I. Tullantı Sularının Mənbələri, Tipik Zərərli Maddələr və Su Keyfiyyəti Xüsusiyyətləri
Silikon vafir istehsalı üzrə tullantı suları əsasən vafirlərin aşındırılması, cilalanması, səthlərin təmizlənməsi, nazik təbəqə çökməsi, fotolitoqrafiya və təmiz otaqların yuyulması proseslərindən yaranır. Bu, silikon əsaslı yarımkeçirici istehsalında ən böyük və ən mürəkkəb tullantı su axınlarından biridir. Tullantı suları ümumiyyətlə floridləri ehtiva edən tullantı suları, turşulu/əsasi proses tullantı suları, üzvi təmizləyici tullantı suları, ağır metalların kompleksləri olan tullantı suları və ultratəmiz su (UPW) istehsalından alınan yüksək duzluluqlu konsentrat olmaqla qruplaşdırılır.
Tipik kontaminantlar floridləri, silikatları, ultrafine silika kolloidlərini, turşu və qələvi duzlarını, mikro miqdarda mis və nikel ionlarını, habelə fotoresist qalıqlarını və səthi aktiv maddələri əhatə edir. Tullantı suyu əhəmiyyətli pH dalğalanmaları, yüksək sabitlikli kolloidlər, güclü daşlaşma potensialı və zəif bioloji parçalanma qabiliyyəti ilə xarakterizə olunur. Bəzi ağır metallar konvension çöküntü üsulları ilə çıxarılması çətin olan sabit kompleks formalarda mövcuddur. Çip istehsalı çox yüksək təmizlik dərəcəsi tələb edən texnoloji suya ehtiyac duyduğu üçün tullantı suyunun təkrar istifadəsi və buraxılması standartları konvension sənaye tullantı sularına nisbətən əhəmiyyətli dərəcədə daha sərtdir.
II. Yayğın müştəri çətinlikləri
Ultraincə silika kolloidləri və florosilikat kompleksləri ayrılmaq çətin olan maddələrdir və tez-tez boru kəmərlərində çöküntü yaradır, membranların kirliyinə səbəb olur və istehsalatın dayandırılmasına gətirib çıxarır. Tullantı suyunun tərzi dəyişkənliyi florid və ağır metalların artıq miqdarda toplanmasına səbəb ola bilər ki, bu da ekoloji uyğunluq riskini artırır. Ənənəvi qarışdırılmış axınlar üçün təmizləmə prosesi yüksək kimyəvi reaktivlərin istifadəsini tələb edir, böyük həcmdə təhlükəli çöküntülər əmələ gətirir və yüksək işçilik xərclərinə səbəb olur. Standart avadanlıqlar tez-tez kifayət qədər korroziyaya davamlılıq və kir tutmama performansına malik deyil; ənənəvi torpaqda tikilmiş sistemlər isə böyük sahə tutur və genişləndirilməsi çətindir, buna görə də fərdiləşdirilmiş həllər vacibdir.
III. Təmizləmə prosesi və əsas avadanlıq
Tövsiyə olunan proses ayrı-ayrı toplama, ön emal, kompleksləşmənin pozulması, florid və silika çıxarılması, koaqulyasiya və çöküntüləşmə, irəli gedən oksidləşmə, UF + kir tutmayan RO membran emalı və konsentrat həcminin azaldılması daxildir. Ayrı bərabərləşdirmə hidravlik zərbəni minimuma endirir. Kompleksləşmənin pozulması ağır metal komplekslərini aradan qaldırır, florid və silika çıxarılmasına xüsusi diqqət yetirilməsi isə əsas kontaminantları aradan qaldırır. İrəli gedən oksidləşmə qalıq üzvi birləşmələri aradan qaldırır və UF-RO sistemi plastinka təmizlənməsi üçün uyğun bərpa edilmiş su istehsal edir. Əsas avadanlıqlara korroziyaya davamlı bərabərləşdirmə rezervuarları, kompleksləşmənin pozulması reaktorları, florid və silika çıxarılması reaktorları, intellektual dozlaşdırma sistemləri, kir tutmayan membran modulları, onlayn su keyfiyyəti analizatorları və PLC idarəetmə sistemləri daxildir.
IV. Həllin üstünlükləri
Həll silika kolloid toplanmasını, floridin aradan qaldırılmasını, ağır metalların idarə edilməsini və membranların çirklənməsini effektiv şəkildə həll edir və suyun buraxılması və təkrar istifadəsi üçün sabit uyğunluğu təmin edir. Korroziyaya davamlı konstruksiyalı, tıkanmaya qarşı axın kanalları və kompakt layihələndirməyə malik fərdiləşdirilmiş modullu avadanlıq mövcuddur. Bütün əsas avadanlıqlar CE, UL və ISO sertifikatlarına malikdir. Suyun təkrar istifadəsi 95%-dən artıqdır, texniki xidmət tezliyi və çamur yaranması əhəmiyyətli dərəcədə azalır və modullu avtomatlaşdırılmış dizayn gələcəkdə gücləndirmə imkanı verir.
V. Layihə istinadları və dəstək sənədləri
Bofu 8 dyum və 12 dyum silisium plastinkaları istehsal edən bir neçə müəssisə üçün suların təmizlənməsi sistemlərini uğurla tətbiq etmişdir. Günlük 1 200 m³ tutumlu nümunəvi layihə illərdir etibarlı şəkildə işləyir, silika ilə əlaqəli membran çirklənməsini aradan qaldırır, florid və silikat səviyyələrini nəzarət altına alır və ekoloji və müəssisənin qəbulu testlərindən uğurla keçir. Dəstəkləyici sənədlərə patentləşdirilmiş texnologiyalar, CE/UL/ISO sertifikatları, üçüncü tərəf tərəfindən hazırlanmış su keyfiyyəti hesabatları, layihə qəbulu sertifikatları və istinad layihələri daxildir.
VI. Xidmət əhatə dairəsi və layihə iş axını
Bofu tam EPC açar-üstü xidmətlər təqdim edir: sahə araşdırması, suların təhlili, fərdiləşdirilmiş proses və avadanlıq dizaynı, istehsal, quraşdırma, istismara verilmə, idarə olunması və texniki xidmət, sistem yeniləmələri və ömür boyu sarf materiallarının təchizatı.
İş prosesi:
1. Sahə araşdırması və suyun keyfiyyətinin təhlili.
2. Fərdiləşdirilmiş proses dizaynı, qiymət təklifi və planlaşdırma.
3. Avadanlığın istehsalı və sahədə tikinti işləri.
4. Quraşdırma, qəbul və performansın təsdiqlənməsi.
5. Ekoloji qəbul üçün dəstək və operatorların hazırlanması.
6. Uzunmüddətli texniki xidmət, yoxlamalar, yeniləmələr və texniki dəstək.
EN
