1. Suvni ifloslanish manbalari, tipik ifloslantiruvchilar va suv xususiyatlari
CMP (Kimyoviy mexanik tekislash) suspensiyasi suvni tozalash — yarimo'tkazgichli plastinkalarni ishlab chiqarish jarayonida hosil bo'ladigan muhim texnologik suvni tozalash. U asosan kimyoviy mexanik polirovka (CMP), CMPdan keyingi plastinkalarni tozalash, foydalanilgan suspensiyaning chiqarilishi va tozalash xonalari polining yuvilishi operatsiyalaridan kelib chiqadi.
Oddiy sanoat suvini tozalash bilan solishtirganda, CMP suspensiyasi suvini tozalash juda maxsus xususiyatlarga ega. Asosiy zahamlar nano miqyosdagi kremniy oksidi (SiO₂) va seriy oksidi (CeO₂) abraziv zarralardan, shuningdek, mis (Cu) va alyuminiy (Al) kabi izdagi metall ionlaridan, polirovka suspensiyasining tarqatgichlaridan, benzotriazol (BTA) korroziya inhibitorlaridan hamda qoldiq kislotalar va ishqorlardan iborat.
Suvning murdokligi juda yuqori va kolloid zarralari ajoyib barqarorlikka ega. Zarralarning juda mayda o'lchami tufayli suvda aralashgan qatqinlar cho'kib ketmaydi va an'anaviy tozalash texnologiyalari bilan samarali ajratib bo'lmaydi. Umumiy COD nisbatan past bo'lsa ham, suvning namoyishi yuqori namlikka, keng ko'lamli shakllanish xavfiga va suv sifatining tez-tez o'zgarishiga sabab bo'ladi; bu esa quvurlarning to'silishiga va membranalarning ifloslanishiga olib keladi.
Shuningdek, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishida juda qattiq texnologik suv talablari bilan mos keladigan, oddiy sanoat suvini qayta ishlashdan ancha yuqori sifatli qayta ishlangan suv talab qilinadi.
2. Oddiy mijozlarning qiyinchiliklari
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishida xos bo'lgan bir qancha maxsus texnik qiyinchiliklarga duch kelish – CMP suvini tozalashning asosiy xususiyati.
Ushbu barqaror nano-miqyosli kremniy dioksid kolloidlarini anʼanaviy choʻkindi ajratish usullari yordamida olib tashlash qiyin, shu sababli loy toʻplanadi, membranalar keskin zarracha bilan ifloslanadi, membranalar tez-tez almashtiriladi va reja tuzilmagan tizim toʻxtatiladi; bu esa plastinkalar ishlab chiqarishining uzluksizligiga bevosita taʼsir qiladi.
Qolgan polirovka kimyoviy moddalari va izdagi ogʻir metallar toʻliq olib tashlanmasa, atrof-muhitga oid qonunlarga rioya qilishda xavf tugʻdirishi mumkin.
Yarimoʻtkazgichlar ishlab chiqarish korxonalarida juda yuqori tozalik darajasiga ega qayta ishlangan suv talab qilinadi; shu sababli anʼanaviy suv tozalash tizimlari koʻpincha talab qilinadigan suv sifatini doimiy ravishda taʼminlay olmaydi, natijada suvni qayta foydalanish darajasi pasayadi va ishga jalb qilish xarajatlari oshadi.
Standartlashtirilgan suvni tozalash jihozlari odatda CMP loy suvlarining yuqori namoyonlik va ultra mayda zarrachali xususiyatlariga mos ravishda loyihalangan emas, shu sababli ularning turli xil toʻsiqlarga chidamliligi va korroziyaga chidamliligi etarli emas.
Shuningdek, yarimo'tkazgichli fabrikalar tez-tez ishlab chiqarish quvvatini kengaytiradi, bir paytda anʼanaviy tozalash tizimlari keng maydonni egallaydi va quvvatni oshirish uchun cheklangan moslashuvchanlikni taqdim etadi. Natijada, ilg'or yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish uchun maxsus loyihalangan, integratsiyalangan va moslashtirilgan suvni tozalash yechimlari tobora ko'proq talab qilinmoqda.
3. Tozalash jarayoni va asosiy jihozlar konfiguratsiyasi
CMP suvining asosiy muammolarini — barqaror kolloidlar, ultra mayda zarrachalar va membrananing ifloslanishini hal qilish uchun biz quyidagilardan iborat maxsus tozalash jarayonidan foydalanamiz:
Alohida to'plangandan keyin suvni tekislash → Aniq suv sharoitini sozlash va biriktirish → Yuqori samarali biriktirish va cho'kib ketish → Aniq filtratsiya → Ilg'or membranali tozalash → Ultrasaf suvni qayta ishlatish
CMP suvi alohida to'planadi va barqaror tozalash sharoitlarini saqlash uchun tekislantiriladi.
Aniqlangan pH sozlamasi kolloid zarrachalarni noyob qiladi, shu bilan birga yuqori samarali suyuqlikni biriktirish va biriktirilgan zarrachalarni cho'ktirish tizimi nano miqyosdagi abraziv zarrachalarni tezda birlashtirib, cho'ktiradi.
Cho'kib ketishdan keyin suvda aralashgan qatqinlar va kolloid ifloslantiruvchilar asosan olib tashlanadi, so'ngra aniq filtratsiya va faollashtirilgan uglerod adsorbsiyasi orqali qolgan organik birikmalar va mikro miqdordagi metall aralashmalari yo'q qilinadi.
Oxirida ultrafiltratsiya (UF) tizimi va ifloslanishga chidamli teskari osmoz (RO) membranasi tizimi birlashmasi ilg'or tuzsizlantirish va tozalashni ta'minlaydi va plastinkalarni polirovka qilish va tozalash jarayonlari uchun mos bo'lgan yuqori sifatli qayta ishlangan suvni beradi.
Asosiy jihozlar:
- Aqlli pH sozlash va kimyoviy sharoitni boshqarish tizimlari
- Yuqori samaradorlikka ega koagulyatsiya va flokulyatsiya reaktorlari
- Aniq filtratsiya birliklari
- Tovushsiz membranali filtratsiya tizimlari
- Faollashtirilgan uglerod tozalash tizimlari
- To'liq avtomatlashtirilgan kimyoviy moddalar qo'shish tizimlari
- Yuqori aniqlikdagi onlayn suv sifati nazorati tizimlari
4. Yechimning afzalliklari
Bu yechim yarimo'tkazgichlar uchun CMP surilmasi suvni tozalash uchun maxsus ishlab chiqilgan bo'lib, sohadagi eng qiyin muammolarni, jumladan, qiyin kolloid ajratish va og'ir membrana zaralanishini samarali hal qiladi.
Egasi bo'lgan tozalash jarayoni ultra mayda kremniy oksidi zarrachalarini, izdagi og'ir metallarni va qoldiq organik ifloslantiruvchilarni samarali olib tashlaydi va doimiy ravishda yarimo'tkazgichlar texnologik suvini qayta foydalanish standartlariga mos keladigan qayta ishlangan suvni ishlab chiqaradi.
Biz yarimo'tkazgich tozalik xonalari muhitiga, korxona joylashuvi va chiqindisuv xususiyatlariga moslashtirilgan, to'liq moslashtirilgan jihozlar yechimlarini taklif etamiz. Moslashtirilgan qoplamaydigan oqim kanallari, korroziyaga chidamli jihoz korpuslari va aniq filtratsiya tuzilmalari CMP chiqindisuvining qattiq ish sharoitlarida optimal ishlashni ta'minlaydi.
Barcha asosiy elektr boshqaruv tizimlari, mexanik jihozlar va suvni tozalash komponentlari Yevropa va Shimoliy Amerikadagi ilg'or ishlab chiqarish ob'ektlari uchun xalqaro xavfsizlik talablari bilan mos keladigan CE, UL va ISO standartlariga mos ravishda sertifikatlangan.
Tizim gidravlik va suv sifatidagi o'zgarishlarga ajoyib chidamli, bu membrananing ifloslanishini, texnik xizmat ko'rsatish chastotasini va jihozning ishdan chiqish vaqtini sezilarli darajada kamaytiradi.
Suvni qayta tiklash darajasi 95% dan oshadi, bu esa shirin suv iste'molini va ekspluatatsiya xarajatlarini sezilarli darajada kamaytiradi.
Uning modulli integratsiyalangan dizayni o'rnatish maydonini minimal darajada qisqartiradi va kelajakda moslashuvchan kengaytirish imkonini beradi. To'liq avtomatlashtirilgan aqlli ishlash zamonaviy yarimo'tkazgichli plastinkalar (wafer) ishlab chiqarish korxonalarining uzluksiz, yuqori aniqlikdagi ishlab chiqarish talablarini qondiradi.
5. Loyihalar ma'lumotnomasi va qo'llab-quvvatlovchi hujjatlar
Biz yarimo'tkazgichli plastinkalar (wafer) ishlab chiqarish zavodlari uchun bir nechta CMP suspensiyasi suvni tozalash loyihalarini muvaffaqiyatli yakunlaganmiz.
Namuna loyiha — 12 dyuymlik yarimo'tkazgichli plastinkalar fabrikasida CMP chiqindilari suvini qayta ishlash loyihasi bo'lib, uning qayta ishlash quvvati kuniga 1000 m³ ni tashkil qiladi.
Tizim uzoq muddatli barqaror ishlashni namoyish etdi va kolloidlar to'planishi, membrananing ifloslanishi hamda chiquv suv sifatining nobarqarorligi bilan bog'liq muammolarni to'liq hal qildi. Qayta ishlangan suv doimiy ravishda yarimo'tkazgichlar uchun ultratovushli tozalikdagi suvdan qayta foydalanish standartlariga javob beradi va ekologik moslik tekshiruvlarini hamda zavodda qabul qilish sinovlarini muvaffaqiyatli o'tkazdi.
Qo‘llaniladigan hujjatlar:
- Xususiy CMP suvni tozalash jarayoni bo‘yicha patentlar
- CE, UL va ISO sertifikatlari
- Uchinchi tomon tomonidan amalga oshirilgan yuqori aniqlikdagi suv sifati tekshiruv hisobotlari
- Loyihaning yakunlanishi va qabul qilinishi hujjatlari
- Yarimo‘tkazgich sanoatidagi referent loyihalar
6. Xizmat doirasi va hamkorlik jarayoni
CMP liqidorli chiqindilari suvini qayta ishlash bo'yicha to'liq EPC kalitli yechimlarni taklif etamiz: maydon tekshiruvi, chiqindilari suvini namuna olish va tahlil qilish, moslashtirilgan jarayon muhandisligi, noan'aviy jihozlarning loyihasini tuzish, jihozlarni ishlab chiqarish, o'rnatish, sinovdan o'tkazish, ekspluatatsiya va texnik xizmat ko'rsatish, tizimni yangilash hamda umr bo'yi sarf-xarajatlarga oid mahsulotlarni ta'minlash.
Standart Hamkorlik Jarayoni
- Maydon tekshiruvi va suv namunalari olish — Maydonda joylashgan ob'ektni tekshirish, chiqindilari suvining namunasini olish va to'liq suv sifatini tahlil qilish hisobotini tayyorlash.
- Moslashgan muhandislik loyihasi – Haqiqiy fab ishga tushirish sharoitlariga asoslanib, maxsus qilinadigan ishlash jarayoni, moslashtirilgan jihoz yechimi va tijorat taklifi ishlab chiqish.
- Jihoz ishlab chiqarish va qurilish – Shartnoma tasdiqlangandan so'ng, moslashtirilgan jihozlar ishlab chiqarish va maydonida qurilishni boshlash.
- O'rnatish va sinov ishlarini o'tkazish – O'rnatish, integratsiyalangan sinov ishlari va sinov ishga tushirishni suv sifatini talablarga mos ravishda barqaror tarzda ta'minlashgacha yakunlash.
- Loyihani qabul qilish va xodimlarni tayyorlash – Loyihani qabul qilish tartiblarida yordam berish va mutaxassislarga operatorlar uchun kasbiy tayyorgarlik berish.
- Uzoq muddatli texnik qo'llab-quvvatlash – Muntazam tekshiruvlar, oldini olish maqsadidagi texnik xizmat ko'rsatish, tizimni optimallashtirish, jihozlarni yangilash va 24/7 texnik qo'llab-quvvatlashni taqdim etish.
EN
