I. Източници на отпадъчни води, типични замърсители и характеристики на качеството на водата
Отпадъчните води от производството на кремниеви пластина се получават предимно при етапите етчиране, полиране, почистване на повърхността, депозиране на тънки филми, фотолитография и измиване на чисти стаи. Те представляват един от най-големите и най-сложни потоци отпадъчни води в производството на кремниеви полупроводникови устройства. Отпадъчните води обикновено се класифицират като води, съдържащи флуориди, кисели/алкални технологични води, органични почистващи води, води, съдържащи комплекси на тежки метали, и високосолени концентрати от производството на ултрапресни води (UPW).
Типичните замърсители включват флуориди, силикати, ултрафини колоидни частици от кремнезем, кисели и алкални соли, както и следи от йони на мед и никел заедно с остатъци от фотолак и повърхностно-активни вещества. Отпадните води се характеризират със значителни колебания на pH, изключително стабилни колоиди, силна склонност към образуване на накип и слаба биоразградимост. Някои тежки метали са в стабилни комплексни форми, които е трудно да се отстранят чрез обичайното утаяване. Тъй като производството на пластини изисква процесна вода с изключително висока чистота, както стандартизацията за повторна употреба на отпадните води, така и изискванията за тяхното отвеждане са значително по-строги в сравнение с тези за обичайните промишлени отпадни води.
II. Чести предизвикателства за клиентите
Ултрафините колоиди на кремнезем и флуоросиликатните комплекси са трудни за отделяне и често предизвикват утаяване в тръбопроводите, замърсяване на мембраните и спиране на производството. Колебанията в отпадъчните води могат да доведат до прекомерни концентрации на флуориди и тежки метали, което увеличава рисковете от несъответствие с екологичните изисквания. Традиционната обща обработка на смесени потоци изисква високо потребление на химикали, генерира големи обеми опасни утайки и води до високи експлоатационни разходи. Стандартното оборудване често няма достатъчна корозионна устойчивост и съпротива срещу замърсяване, докато традиционните граждански системи заемат голяма площ и са трудни за разширение, което прави персонализираните решения задължителни.
III. Процес на пречистване и основно оборудване
Препоръчителният процес включва сепарирано събиране, предварителна обработка, декомплексация, отстраняване на флуориди и силициев диоксид, коагулация и утаяване, напреднала оксидация, УФ + антисмърчава ОС мембранна обработка и намаляване на обема на концентратите. Отделното изравняване минимизира хидравличния удар. Декомплексацията отстранява комплексите на тежките метали, докато специализираното отстраняване на флуориди и силициев диоксид елиминира ключовите замърсители. Напредналата оксидация отстранява остатъчните органични вещества, а УФ-ОС системата произвежда рециклирана вода, подходяща за почистване на пластинки. Основното оборудване включва резервоари за изравняване, устойчиви на корозия, реактори за декомплексация, реактори за отстраняване на флуориди и силициев диоксид, интелигентни дозиращи системи, антисмърчави мембранни модули, онлайн анализатори на качеството на водата и системи за контрол чрез ПЛК.
IV. Предимства на решението
Решението ефективно отстранява натрупването на кремнеземни колоиди, отстранява флуориди, контролира тежките метали и предотвратява образуването на натрупвания върху мембраните, като осигурява стабилно съответствие с изискванията за отвеждане и повторно използване на водата. Достъпно е персонализирано модулно оборудване с корозионностойки конструкции, канали за течност, устойчиви на запушване, и компактни разположения. Всичко основно оборудване е сертифицирано според стандарти CE, UL и ISO. Повторното използване на водата надвишава 95 %, честотата на поддръжка и генерирането на утайка са значително намалени, а модулният автоматизиран дизайн поддържа бъдещо разширение на капацитета.
V. Проектни препратки и поддържащи документи
Бофу е успешно внедрил системи за третиране на отпадъчни води за множество производствени обекти за силициеви пластина с диаметър 8 и 12 инча. Флагманският проект с капацитет за третиране от 1200 м³/ден работи надеждно от години, като елиминира замърсяването на мембраните, свързано със силиция, и контролира нивата на флуориди и силикати, докато изпълнява изискванията за екологична и фабрична приемка. Поддържащите документи включват патентовани технологии, сертификати CE/UL/ISO, доклади за качеството на водата от независими страни, сертификати за приемка на проекта и референтни проекти.
VI. Обхват на услугите и работен процес на проекта
Бофу предоставя пълни EPC „ключ-в-ръцете“ услуги, включващи проучване на обекта, анализ на отпадъчните води, персонализирано проектиране на процеса и оборудването, производство, инсталация, пускане в експлоатация, експлоатация и поддръжка, модернизации на системата и доставка на консумативи през целия живот на системата.
Работен процес:
1. Проучване на обекта и анализ на качеството на водата.
2. Персонализирано проектиране на процеса, оферта и планиране.
3. Производство на оборудване и строителство на обекта.
4. Инсталиране, пускане в експлоатация и проверка на работата.
5. Помощ при екологичното одобрение и обучение на операторите.
6. Дългосрочно поддържане, инспекции, модернизации и техническа поддръжка.
EN
