şimali Amerikada inkişaf etmiş istehsalat obyektləri üçün beynəlxalq təhlükəsizlik tələblərinə uyğun olaraq CE, UL və ISO standartlarına uyğunluq sertifikatına malikdir.
Sistem, hidravlik və suyun keyfiyyəti üzrə dalğalanmalara qarşı yüksək müqavimət göstərir; bu da membranların çirklənməsini, texniki xidmət tezliyini və avadanlığın dayanma müddətini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
Suyun bərpa olunma dərəcəsi 95% -dən yuxarıdır ki, bu da təzə suyun istehlakını və əməliyyat xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
Onun modulyar inteqrasiya olunmuş dizaynı quraşdırma sahəsini minimuma endirir və gələcəkdə çevik genişlənməyə imkan verir. Tam avtomatlaşdırılmış ağıllı əməliyyat müasir yarımkeçirici plastinlərin istehsalı üçün tələb olunan davamlı, yüksək dəqiqlikli istehsal tələblərini dəstəkləyir.
5. Layihə istinadları və dəstək sənədləri
Biz yarımkeçirici plastinlərin istehsalı zavodları üçün çoxsaylı CMP süspensiyası sularının təmizlənməsi layihələrini uğurla tamamlamışıq.
Nümayəndə layihəsi – 12 düymlik yarımkeçirici plastinka fabrikinin CMP çirkab suyunun təkrar emalı layihəsidir; emal qabiliyyəti gündə 1000 m³ təşkil edir.
Sistem uzun müddətli sabit işləmə göstərmişdir və kolloid yığılması, membran çirklənməsi və çıxan suyun keyfiyyətinin sabitsizliyi ilə bağlı problemləri tamamilə həll etmişdir. Təkrar emal edilən su yarımkeçirici ultratəmiz suyun təkrar istifadə standartlarına uyğun olaraq daimi olaraq təmin edilir və həm ekoloji uyğunluq yoxlamalarını, həm də zavod qəbul testlərini uğurla keçmişdir.
Dəstəkləyici sənədlər aşağıdakılardan ibarətdir:
- Mülkiyyət CMP çirkab suyunun təmizlənməsi prosesinə dair patentlər
- CE, UL və ISO sertifikatları
- Üçüncü tərəf tərəfindən aparılan yüksək dəqiqlikli su keyfiyyəti test hesabatları
- Layihənin tamamlanması və qəbulu sənədləri
- Yarımkeçirici sənayesində həyata keçirilən istinad layihələri
6. Xidmət əhatəsi və əməkdaşlıq prosesi
CMP süspensiyası çirkab suyunun təmizlənməsi üçün kompleks EPC açar-üstü həllər təqdim edirik: sahə araşdırması, çirkab suyunun nümunələrinin götürülməsi və analizi, fərdiləşdirilmiş proses mühəndisliyi, qeyri-standart avadanlıqların dizaynı, avadanlıqların istehsalı, quraşdırılması, işə salınması, istismarı və texniki xidməti, sistem yeniləmələri və ömür boyu sarf olunan materialların təchizatı.
Standart Əməkdaşlıq Proseduru
- Sahə Araşdırması və Suyun Nümunələrinin Alınması – Sahədə araşdırma aparılması, çirkab suyunun nümunələrinin toplanması və ətraflı suyun keyfiyyət analizi haqqında hesabatın təqdim edilməsi.
- Fərdiləşdirilmiş mühəndislik dizaynı – Fabrikin faktiki işləmə şəraitinə əsaslanaraq xüsusi emal prosesinin, fərdiləşdirilmiş avadanlıq həllinin və kommersiya təklifinin hazırlanması.
- Avadanlığın istehsalı və tikintisi – Müqavilənin təsdiqlənməsindən sonra fərdiləşdirilmiş avadanlığın istehsalına və sahədə tikinti işlərinə başlanılması.
- Quraşdırma və qoşulma – Quraşdırmanın, inteqrasiya olunmuş qoşulmanın və sınaq işlərinin tamamlanması; suyun keyfiyyəti tələblərinə davamlı uyğunluq əldə edilənə qədər.
- Layihənin qəbulu və təlim – Layihənin qəbulu prosedurlarında kömək göstərmək və peşəkar operator təlimi təmin etmək.
- Uzunmüddətli texniki dəstək – Planlı yoxlamalar, profilaktik təmir, sistem optimallaşdırılması, avadanlığın yenilənməsi və 24/7 texniki dəstək təmin etmək.
EN
