cmp-slurry-wastewater-treatment-solution, cmp-slurry-wastewater-treatment-solution, /solutions
EN
সেমিকন্ডাক্টর ওয়াফার উৎপাদনের সময় সিএমপি (কেমিক্যাল মেকানিক্যাল প্ল্যানারাইজেশন) স্লারি বর্জ্যজল একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়াজাত বর্জ্যজল। এটি মূলত কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং (সিএমপি), সিএমপি-পরবর্তী ওয়াফার পরিষ্কারকরণ, ব্যবহৃত স্লারি নিষ্কাশন এবং ক্লিনরুম মেঝে ধোয়ার কাজ থেকে উৎপন্ন হয়।
চিহ্নিত শিল্প বর্জ্যজলের তুলনায়, সিএমপি স্লারি বর্জ্যজলের বিশেষায়িত বৈশিষ্ট্য রয়েছে। প্রধান দূষকগুলি হল ন্যানো-স্কেল সিলিকা (SiO₂) এবং সেরিয়া (CeO₂) অ্যাব্রাসিভ কণা, যার সঙ্গে ট্রেস ধাতব আয়ন—যেমন তামা (Cu) এবং অ্যালুমিনিয়াম (Al), পলিশিং স্লারি ডিসপার্স্যান্ট, বেঞ্জোট্রায়াজোল (BTA) করোশন ইনহিবিটর, এবং অবশিষ্ট অ্যাসিড ও ক্ষার।
এই বর্জ্যজলের বৈশিষ্ট্য হলো অত্যন্ত উচ্চ অস্বচ্ছতা এবং অসাধারণভাবে স্থিতিশীল কলয়েডাল কণা। অতি-সূক্ষ্ম কণার আকারের কারণে সাসপেন্ডেড সলিডগুলি জমা হওয়া কঠিন এবং প্রচলিত চিকিৎসা প্রযুক্তি দিয়ে এদের কার্যকরভাবে পৃথক করা সম্ভব হয় না। যদিও মোট কেমিক্যাল অক্সিজেন ডিমান্ড (সিওডি) তুলনামূলকভাবে কম, তবুও এই বর্জ্যজলের উচ্চ স্নিগ্ধতা, উল্লেখযোগ্য সেলিং সম্ভাবনা এবং জলের গুণগত মানে প্রায়শই ওঠানামা ঘটে, যার ফলে পাইপলাইন ব্লকেজ এবং মেমব্রেন ফাউলিং সাধারণ কার্যক্রম চ্যালেঞ্জ হয়ে দাঁড়ায়।
এছাড়াও, সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে অত্যন্ত কঠোর প্রক্রিয়া জলের বিশেষাদেশ পূরণকারী অতি-বিশুদ্ধ পুনর্ব্যবহৃত জলের প্রয়োজন হয়, যার জলের গুণগত মানের প্রয়োজনীয়তা সাধারণ শিল্প বর্জ্যজল পুনর্ব্যবহারের চেয়ে অনেক বেশি।
সিএমপি বর্জ্যজল চিকিৎসা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের সঙ্গে সম্পর্কিত কয়েকটি অত্যন্ত বিশেষায়িত প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ তৈরি করে।
স্থিতিশীল ন্যানো-স্কেল সিলিকা কলয়েডগুলি চিত্রিত অবসাদন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে অপসারণ করা কঠিন, যার ফলে কাদা জমা হয়, ঝিল্লি তীব্রভাবে দূষিত হয়, ঝিল্লি প্রায়শই প্রতিস্থাপন করতে হয় এবং অপ্রত্যাশিত সিস্টেম বন্ধ হয়—যা সরাসরি ওয়াফার উৎপাদনের অবিচ্ছিন্নতাকে প্রভাবিত করে।
অবশিষ্ট পলিশিং রাসায়নিক পদার্থ এবং সূক্ষ্ম ভারী ধাতু সম্পূর্ণরূপে অপসারণ না করলে পরিবেশগত অনুমোদনের ঝুঁকি তৈরি হতে পারে।
যেহেতু অর্ধপরিবাহী উৎপাদন সুবিধাগুলি অত্যন্ত উচ্চ-বিশুদ্ধতাসম্পন্ন পুনর্ব্যবহৃত জল প্রয়োজন করে, তাই সাধারণ জল চিকিৎসা সিস্টেমগুলি প্রায়শই প্রয়োজনীয় জলের মান ধ্রুবভাবে অর্জন করতে ব্যর্থ হয়, ফলে জল পুনর্ব্যবহারের হার কমে যায় এবং কার্যক্রম খরচ বৃদ্ধি পায়।
মানকৃত বর্জ্যজল চিকিৎসা সরঞ্জামগুলি সাধারণত সিএমপি স্লারি বর্জ্যজলের উচ্চ-সান্দ্রতা এবং অতি-সূক্ষ্ম কণা বৈশিষ্ট্যের জন্য ডিজাইন করা হয় না, যার ফলে অবরোধ-প্রতিরোধ এবং ক্ষয়-প্রতিরোধ ক্ষমতা অপর্যাপ্ত হয়।
এছাড়াও, অর্ধপরিবাহী ফ্যাবগুলি প্রায়শই উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি করে, যখন ঐতিহ্যবাহী চিকিৎসা ব্যবস্থাগুলি বড় জায়গা দখল করে এবং ক্ষমতা আধুনিকীকরণের জন্য সীমিত নমনীয়তা প্রদান করে। ফলস্বরূপ, উন্নত অর্ধপরিবাহী উৎপাদনের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা একীভূত ও কাস্টমাইজড বর্জ্যজল চিকিৎসা সমাধানগুলির চাহিদা ক্রমশ বৃদ্ধি পাচ্ছে।
সিএমপি বর্জ্যজলের প্রধান চ্যালেঞ্জগুলি—যেমন স্থিতিশীল কলয়েড, অতি-সূক্ষ্ম কণা এবং মেমব্রেন ফাউলিং—এর সমাধানের জন্য, আমরা একটি বিশেষ চিকিৎসা প্রক্রিয়া ব্যবহার করি যা নিম্নরূপ:
পৃথক সংগ্রহ → সূক্ষ্ম জল শর্তসাধন ও সংযোজন → উচ্চ-দক্ষতাসম্পন্ন ফ্লকুলেশন ও অবক্ষেপণ → সূক্ষ্ম ফিল্ট্রেশন → উন্নত মেমব্রেন পরিশোধন → অতি-বিশুদ্ধ জল পুনঃব্যবহার
সিএমপি বর্জ্যজল পৃথকভাবে সংগ্রহ করা হয় এবং স্থিতিশীল চিকিৎসা শর্ত বজায় রাখার জন্য সমতল করা হয়।
সঠিক পিএইচ সামঞ্জস্য কলয়েডাল কণাগুলিকে অস্থিতিশীল করে, আর উচ্চ-কার্যকর সমবদ্ধকরণ ও ফ্লকুলেশন ব্যবস্থা ন্যানো-স্কেলের ক্ষয়কারী কণাগুলিকে দ্রুত একত্রিত ও অবক্ষেপিত করে।
অবসাদনের পর, জলটি প্রিসিশন ফিল্ট্রেশন এবং সক্রিয় কার্বন অ্যাডসর্পশনের মাধ্যমে যাওয়ার আগে সাসপেন্ডেড সলিড এবং কলয়েডাল দূষণকারী পদার্থের বেশিরভাগই অপসারিত হয়, যার ফলে অবশিষ্ট জৈব যৌগ এবং সূক্ষ্ম ধাতব অশুদ্ধি দূর হয়।
অবশেষে, একটি আল্ট্রাফিল্ট্রেশন (ইউএফ) সিস্টেম এবং ফাউলিং-প্রতিরোধী রিভার্স অসমোসিস (আরও) মেমব্রেন সিস্টেমের সংমিশ্রণ উন্নত লবণ অপসারণ ও পরিশোধন প্রদান করে, যা ওয়াফার পলিশিং এবং পরিষ্কার প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত উচ্চ-মানের পুনর্ব্যবহারযোগ্য জল উৎপাদন করে।
মূল সরঞ্জামগুলির মধ্যে রয়েছে:
এই সমাধানটি সেমিকন্ডাক্টর সিএমপি স্লারি ওয়াস্টওয়াটারের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা হয়েছে, যা শিল্পের সবচেয়ে চ্যালেঞ্জিং সমস্যাগুলো—যেমন কলয়েডাল পৃথকীকরণের কষ্টকরতা এবং তীব্র মেমব্রেন ফাউলিং—সফলভাবে অতিক্রম করে।
আমাদের এক্সক্লুসিভ চিকিত্সা প্রক্রিয়াটি অতি-সূক্ষ্ম সিলিকা কণা, সূক্ষ্ম ভারী ধাতু এবং অবশিষ্ট জৈব দূষণকারী পদার্থ দক্ষতার সাথে অপসারণ করে, এবং ধারাবাহিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া জল পুনঃব্যবহারের মানদণ্ড পূরণকারী পুনঃব্যবহারযোগ্য জল উৎপাদন করে।
আমরা সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুম পরিবেশ, প্লান্ট লেআউট এবং ওয়াস্টওয়াটারের বৈশিষ্ট্যের উপর ভিত্তি করে সম্পূর্ণ কাস্টমাইজড সরঞ্জাম সমাধান প্রদান করি। কাস্টমাইজড অ্যান্টি-ক্লগ প্রবাহ চ্যানেল, করোশন-প্রতিরোধী সরঞ্জাম হাউজিং এবং নির্ভুল ফিল্ট্রেশন কাঠামো সিএমপি ওয়াস্টওয়াটারের চাপসৃষ্টিকারী অপারেটিং শর্তে সর্বোত্তম কার্যকারিতা নিশ্চিত করে।
সমস্ত মূল বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম, যান্ত্রিক সরঞ্জাম এবং জল পরিশোধন উপাদানগুলি সিই, ইউএল এবং আইএসও মানের সার্টিফাইড, যা ইউরোপ ও উত্তর আমেরিকার উন্নত উৎপাদন সুবিধাগুলির জন্য আন্তর্জাতিক নিরাপত্তা প্রয়োজনীয়তা মেনে চলে।
সিস্টেমটি হাইড্রোলিক ও জলের গুণগত পরিবর্তনশীলতার প্রতি চমকপ্রদ প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদর্শন করে, যা মেমব্রেন ফাউলিং, রক্ষণাবেক্ষণের পৌনঃপুনিকতা এবং সরঞ্জামের অপারেশন বন্ধ হওয়ার হার উল্লেখযোগ্যভাবে কমায়।
জল পুনরুদ্ধারের হার ৯৫% এর বেশি, যা মিষ্টি জলের ব্যবহার এবং অপারেশন খরচ উল্লেখযোগ্যভাবে কমায়।
এর মডিউলার ইন্টিগ্রেটেড ডিজাইন ইনস্টলেশন স্থান সর্বনিম্ন রাখে এবং ভবিষ্যতে নমনীয় সম্প্রসারণের অনুমতি দেয়। সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় বুদ্ধিমান অপারেশন আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ওয়াফার ফ্যাব্রিকেশন সুবিধার চলমান, উচ্চ-নির্ভুলতা উৎপাদন প্রয়োজনীয়তা সমর্থন করে।
আমরা সেমিকন্ডাক্টর ওয়াফার ফ্যাব্রিকেশন প্ল্যান্টগুলির জন্য একাধিক সিএমপি স্লারি বর্জ্যজল পরিশোধন প্রকল্প সফলভাবে সম্পন্ন করেছি।
একটি প্রতিনিধিত্বমূলক প্রকল্প হল ১২-ইঞ্চি সেমিকন্ডাক্টর ওয়াফার ফ্যাব সিএমপি বর্জ্যজল পুনর্ব্যবহার প্রকল্প, যার চিকিৎসা ক্ষমতা ১,০০০ ঘনমিটার/দিন।
সিস্টেমটি দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল অপারেশন প্রদর্শন করেছে, যা কলয়েডাল জমার, মেমব্রেন ফাউলিংয়ের এবং অস্থিতিশীল নির্গত জলের গুণগত মানের সমস্যাগুলো সম্পূর্ণরূপে সমাধান করেছে। পুনর্ব্যবহৃত জল অবিচ্ছিন্নভাবে অর্ধপরিবাহী আল্ট্রাপিউর ওয়াটার পুনর্ব্যবহারের মানদণ্ড পূরণ করে এবং পরিবেশগত অনুমোদন পরীক্ষা ও কারখানা গ্রহণ পরীক্ষা উভয়ই সফলভাবে পাস করেছে।
সমর্থনকারী নথিগুলির মধ্যে রয়েছে:
আমরা সিএমপি স্লারি বর্জ্যজল চিকিৎসার জন্য সম্পূর্ণ ইপিসি টার্নকি সমাধান প্রদান করি, যার মধ্যে সাইট তদন্ত, বর্জ্যজল নমুনা সংগ্রহ ও বিশ্লেষণ, কাস্টমাইজড প্রক্রিয়া ইঞ্জিনিয়ারিং, অ-মানক সরঞ্জাম ডিজাইন, সরঞ্জাম উৎপাদন, ইনস্টলেশন, কমিশনিং, অপারেশন ও রক্ষণাবেক্ষণ, সিস্টেম আপগ্রেড এবং আজীবন খরচযোগ্য সরবরাহ অন্তর্ভুক্ত।