silicon-wafer-manufacturing-wastewater-treatment-solution, silicon-wafer-manufacturing-wastewater-treatment-solution, /solutions
EN
Silicon plastinkalarni ishlab chiqarishda chiqadigan suv asosan plastinkalarni etching qilish, polirovka qilish, sirtini tozalash, yupqa parda joylashtirish, fotolitografiya va tozalangan xonalarni yuvish jarayonlaridan hosil bo'ladi. Bu — silikon asosidagi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda eng katta va eng murakkab chiqadigan suv oqimlaridan biridir. Chiqadigan suv umumiy holda quyidagilarga bo'linadi: ftorli suv, kislotali/ishqoriy texnologik suv, organik tozalash suvi, og'ir metallar kompleksli suv va ultrasaf suv (UPW) ishlab chiqarishdan kelib chiqqan yuqori tuzli konsentrat.
Odatda ifodalaniladigan zaharlantiruvchi moddalar floridlar, silikatlar, ultra mayda silitsiy kolloidlari, kislotali va ishqoriy tuzlar hamda mikro miqdordagi mis va nikel ionlari, shuningdek, fotoqoplam qoldiqlari va sirt faol moddalardir. Chiqindilar suvining pH qiymati keskin o'zgaradi, u yuqori barqarorlikdagi kolloidlarga ega, kuchli qotishma hosil qilish xususiyatiga ega va biologik parchalanishga juda kam moyillikka ega. Ba'zi og'ir metallar oddiy cho'ktirish usullari bilan olib tashlanmaydigan barqaror murakkab shakllarda mavjud. Plastinkalarni ishlab chiqarish juda yuqori tozalik darajasiga ega texnologik suvni talab qilgani uchun chiqindilar suvini qayta foydalanish va tashlash standartlari oddiy sanoat chiqindilari suviga nisbatan ancha qattiqroqdir.
Ultra yuqori darajadagi silitsiy dioksid kolloidlar va ftor-silitsiy komplekslari ajratish qiyin bo‘lib, tez-tez quvurlarga cho‘kindi hosil bo‘lishiga, membranaga zaham etishiga va ishlab chiqarishni to‘xtatishga sabab bo‘ladi. Chiqindilar suvining o‘zgaruvchanligi ftor va og‘ir metallar kontsentratsiyasining ortib ketishiga olib kelishi mumkin, bu esa atrof-muhitga qo‘yiladigan talablarga mos kelmaslik xavfini oshiradi. Anʼanaviy aralash oqimni tozalash usuli yuqori miqdordagi kimyoviy moddalarga ehtiyoj sezadi, katta hajmda xavfli cho‘kindi hosil qiladi va yuqori operatsion xarajatlarga sabab bo‘ladi. Standart jihozlarda ko‘pincha yetarli korroziyaga chidamlilik va zaham etishga qarshi xususiyatlar yetishmaydi, shu bilan birga anʼanaviy inshootlar keng maydonni egallaydi va kengaytirish qiyin bo‘lgani uchun maxsus yechimlar zarur.
Tavsiya etilgan jarayon quyidagilardan iborat: ajratilgan to'plangan suvni yig'ish, oldindan qayta ishlash, murakkab birikmalarini buzish, ftor va kremniy oksidini olib tashlash, suyuqlikni biriktirish va cho'ktirish, ilg'or oksidlanish, UF + zarralarga qarshi RO membrana qayta ishlashi va konsentrat hajmini kamaytirish. Ajratilgan tenglashtirish gidravlik shokini minimal darajada kamaytiradi. Murakkab birikmalarini buzish og'ir metallar komplekslarini olib tashlaydi, ftor va kremniy oksidini olib tashlash esa asosiy zaharlantiruvchilarni yo'q qiladi. Ilg'or oksidlanish qoldiq organik moddalarni olib tashlaydi va UF-RO tizimi plastinkalarni tozalash uchun mos keladigan qayta ishlangan suvni ishlab chiqaradi. Asosiy jihozlar korroziyaga chidamli tenglashtirish idishlari, murakkab birikmalarini buzish reaktorlari, ftor va kremniy oksidini olib tashlash reaktorlari, aqlli dozalash tizimlari, zarralarga qarshi membrana modullari, onlayn suv sifati tahlil qiluvchi qurilmalar va PLC boshqaruv tizimlaridan iborat.
Yechim silitsiy kolloidlarining to'planishini, ftoridlarni olib tashlashni, og'ir metallarni nazorat qilishni va membrananing qoplamasini oldini oladi, shu bilan birga chiqarish va suvni qayta ishlatish bo'yicha barqaror moslikni ta'minlaydi. Korroziyaga chidamli konstruksiyali, to'silib qolmas oqim kanallari va siqilgan joylashuvli moslashtirilgan modulli jihozlar mavjud. Barcha asosiy jihozlar CE, UL va ISO sertifikatlari bilan tasdiqlangan. Suvni qayta ishlatish 95% dan oshadi, texnik xizmat ko'rsatish chastotasi va loy hosil bo'lishi sezilarli darajada kamayadi, shuningdek, modulli avtomatlashtirilgan dizayn kelajakda quvvatni kengaytirish imkonini beradi.
Bofu 8 dyuymli va 12 dyuymli silitsiy qo‘rg‘oshin plastinkalarni ishlab chiqaradigan bir nechta korxonalar uchun suvni tozalash tizimlarini muvaffaqiyatli joriy etgan. Kuniga 1200 m³ suvni tozalash quvvatiga ega bo‘lgan namuna loyihasi yillar davomida ishonchli ishlayapti; bu tizim silitsiyga oid membranani zarrachalarga to‘ldirish muammosini hal qiladi, ftorid va silikat darajasini nazorat qiladi va ekologik hamda korxona tomonidan qabul qilish talablari hamda standartlarini bajaradi. Qo‘llab-quvvatlovchi hujjatlar orasida patentlangan texnologiyalar, CE/UL/ISO sertifikatlari, uchinchi tomon tomonidan tayyorlangan suv sifati hisobotlari, loyiha qabul qilish sertifikatlari va referens loyihalar mavjud.
Bofu to‘liq EPC kalitli xizmatlarini taklif etadi: maydonni tekshirish, suvni tahlil qilish, moslashtirilgan jarayon va jihozlarni loyihalash, ishlab chiqarish, o‘rnatish, sinovdan o‘tkazish, ekspluatatsiya va texnik xizmat ko‘rsatish, tizimni yangilash hamda umr bo‘yi sarf-xarajat materiallarini ta'minlash.
Ish jarayoni:
1. Maydonni tekshirish va suv sifatini tahlil qilish.
2. Moslashtirilgan jarayonni loyihalash, narxlarni belgilash va joylashuvni aniqlash.
3. Jihozlarni ishlab chiqarish va maydonda qurilish ishlari.
4. O'rnatish, ishga tushirish va ishlashni tekshirish.
5. Atrof-muhit qabul qilishini qo'llab-quvvatlash va operatorlarga o'qitish.
6. Uzoq muddatli texnik xizmat ko'rsatish, tekshiruvlar, yangilashlar va texnik qo'llab-quvvatlash.