I. Izvori otpadnih voda, tipični onečišćujući tvari i značajke kvalitete vode
Otpadne vode za proizvodnju silicijskih oblaka uglavnom se stvaraju od etiranja, poliranja, čišćenja površine, deponacije tankih filmova, fotolitografije i procesa pranja čistih soba. To je jedan od najvećih i najsloženijih tokova otpadnih voda u proizvodnji poluprovodnika na bazi silicija. Odpadne vode se općenito klasificiraju u otpadne vode koje sadrže fluor, kiselu/alkalnu otpadnu vodu, otpadne vode za organsko čišćenje, otpadne vode kompleksnih teških metala i koncentrat visoke slanosti iz proizvodnje ultračiste vode (UPW).
Tipični kontaminanti uključuju fluoride, silikate, ultrafini koloide silicije, kiselu i alkalnu so, i tragove bakra i nikl iona, zajedno s fotoresistnim ostatcima i površinski aktivnim sredstvima. Odpadne vode imaju značajne fluktuacije pH vrijednosti, vrlo stabilne koloide, snažan potencijal za skalanje i lošu biološku razgradljivost. Neki teški metali postoje u stabilnim kompleksnim oblicima koje je teško ukloniti konvencionalnim obilježenjem. Zbog toga što je za proizvodnju oblaka potrebna izuzetno čista procesna voda, standardi za ponovno korištenje otpadnih voda i za ispuštanje su znatno stroži od onih za konvencionalne industrijske otpadne vode.
II. - Završetak Česti izazovi za kupce
Ultrafini koloidi silicije i fluorosilikatni kompleksi teško se odvajaju, često uzrokujući sedimentaciju cijevi, zamrzavanje membrane i zaustavljanje proizvodnje. U skladu s člankom 3. stavkom 2. stavkom 2. U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. Standardna oprema često nema dovoljno otpornosti na koroziju i performanse protiv onečišćenja, dok tradicionalni civilni sustavi zauzimaju velike otiske i teško se mogu proširiti, što čini prilagođena rješenja nužnima.
III. - Odluka Vijeća Proces obrade i osnovna oprema
U slučaju da se primjenjuje metoda za utvrđivanje vrijednosti, u slučaju primjene metode za utvrđivanje vrijednosti, primjenjuje se metoda za utvrđivanje vrijednosti. Odvojena izjednačavanje minimizira hidraulički udarac. Odvojena od kompleksiranja uklanja se kompleks teških metala, dok posvećeno uklanjanje fluorida/silika uklanja ključne onečišćujuće tvari. U slučaju da se ne primijenjuje primjena, sustav za ispitivanje mora se upotrijebiti za ispitivanje. Osnovna oprema uključuje rezervoare za izjednačavanje otporne na koroziju, reaktore za dekompleksiranje, reaktore za uklanjanje fluorida i silicija, inteligentne sustave doziranja, module membrana protiv prljavštine, analizatore kvalitete vode na mreži i sustave kontrole PLC-a.
IV. Prednosti rješenja
Rješenje učinkovito rješava akumulaciju koloida silicije, uklanjanje fluorida, kontrolu teških metala i skalanje membrane, osiguravajući istodobno stabilnu usklađenost za pražnjenje i ponovnu uporabu vode. Uređaji za prilagođavanje modularne opreme dostupni su s strukturama otpornim na koroziju, kanalima protoka protiv zamašljanja i kompaktnim rasporedom. Sva glavna oprema je CE, UL i ISO certificirana. U skladu s člankom 3. stavkom 1. stavkom 2.
V. Referenci projekta i potporne dokumente
Bofu je uspješno implementirao sustave za čišćenje otpadnih voda za više proizvodnih postrojenja za proizvodnju silikonskih oblaka od 8 i 12 inča. Glavni projekt s kapacitetom obrade od 1.200 m3/dan godinama je pouzdano radio, eliminirajući onečišćenje membrane povezano s silicijem i kontrolirajući razinu fluorida i silikata, a prolazeći prihvatljivost za okoliš i tvornicu. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br.
VI. Obim usluga i tok rada projekta
Bofu pruža kompletne usluge EPC-a, uključujući istraživanje lokacije, analizu otpadnih voda, prilagođeni proces i dizajn opreme, proizvodnju, instalaciju, puštanje u rad, rad i održavanje, nadogradnju sustava i opskrbu potrošnim materijalima tijekom cijelog života.
Tijek rada:
1. za Istraživanje lokacije i analiza kvalitete vode.
2. - Što? Dizajn prilagođenog procesa, citat i raspored.
3. Slijedi sljedeće: Proizvodnja opreme i izgradnja lokacija.
4. - Što? Uređivanje, puštanje u rad i provjera performansi.
- Pet. Pomoć u prihvaćanju okolišnih proizvoda i obuka operatora.
6. - Što? Dugoročno održavanje, inspekcija, nadogradnje i tehnička podrška.
EN
