CMP سلری صرفہ پانی کا علاج کا حل

1. گندے پانی کے ذرائع، عام آلودگی کے عناصر اور پانی کی خصوصیات

سی ایم پی (کیمیائی میکانیکل پلانرائزیشن) سلری کا صرفہ آب ایک اہم عملی صرفہ آب ہے جو سیمی کنڈکٹر ویفر کی تیاری کے دوران پیدا ہوتی ہے۔ یہ بنیادی طور پر کیمیائی میکانیکل پالش (سی ایم پی)، سی ایم پی کے بعد ویفر کی صفائی، استعمال شدہ سلری کے نکاس، اور صاف کمرے کے فرش کو دھونے کے آپریشنز سے حاصل ہوتی ہے۔

روایتی صنعتی صرفہ آب کے مقابلے میں، سی ایم پی سلری کا صرفہ آب انتہائی ماہر خصوصیات کا حامل ہوتا ہے۔ اس کے بنیادی آلودگی کے عوامل نینو سکیل سلیکا (SiO₂) اور سیریا (CeO₂) کے جسامتی ذرات ہیں، جن کے ساتھ تانبا (Cu) اور الومینیم (Al) جیسے ردّی دھاتی آئنز، پالش سلری کے بکھیرنے والے اجزاء، بینزوٹرائی ایزول (BTA) کے زنگ لگنے روکنے والے اجزاء، اور باقی ایسڈز اور الکلیز بھی شامل ہیں۔

اسٹی واسٹ واٹر کی خاصیت انتہائی زیادہ دھندلاپن اور غیر معمولی طور پر مستحکم کولائیڈل ذرات ہوتی ہے۔ اس کے بہت ہی باریک ذرات کی وجہ سے نالوں میں تحلیل شدہ مادہ کو بیٹھنے میں دشواری ہوتی ہے اور روایتی علاج کے طریقوں کے ذریعے اسے مؤثر طریقے سے الگ کرنا ممکن نہیں ہوتا۔ اگرچہ کل آکسیجن کی طلب (COD) نسبتاً کم ہوتی ہے، لیکن اسٹی واسٹ واٹر کی چپکنے والی حالت زیادہ ہوتی ہے، اس میں اسکیلنگ کا خطرہ بہت زیادہ ہوتا ہے، اور پانی کی معیار میں بار بار تبدیلیاں آتی رہتی ہیں، جس کی وجہ سے پائپ لائنز کا بلاک ہونا اور ممبرین کا فاؤلنگ عام عملی چیلنجز بن جاتے ہیں۔

اس کے علاوہ، سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے لیے انتہائی خالص دوبارہ استعمال شدہ پانی کی ضرورت ہوتی ہے جو انتہائی سخت عملی پانی کے معیارات کو پورا کرتا ہو، جس کے معیاری تقاضے روایتی صنعتی پانی کے دوبارہ استعمال کے مقابلے میں کہیں زیادہ سخت ہوتے ہیں۔

۲۔ عام صارفین کے چیلنجز

CMP کے پانی کے علاج کے عمل میں سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے لیے کئی انتہائی ماہرانہ اور خاص تکنیکی چیلنجز پیدا ہوتے ہیں۔

مستحکم نانو سکیل سلیکا کولائیڈز کو روایتی بیٹھنے کے عمل کے ذریعے دور کرنا مشکل ہوتا ہے، جس کی وجہ سے کیچڑ جمع ہوتا ہے، غشائی آلودگی شدید ہوتی ہے، غشاء کی بار بار تبدیلی کی ضرورت پڑتی ہے اور نظام کے غیر منصوبہ بند بند ہونے کے واقعات رونما ہوتے ہیں جو براہ راست ویفر تیاری کی مسلسل پیداوار کو متاثر کرتے ہیں۔

باقی رہ جانے والے پالش کے کیمیکلز اور نشانی کی سطح پر بھاری دھاتیں مکمل طور پر دور نہ کی جانے کی صورت میں ماحولیاتی مطابقت کے خطرات کا باعث بن سکتی ہیں۔

چونکہ سیمی کنڈکٹر تیاری کی سہولیات کو انتہائی درجے کی خالص واپس حاصل کردہ پانی کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے روایتی پانی کے علاج کے نظام اکثر مطلوبہ پانی کی معیار کو مستقل طور پر حاصل کرنے میں ناکام رہتے ہیں، جس کی وجہ سے پانی کے دوبارہ استعمال کی شرح کم رہتی ہے اور آپریٹنگ لاگتیں بڑھ جاتی ہیں۔

معیاری فضلہ پانی کے علاج کے آلات عام طور پر سی ایم پی سلری فضلہ پانی کی زیادہ چپکنے والی اور انتہائی باریک ذرات کی خصوصیات کے لیے ڈیزائن نہیں کیے گئے ہوتے، جس کی وجہ سے ان میں گٹر بند ہونے کے خلاف تحفظ اور کھانے کے خلاف مزاحمت کافی نہیں ہوتی۔

اس کے علاوہ، سیمی کنڈکٹر فیبز اکثر پیداواری صلاحیت میں اضافہ کرتے ہیں، جبکہ روایتی علاج کے نظام بڑے رقبے پر مشتمل ہوتے ہیں اور صلاحیت کے اپ گریڈ کے لیے محدود لچک فراہم کرتے ہیں۔ نتیجتاً، جدید سیمی کنڈکٹر تیاری کے لیے خصوصی طور پر ڈیزائن کردہ اور یکجا کردہ ویسٹ واٹر علاج کے حل کی بڑھتی ہوئی ضرورت ہے۔

3. علاج کا عمل اور بنیادی سامان کی ترتیب

سی ایم پی ویسٹ واٹر کے اہم چیلنجز—جیسے مستحکم کولائیڈز، انتہائی باریک ذرات اور غشائی آلودگی—کو دور کرنے کے لیے، ہم ایک مخصوص علاج کے عمل کا استعمال کرتے ہیں جو درج ذیل پر مشتمل ہے:

الگ الگ اکٹھا کرنا → درست پانی کی حالت سازی اور کوگولیشن → اعلیٰ کارکردگی والی فلوکولیشن اور رسوبیت → درست فلٹریشن → جدید غشائی صفائی → انتہائی خالص پانی کا دوبارہ استعمال

سی ایم پی ویسٹ واٹر کو الگ سے اکٹھا کیا جاتا ہے اور علاج کی مستحکم شرائط برقرار رکھنے کے لیے اس کا موازنہ کیا جاتا ہے۔

درست درجہ حرارتِ ایچ پی کی ترتیب سے کولائیڈل ذرات کا توازن خراب ہو جاتا ہے، جبکہ اعلیٰ کارکردگی والا کوآگولیشن اور فلکولیشن نظام نینو سائز کے جسامتی ذرات کو تیزی سے جمع کر کے بیٹھا دیتا ہے۔

ترسیب کے بعد، زیادہ تر تحلیل شدہ مادہ اور کولائیڈل آلودگی کو دور کر دیا جاتا ہے، پھر پانی درست فلٹریشن اور فعال کاربن کے جذب سے گزرتا ہے، جس سے باقیاتی عضوی مرکبات اور نشانی کی سطح پر موجود دھاتی ناخالصیاں ختم ہو جاتی ہیں۔

آخر میں، ایک الٹرافلٹریشن (UF) سسٹم کو اینٹی-فاؤلنگ ریورس آسموسس (RO) ممبرین سسٹم کے ساتھ ملانے سے جدید نمکیت اور صفائی حاصل ہوتی ہے، جس کے نتیجے میں اعلیٰ معیار کا دوبارہ استعمال کے قابل پانی تیار ہوتا ہے جو ویفر پالش اور صفائی کے عمل کے لیے مناسب ہوتا ہے۔

اہم سامان میں شامل ہیں:

• ذہین ایچ پی ترتیب اور کیمیائی تیاری کے نظام
• اُچّی کارکردگی والے جمود اور فلکولیشن ری ایکٹرز
• درست فلٹریشن یونٹس
• اینٹی فاؤلنگ ممبرین فلٹریشن سسٹمز
• ایکٹیویٹڈ کاربن صاف کرنے کے سسٹمز
• مکمل خودکار کیمیائی ڈوزنگ سسٹمز
• اُچّی درستگی والے آن لائن پانی کے معیار کے نگرانی سسٹمز

۴۔ حل کے فوائد

یہ حل خاص طور پر سیمی کنڈکٹر سی ایم پی سلری کے پانی کے نکاسی کے لیے تیار کیا گیا ہے، جو صنعت کے سب سے مشکل مسائل، بشمول مشکل کولائیڈل الگاوٴ اور شدید جھلی فاؤلنگ کو مؤثر طریقے سے دور کرتا ہے۔

منفرد علاج کا عمل انتہائی باریک سلیکا ذرات، نشانی سطح کے بھاری دھاتوں اور باقی کاربنی آلودگی کو مؤثر طریقے سے ختم کرتا ہے، جبکہ مستقل طور پر ایسا دوبارہ حاصل شدہ پانی پیدا کرتا ہے جو سیمی کنڈکٹر عمل کے پانی کے دوبارہ استعمال کے معیارات پر پورا اترتا ہے۔

ہم سیمی کنڈکٹر کلین روم کے ماحول، پلانٹ کی ترتیب اور ویسٹ واٹر کی خصوصیات کے مطابق مکمل طور پر منفرد سامان کے حل پیش کرتے ہیں۔ منفرد اینٹی-بلاک فلو چینلز، کوروزن ریزسٹنٹ سامان کے ہاؤسنگز اور درست فلٹریشن کے ڈھانچے سی ایم پی ویسٹ واٹر کے سخت آپریٹنگ حالات میں بہترین کارکردگی کو یقینی بناتے ہیں۔

تمام اہم برقی کنٹرول سسٹمز، مکینیکل آلات اور پانی کے علاج کے اجزاء سی ای، یو ایل اور آئی ایس او معیارات کے مطابق سرٹیفائیڈ ہیں، جو یورپ اور شمالی امریکا میں جدید ترین صنعتی سہولیات کے لیے بین الاقوامی حفاظتی ضروریات کو پورا کرتے ہیں۔

سسٹم ہائیڈرولک اور واٹر کوالٹی کے اتار چڑھاؤ کے لیے بہترین مزاحمت ظاہر کرتا ہے، جس سے ممبرین فوولنگ، مرمت کی فریکوئنسی اور سامان کے بند ہونے کا وقت نمایاں طور پر کم ہوتا ہے۔

پانی کی بازیافت کی شرح 95 فیصد سے زیادہ ہے، جس سے تازہ پانی کی خوراک اور آپریشن کے اخراجات دونوں میں نمایاں کمی آتی ہے۔

اس کا ماڈیولر انٹیگریٹڈ ڈیزائن انسٹالیشن کے لیے جگہ کو کم سے کم کرتا ہے جبکہ مستقبل میں لچکدار توسیع کی اجازت دیتا ہے۔ مکمل طور پر آٹومیٹڈ ذہین آپریشن جدید سیمی کنڈکٹر ویفر فیبریکیشن فیسیلیٹیز کی مسلسل، اعلیٰ درجے کی درستگی کی پیداوار کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔

5. منصوبوں کے حوالہ جات اور حامی دستاویزات

ہم نے سیمی کنڈکٹر ویفر فیبریکیشن پلانٹس کے لیے متعدد سی ایم پی سلری کے صرفہ آب کے علاج کے منصوبوں کو کامیابی کے ساتھ مکمل کیا ہے۔

ایک نمائندہ منصوبہ 12 انچ سیمی کنڈکٹر ویفر فیب سی ایم پی کے لیے پانی کے استعمال کے بعد کے فضلہ کے علاج کا منصوبہ ہے، جس کی علاج کی صلاحیت روزانہ 1000 میٹر مکعب ہے۔

سیسٹم نے طویل مدتی مستحکم آپریشن کا مظاہرہ کیا ہے، جس سے کولائیڈل اکٹھا ہونے، ممبرین کے بوجھ لگنے، اور خارج شدہ پانی کی معیار میں غیر مستحکم ہونے جیسے تمام مسائل مکمل طور پر حل ہو گئے ہیں۔ بازیافت شدہ پانی مسلسل سیمی کنڈکٹر الٹرا پیور واٹر کے دوبارہ استعمال کے معیارات پر پورا اترتا ہے اور یہ کامیابی کے ساتھ ماحولیاتی مطابقت کے معائنے اور فیکٹری قبولیت کے ٹیسٹ دونوں سے گزر چکا ہے۔

حمایتی دستاویزات میں شامل ہیں:

• منفرد سی ایم پی کے فضلہ پانی کے علاج کے عمل کے پیٹنٹ
• سی ای، یو ایل، اور آئی ایس او سرٹیفیکیشن سرٹیفیکیٹس
• تیسرے فریق کی طرف سے اعلیٰ درجے کی درستگی والی پانی کے معیار کی جانچ کی رپورٹس
• منصوبے کی مکمل ہونے اور قبولیت کی دستاویزات
• سسیلیکان صنعت کے اندر حوالہ منصوبے

6. سروس کا دائرہ کار اور تعاون کا عمل

ہم سی ایم پی کے گندے پانی کے علاج کے لیے مکمل ای پی سی ٹرن کی سولوشنز فراہم کرتے ہیں، جس میں مقامی سروے، فضلہ پانی کا نمونہ اکٹھا کرنا اور تجزیہ، منفرد عملی انجینئرنگ، غیر معیاری آلات کی ڈیزائننگ، آلات کی تیاری، انسٹالیشن، شروعات، چلانے اور دیکھ بھال، سسٹم کی بہتری اور عمر بھر کے استعمال کے لیے ضروری سامان کی فراہمی شامل ہیں۔

معیاری تعاون کا عمل

• مقامی سروے اور پانی کا نمونہ اکٹھا کرنا – مقامی تحقیقات کا اہتمام کرنا، فضلہ پانی کے نمونے اکٹھے کرنا اور جامع پانی کے معیار کے تجزیہ کی رپورٹ جاری کرنا۔
• مخصوص انجینئرنگ ڈیزائن – فیکٹری کے اصل آپریٹنگ حالات کی بنیاد پر ایک مخصوص علاج کا طریقہ کار، مخصوص سامان کا حل، اور تجارتی تجویز تیار کرنا۔
• سامان کی تیاری اور تعمیر – معاہدے کی تصدیق کے بعد مخصوص سامان کی تیاری اور مقامی تعمیر شروع کرنا۔
• نصب اور افتتاحی کام – نصب کاری، تمام سامان کے ساتھ مشترکہ افتتاحی کام، اور آزمائشی چلانے کو مکمل کرنا جب تک کہ پانی کی معیاری ضروریات کو مستقل طور پر پورا نہ کیا جائے۔
• منصوبے کی قبولیت اور تربیت – منصوبے کی قبولیت کے طریقہ کار میں مدد کرنا اور پیشہ ورانہ آپریٹر تربیت فراہم کرنا۔
• طویل المدت فنی حمایت – روزانہ معائنہ، وقوعی دیکھ بھال، نظام کی بہتری، سامان کی اپ گریڈنگ، اور 24/7 فنی حمایت فراہم کرنا۔