I. Notekūdeņu avoti, tipiskie piesārņotāji un ūdens kvalitātes raksturlielumi
Silīcija virsmas plākšņu ražošanas notekūdeņi galvenokārt rodas virsmas plākšņu ķīmiskās apstrādes, polēšanas, virsmas tīrīšanas, plāno kārtu nogulsnēšanas, fotolitogrāfijas un tīrās telpas mazgāšanas procesos. Tie ir vieni no lielākajiem un sarežģītākajiem notekūdeņu plūsmas veidiem silīcija bāzes pusvadītāju ražošanā. Notekūdeņus parasti klasificē kā fluorīdu saturošus notekūdeņus, skābos\/bāziskos tehnoloģiskos notekūdeņus, organisko tīrīšanas notekūdeņus, smago metālu kompleksos notekūdeņus un augstas sāļu koncentrācijas koncentrātu no ultratīra ūdens (UPW) ražošanas.
Tipiski piesārņotāji ietver fluorīdus, silikātus, ultrasmalkas kremnijskābes koloidas, skābas un bāziskas sāls, kā arī nelielus varu un niķeļa jonus kopā ar fotorezistu atliekām un virsmasaktīvvielām. Notekūdeņi raksturojas ar ievērojamām pH svārstībām, ļoti stabiliem koloidiem, spēcīgu nogulšņu veidošanās potenciālu un zemu bioloģisko noārdāmību. Daži smagie metāli eksistē stabili kompleksētās formās, ko ir grūti noņemt, izmantojot parastās nogulsnēšanas metodes. Tā kā pusvadītāju plākšņu ražošanai nepieciešama ļoti augstas tīrības procesa ūdens, gan notekūdeņu atkārtotai izmantošanai, gan izlaišanai piemēro daudz stingrākus standartus nekā parastajiem rūpnieciskajiem notekūdeņiem.
II. Biežāk sastopamās klientu problēmas
Ultrasmalkās silīcija dioksīda koloidālās daļiņas un fluorosilikātu kompleksi ir grūti atdalāmi, bieži izraisot cauruļvadu nogulšņu veidošanos, membrānu piesārņojumu un ražošanas apstāšanos. Notekūdeņu svārstības var izraisīt pārmērīgu fluora un smago metālu koncentrāciju, palielinot vides atbilstības riskus. Parastās maisītās plūsmas apstrādes procesam nepieciešams liels ķīmisko vielu patēriņš, tiek radīts liels daudzums bīstamas dūņas un augsti ekspluatācijas izdevumi. Standarta aprīkojumam bieži trūkst pietiekamas korozijas izturības un pretpiesārņojuma efektivitātes, kamēr tradicionālie celtniecības ceļā būvētie sistēmu risinājumi aizņem lielu platību un to paplašināšana ir grūta, tāpēc nepieciešami pielāgoti risinājumi.
III. Apstrādes process un galvenās iekārtas
Ieteicamais process ir sadalīts savākšana, priekšapstrāde, dekompleksācija, fluora un silīcija noņemšana, koagulācija un nosēdēšanās, uzlabotā oksidācija, UF + pretapmākošanas RO membrānu apstrāde un koncentrāta tilpuma samazināšana. Atsevišķa izlīdzināšana minimizē hidraulisko triecienu. Dekompleksācija noņem smago metālu kompleksus, kamēr veltītā fluora/silīcija noņemšana novērš galvenos piesārņotājus. Uzlabotā oksidācija noņem atlikušās organiskās vielas, un UF-RO sistēma ražo atjaunotu ūdeni, kas piemērots dēļiņu tīrīšanai. Galvenie iekārtu komponenti ir korozijai izturīgi izlīdzināšanas rezervuāri, dekompleksācijas reaktori, fluora un silīcija noņemšanas reaktori, intelektuālas dozēšanas sistēmas, pretapmākošanas membrānu moduļi, tiešsaistes ūdens kvalitātes analizatori un PLC vadības sistēmas.
IV. Risinājuma priekšrocības
Risinājums efektīvi novērš silīcija koloidu uzkrāšanos, fluora noņemšanu, smago metālu kontroli un membrānu apmākošanos, vienlaikus nodrošinot stabila atbilstību notekūdeņu izvadīšanai un ūdens atkārtotai izmantošanai. Pieejami pielāgoti modulāri iekārtas komplekti ar korozijai izturīgām konstrukcijām, pretaizsprostošiem plūsmas kanāliem un kompaktām izvietojumiem. Visas galvenās iekārtas ir sertificētas atbilstoši CE, UL un ISO standartiem. Ūdens atkārtota izmantošana pārsniedz 95 %, apkopēs nepieciešamība un dūņu ražošana ievērojami samazinās, bet modulārais automatizētais dizains atbalsta nākotnē kapacitātes paplašināšanu.
V. Projekta atsauces un atbalstošie dokumenti
Bofu ir veiksmīgi ieviesis notekūdeņu attīrīšanas sistēmas vairākos 8 collu un 12 collu silīcija velmētu plākšņu ražošanas uzņēmumos. Vienas no galvenajām projektām, kuras apstrādes jauda ir 1200 m³/diennaktī, uzticami darbojas jau vairākus gadus, novēršot silīcija saistīto membrānu piesārņojumu un kontrolējot fluorīdu un silikātu līmeņus, vienlaikus atbilstot vides un rūpnīcas pieņemšanas prasībām. Atbalsta dokumenti ietver patentētās tehnoloģijas, CE/UL/ISO sertifikātus, neatkarīgu trešo pušu ūdens kvalitātes ziņojumus, projekta pieņemšanas apliecības un atsauces projektus.
VI. Pakalpojumu apjoms un projekta darbības kārtība
Bofu piedāvā pilnas EPC „gatavs ekspluatācijai” pakalpojumu komplektu, kas ietver vietnes apskati, notekūdeņu analīzi, pielāgotu procesa un aprīkojuma projektēšanu, ražošanu, uzstādīšanu, nodošanu ekspluatācijā, ekspluatāciju un apkopi, sistēmu modernizāciju un patēriņa preču piegādi visam ekspluatācijas laikam.
Darba plūsma:
1. Vietnes apskate un ūdens kvalitātes analīze.
2. Pielāgota procesa projektēšana, piedāvājums un izvietojuma plānošana.
3. Aprīkojuma ražošana un vietnes būvniecība.
4. Uzstādīšana, nodošana ekspluatācijā un veiktspējas pārbaude.
5. Vides pieņemšanas palīdzība un operatoru apmācība.
6. Ilgstoša tehniskā apkope, pārbaudes, modernizācijas un tehniskā atbalsta sniegšana.
EN
