I. Källor till avloppsvatten, typiska föroreningar och vattenkvalitetens egenskaper
Avloppsvatten från tillverkning av kiselvävlar genereras främst vid vävletching, polering, ytrengöring, tunnfilmsdeposition, fotolitografi och rengöring av renrum. Det är en av de största och mest komplexa avloppsvattenströmmarna inom halvledartillverkning baserad på kisel. Avloppsvattnet klassificeras vanligtvis som fluoridhaltigt avloppsvatten, surt/alkaliskt processavloppsvatten, organiskt rengöringsavloppsvatten, avloppsvatten med tungmetallkomplex samt högsaltkoncentrat från produktion av ultraren vatten (UPW).
Typiska föroreningar inkluderar fluorider, silikater, ultrafina kiseldioxidkolloider, sura och alkaliska salter samt spår av koppar- och nickeljoner, tillsammans med fotolackrester och ytaktiva ämnen. Avloppsvattnet karakteriseras av betydande pH-svängningar, mycket stabila kolloider, stark benägenhet att bilda avlagringar och dålig biologisk nedbrytbarhet. Vissa tungmetaller finns i stabila komplexformer som är svåra att avlägsna med konventionell fällning. Eftersom brädproduktion kräver processvatten av extremt hög renhet är både återanvändnings- och utsläppskraven avsevärt striktare än för konventionellt industriavloppsvatten.
II. Vanliga kundutmaningar
Ultrafina kiselsoljekolloider och fluorosilikatkomplex är svåra att separera, vilket ofta orsakar avlagring i rörledningar, membranföroreningar och produktionsstopp. Vattenavfallsfluktuationer kan leda till för höga koncentrationer av fluorid och tungmetaller, vilket ökar riskerna för icke-överensstämmelse med miljökraven. Konventionell behandling av blandade strömmar kräver högt kemikalieförbrukning, genererar stora mängder farligt slam och resulterar i höga driftkostnader. Standardutrustning saknar ofta tillräcklig korrosionsbeständighet och motstånd mot föroreningar, medan traditionella anläggningar med civilbyggnadsdesign tar upp stort utrymme och är svåra att utöka, vilket gör anpassade lösningar nödvändiga.
III. Behandlingsprocess och kärnutrustning
Den rekommenderade processen består av separat insamling, förbehandling, dekomplexering, borttagning av fluorid och kiseldioxid, koagulering och sedimentation, avancerad oxidation, UF + anti-fouling RO-membranbehandling samt koncentratvolymminskning. Separat utjämning minimerar hydraulisk chock. Dekomplexering tar bort tungmetallkomplex, medan specialiserad borttagning av fluorid/kiseldioxid eliminerar nyckelkontaminer. Avancerad oxidation tar bort återstående organiska ämnen, och UF-RO-systemet producerar återvunnet vatten som är lämpligt för waferspädning. Kärnutrustningen inkluderar korrosionsbeständiga utjämningsbassänger, dekomplexeringsreaktorer, reaktorer för borttagning av fluorid och kiseldioxid, intelligent doseringssystem, anti-fouling membranmoduler, online-vattenkvalitetsanalyserare samt PLC-styrningsystem.
IV. Lösningens fördelar
Lösningen hanterar effektivt ackumulering av kiseldioxidkolloider, borttagning av fluorid, kontroll av tungmetaller och beläggning av membran, samtidigt som stabil efterlevnad av utsläppskrav och vattenåteranvändning säkerställs. Anpassad modulär utrustning finns tillgänglig med korrosionsbeständiga konstruktioner, flödeskanaler som inte slamsats och kompakta layouter. All viktig utrustning är CE-, UL- och ISO-certifierad. Vattenåteranvändningen överstiger 95 %, underhållsfrekvensen och slamproduktionen minskar kraftigt, och den modulära automatiserade designen stödjer framtida kapacitetsutbyggnad.
V. Projektreferenser och stöddokument
Bofu har framgångsrikt implementerat avloppsbehandlingssystem för flera fabriker för tillverkning av 8-tums- och 12-tums-kiselväfertavlor. Ett flaggskeppsprojekt med en behandlingskapacitet på 1 200 m³/dag har fungerat pålitligt i flera år, vilket eliminerar membranföroreningar relaterade till kiseldioxid samt kontrollerar fluorid- och silikatnivåer, samtidigt som det uppfyller kraven från både miljömyndigheter och fabrikens godkännandeprocess. Stöddokument inkluderar patentregistrerade teknologier, CE-/UL-/ISO-certifieringar, oberoende vattenkvalitetsrapporter, projektgodkännandebevis och referensprojekt.
VI. Tjänsteomfattning och projektförlopp
Bofu erbjuder fullständiga EPC-turnkey-tjänster, inklusive platsundersökning, avloppsanalys, anpassad process- och utrustningsdesign, tillverkning, installation, igångkörning, drift och underhåll, systemuppgraderingar samt livstidsleverans av förbrukningsartiklar.
Arbetsflöde:
1. Platsundersökning och vattenkvalitetsanalys.
2. Anpassad processdesign, offert och layout.
3. Utrustningstillverkning och byggarbete på plats.
4. Installation, idrifttagning och prestandaverifiering.
5. Stöd vid miljögodkännande och utbildning av operatörer.
6. Långsiktig underhåll, inspektion, uppgraderingar och teknisk support.
EN
