Odpadne vode od gnojiva CMP (Chemical Mechanical Planarization) kritična su otpadne vode procesa koje nastaju tijekom proizvodnje poluprovodničkih oblaka. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EU) br. 1095/2010 Komisija je odlučila da se odredi da se od 1. siječnja 2014.
U usporedbi s konvencionalnim industrijskim otpadnim vodama, otpadne vode od gnojiva CMP-a pokazuju vrlo specijalizirane karakteristike. Primarni kontaminanti sastoje se od nanoskali silika (SiO2) i ceria (CeO2) abrazivnih čestica, zajedno s ionima metala u tragovima kao što su bakar (Cu) i aluminij (Al), dispergentima za poliranje ljiga, inhibitorima korozije benzotriazola (BTA
Ova voda karakterizira se iznimno visokom turbidnošću i iznimno stabilnim koloidnim česticama. Zbog veličine ultra-finih čestica, suspendirane čvrste tvari teško se postavljaju i ne mogu se učinkovito odvojiti korištenjem konvencionalnih tehnologija čišćenja. Iako je ukupna COD relativno niska, otpadne vode pokazuju viskoznost, značajan potencijal za skalanje i česte fluktua
Osim toga, proizvodnja poluprovodnika zahtijeva ultračistu regeneriranu vodu koja ispunjava izuzetno stroge specifikacije za procesnu vodu, a zahtjevi za kvalitet vode daleko premašavaju one za ponovno korištenje konvencionalnih industrijskih otpadnih voda.
Čišćenje otpadnih voda CMP predstavlja nekoliko visoko specijaliziranih tehničkih izazova jedinstvenih za proizvodnju poluprovodnika.
Stabilni koloidi silicijeve silicije u nano-skali teško se uklanjaju korištenjem konvencionalnih procesa sedimentacije, što rezultira akumulacijom kalu, ozbiljnim zamrzavanjem membrane, čestim zamjenom membrane i neplaniranim isključenjem sustava koji izravno utječu na kontinuitet proizvodnje obloga.
U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1907/2006 Komisija može donijeti odluku o odbrojavanju za upotrebu u skladu s člankom 3. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 726/2006.
U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009 Komisija je odlučila da se za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za proizvodnju električne energije za
U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1907/2006, za proizvodnju vode od otpadnih voda za upotrebu u proizvodnji vode od otpadnih voda za upotrebu u proizvodnji vode od otpadnih voda za upotrebu u proizvodnji vode od otpadnih voda za upotrebu u proizvodnji vode od otpadnih
Osim toga, poluprovodničke tvornice često proširuju proizvodne kapacitete, dok konvencionalni sustavi obrade zauzimaju velike površine i pružaju ograničenu fleksibilnost za nadogradnju kapaciteta. Stoga se sve više zahtijevaju integrirana i prilagođena rješenja za čišćenje otpadnih voda posebno dizajnirana za naprednu proizvodnju poluprovodnika.
Kako bismo se izborili s glavnim izazovima otpadnih voda CMP-a, uključujući stabilne koloide, ultrafine čestice i zagađenje membrane, koristimo poseban postupak čišćenja koji se sastoji od:
Sastavljanje u segregiranom stanju → Precizno klimatizacija vode i koagulacija → Visokoefikasna flokkulacija i sedimentacija → Precizna filtracija → Napredno pročišćavanje membrane → Ponovna upotreba ultračiste vode
U slučaju da se ne provodi ispitivanje, ispitivanje se provodi u skladu s člankom 6. stavkom 2.
Točan pH podešavanje destabilizira koloidne čestice, dok visoko-uspešni koagulacijski i floculacijski sustav brzo agregira i postavlja nanoskalične abrazivne čestice.
U slučaju da se ne primjenjuje primjena ovog standarda, za određene vrste proizvoda, primjenjuje se metoda za utvrđivanje vrijednosti za određene vrste proizvoda.
Konačno, ultrafiltracijski sustav (UF) u kombinaciji s membranskim sustavom protiv prljavštine obrnute osmoze (RO) pruža naprednu odsalanje i pročišćavanje, proizvodeći visokokvalitetnu regeneriranu vodu pogodnu za poliranje i čišćenje oblaka.
Osnovna oprema uključuje:
Ovo rješenje posebno je dizajnirano za otpadne vode od poluprovodničkih CMP-ova, što učinkovito rješava najzahtevnije probleme u industriji, uključujući teško koloidno odvajanje i ozbiljnu prljavštinu membrane.
Proces obrade koji je proizveo tvrtka, učinkovito uklanja ultrafine čestice silicijuma, tragove teških metala i ostatke organskih kontaminanta, a istovremeno dosljedno proizvodi recikliranu vodu koja ispunjava standarde za ponovno korištenje vode u poluprovodnicima.
Nudimo potpuno prilagođene rješenja opreme prilagođene poluprovodničkim čistim prostorijama, rasporedu postrojenja i karakteristikama otpadnih voda. U skladu s tim, u skladu s člankom 3. stavkom 3. točkom (a) ovog članka, za potrebe utvrđivanja kvalitete vode za upotrebu u komunalnim vodama, za potrebe za proizvodnju vode za upotrebu u komunalnim vodama, potrebno je utvrditi:
Svi osnovni električni sustavi kontrole, mehanička oprema i komponente za čišćenje vode certificirani su prema standardima CE, UL i ISO, u skladu s međunarodnim sigurnosnim zahtjevima za napredne proizvodne pogone u Europi i Sjevernoj Americi.
Sistem pokazuje odličnu otpornost na fluktuacije u kvaliteti vode i hidraulike, značajno smanjujući zagađenje membrane, učestalost održavanja i vrijeme zastoja opreme.
Stopa oporavka vode premašuje 95%, što značajno smanjuje potrošnju slatke vode i troškove rada.
Modularni integrirani dizajn smanjuje prostor za instalaciju i omogućuje fleksibilno proširenje. Potpuno automatizirano inteligentno radno sredstvo podržava neprekidne, visoko precizne zahtjeve za proizvodnjom u modernim postrojenjima za proizvodnju poluprovodničkih oblaka.
Uspješno smo završili više CMP-ovih projekata čišćenja otpadnih voda od gnojiva za tvornice poluprovodnika.
U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.
Sustav je pokazao dugoročno stabilno funkcioniranje, potpuno rješavanje problema povezanih s koloidnim nakupljanjem, membranskim zagađenjem i nestabilnim kvalitetom otpada. U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.
U skladu s člankom 4. stavkom 2.
Pružamo sveobuhvatna EPC rješenja za tretiranje otpadnih voda od slina CMP, uključujući istraživanje lokacije, uzorkovanje i analizu otpadnih voda, prilagođene inženjering procese, dizajn nestandardne opreme, proizvodnju opreme, instalaciju, puštanje u rad, rad i održavanje, nadog