מי שפיכה של סלרי CMP (החלקת מכנית-כימית) הם מי עיבוד קריטיים הנוצרים במהלך ייצור וויפרים לאלקטרוניקה. הם נובעים בעיקר מהחלקת מכנית-כימית (CMP), ניקוי וויפרים לאחר CMP, פליטת סלרי משומשים, ופעולות ניקוי ריצפה של חדרים נקיים.
ביחס למי עיבוד תעשייתיים קונבנציונליים, למי שפיכה של סלרי CMP יש מאפיינים מיוחדים מאוד. המזהמים העיקריים הם חלקיקים מגרעיניות של סיליקה (SiO₂) וציריה (CeO₂), יחד עם יונים traces של מתכות כגון נחושת (Cu) ואלומיניום (Al), חומרים מפזרים לסלרי החלקה, מחסני קורוזיה של בנזוטריאזול (BTA), וחומצות ובסיסים שנותרו.
המי שפיכה מאופיינים בערפלות גבוהה מאוד וחלקיקים קולואידים יציבים במיוחד. בגלל גודל החלקיקים הדק ביותר, החומרים המוצקים תלויים קשה לשקע ולא ניתן להפריד אותם באופן יעיל באמצעות טכנולוגיות טיפול קונבנציונליות. למרות שערך ה-COD הכולל נמוך יחסית, למי השפיכה יש צמיגות גבוהה, פוטנציאל גבוה ליצירת ס SCALE, ושינויים תכופים באיכות המים, מה שגורם לסגירות של צינורות ולזיהום של ממברנות כאתגרים תפעוליים נפוצים.
בנוסף, ייצור חצי מוליכים דורש מים משוחזרים אולטרה-טהורים שמקיימים דרישות תהליכיות מחמירות ביותר, ואיכות המים נדרשת היא הרבה מעבר לאלו של שימוש חוזר במי שפיכה תעשייתי קונבנציונלי.
טיפול במי שפיכה מ-CMP מציג מספר אתגרים טכניים מיוחדים במיוחד לייצור חצי מוליכים.
קולואידים יציבים של סיליקה בקנה מידה נאנו קשים להסרה בתהליכי שיקוע קונבנציונליים, מה שמוביל ליצירת טין, חסימה קשה של הממברנות, החלפת ממברנות תכופה והפסקות לא מתוכננות של המערכת שמשפיעות ישירות על רציפות ייצור הוויפרים.
כימיקלים שנותרו משלבי הפולישה ומתכות כבדות בזעירים עלולים ליצור סיכונים של אי התאמה לדרישות הסביבתיות אם לא מסולקים לחלוטין.
מכיוון שמרכזי ייצור שבבים דורשים מים משוחזרים בעלי טהרה גבוהה במיוחד, מערכות טיפול במים קונבנציונליות לעתים קרובות אינן מסוגלות להשיג באופן עקבי את איכות המים הנדרשת, מה שמוביל לשיעור נמוך של שימוש חוזר במים ובהגדלת עלויות הפעלה.
ציוד סטנדרטי לטיפול בשפכים אינו מותאם בדרך כלל לתכונות של שפכי CMP — צמיגות גבוהה וחלקיקים דקים ביותר — ולכן אינו מציע עמידות מספקת בפני סתימות ובעת corrosion.
בנוסף, מפעלי ייצור של חצאי מוליכים מרחיבים לעיתים קרובות את כושר הייצור שלהם, בעוד שמערכות הטיפול המסורתיות תופסות שטח רב ומספקות גמישות מוגבלת לשדרוג כושר ייצור. כתוצאה מכך, יש דרישה הולכת וגוברת לפתרונות מותאמים לקליטת מי פסולת המשולבים במיוחד לייצור מתקדם של חצאי מוליכים.
כדי להתמודד עם האתגרים העיקריים של מי הפסולת מהשיטה CMP – כולל קולואידים יציבים, חלקיקים אולטרה-דקיקים וספיגת קרום – אנו משתמשים בתהליך טיפול מיוחד המורכב מ:
איסוף מופרד → התאמת מים מדויקת וקרישון → צבירה ושקיעה בעלות יעילות גבוהה → סינון מדויק → טיהור מתקדם באמצעות קרומים → שימוש חוזר במים אולטרה-טהורים
מי הפסולת מהשיטה CMP נאספים בנפרד ומושווים כדי לשמור על תנאי טיפול יציבים.
התאמת pH מדויקת מאבדת את יציבותן של חלקיקים קולואידליים, בעוד שמערכת קואגולציה ופלוקולציה בעלת ביצועים גבוהים מאגדת ומורידה במהירות חלקיקים מחסמים ננו-סקאלריים.
לאחר השקעה, מרבית החומרים המוצקים התלויים והזיהומים הקולואידיים מוסרים לפני שהמים עוברים סינון מדויק וhapzat פחמן פעיל, אשר מסירים את התרכובות האורגניות הנותרות והזיהומים של מתכות כבדות במעלות זעירות.
לבסוף, מערכת סינון על-סינון (UF) משולבת עם מערכת ממברנת הפיכת אוסמוזה (RO) עתירת התנגדות לזיהום מספקת דישלון וטיהור מתקדם, ויוצרת מים משוחזרים באיכות גבוהה המתאימים לתהליך פולישינג וניקוי של וויפרס.
הציוד המרכזי כולל:
הפתרון הזה נבנה במיוחד עבור מי שפיכה של תערובות פוליש (CMP) בתעשיית הסמיקונדקטור, ועושה זאת ביעילות על את הבעיות הקשות ביותר בתעשייה, כולל הפרדת קולואידים קשים וספיגת קרומים חמורה.
תהליך הטיפול הייחודי שלנו מסיר ביעילות חלקיקים של סיליקה דקיקים ביותר, מתכות כבדות בשרשראות זעירות, וזיהומים אורגניים שנותרו, תוך ייצור עקבי של מים משוחזרים אשר עומדים בתקנים לתהליכי החזרה לשימוש במים בתעשיית הסמיקונדקטור.
אנו מציעים פתרונות ציוד מותאמים באופן מלא לסביבות חדרי ניקיון בסמיקונדקטור, לתכנון המפעל ולמאפייני מי השפיכה. תעלות זרימה מותאמות למניעת סתימות, גופי ציוד עמידים לקורוזיה ומבני סינון מדויקים מבטיחים ביצועים אופטימליים בתנאי הפעלה קשיחים של מי שפיכה מסוג CMP.
כל מערכות הבקרה החשמליות המרכזיות, הציוד המכני ורכיבי טיפול המים מאושרות תקן CE, UL ו-ISO, ומקיימות את דרישות הבטיחות הבינלאומיות למבנים מתקדמים לייצור באירופה ובצפון אמריקה.
המערכת מציגה התנגדות מעולה לשינויים בלחץ הידראולי ובאיכות המים, מה שמקטין באופן משמעותי את סתימת הממברנות, את תדירות התיקונים ואת עצירת הציוד.
אחוז השחזור של המים עולה על 95%, מה שמצריך ירידה משמעותית בצריכת המים המתוקנים ובחשיפות הפעלה.
עיצוב המערכת האינטגרלי המודולרי מקטין את שטח ההתקנה תוך כדי איפשור הרחבה גמישה בעתיד. הפעלה חכמה לחלוטין אוטומטית תומכת בדרישות ייצור רציף ובדיוק גבוה של מתקני ייצור שבבים סמי-מוליכים מודרניים.
הושלמו בהצלחה פרויקטים מרובים לטיפול במיצי CMP במערכות פסולת מים של מתקני ייצור שבבים סמי-מוליכים.
הפרויקט הנציג הוא פרויקט שחזור מי פסולת CMP למפעל ייצור רכיבי סמי-קונדקטור בקוטר 12 אינץ', עם קיבולת טיפול של 1,000 מטר מעוקב ליום.
המערכת הוכיחה פעילות יציבה לאורך זמן, ופתרה לחלוטין בעיות הקשורות להצטברות קולואידית, זיהום הממברנות ואיכות נוזל הפליטה הלא יציבה. המים המשוחזרים עומדים באופן עקבי בתקנים למים אולטרה-טהורים לשימוש חוזר בתעשיית הסמי-מוליכים, והצליחו לעבור הן בדיקות התאמה סביבתית והן בדיקות קבלה במפעל.
התיעוד התומך כולל:
אנו מספקים פתרונות EPC מוכנים להפעלה מלאה לטיפול במי פסולת CMP, הכוללים חקירה באתר, דגימת וניתוח מי הפסולת, הנדסת תהליכים מותאמת אישית, עיצוב ציוד לא סטנדרטי, ייצור ציוד, התקנה, הפעלת מערכת, תפעול ותחזוקה, שדרוגי מערכת ואספקת חומרים נצחיים.
EN