I. Atıksu Kaynakları, Tipik Kirleticiler ve Su Kalitesi Özellikleri
Silikon kristal plaketi üretimi atıksuyu, öncelikle plaket aşındırma, parlatma, yüzey temizliği, ince film biriktirme, fotolitografi ve temiz oda yıkama süreçlerinden kaynaklanır. Bu atıksu, silikon tabanlı yarı iletken üretiminde en büyük ve en karmaşık atıksu akımlarından biridir. Atıksu genellikle florür içeren atıksu, asidik/alkalin proses atıksuyu, organik temizlik atıksuyu, ağır metal kompleksli atıksu ve ultra saf su (UPW) üretimi sırasında elde edilen yüksek tuzluluklu konsantre olarak sınıflandırılır.
Tipik kirleticiler, florürler, silikatlar, ultra ince silika kolloidleri, asidik ve bazik tuzlar ile iz düzeyinde bakır ve nikel iyonlarını; ayrıca foto direnç kalıntılarını ve yüzey aktif maddeleri içerir. Atık su, önemli pH dalgalanmaları, yüksek derecede kararlı kolloidler, güçlü tartar oluşum potansiyeli ve düşük biyolojik parçalanabilirlik özelliklerine sahiptir. Bazı ağır metaller, geleneksel çöktürme yöntemleriyle uzaklaştırılması zor olan kararlı kompleks formlarda bulunur. Wafersız üretim aşamasında son derece yüksek saflıkta süreç suyu gerekliliği olduğundan, atık suyun yeniden kullanımı ve deşarj standartları, geleneksel endüstriyel atık suya kıyasla çok daha katıdır.
II. Yaygın Müşteri Zorlukları
Ultra ince silika kolloidleri ve florosilikat kompleksleri ayrıştırılması zor olan maddelerdir; bu nedenle boru hattında tortulanmaya, membran kirlenmesine ve üretim kesintilerine sıkça neden olurlar. Atık su debisindeki dalgalanmalar, florür ve ağır metal konsantrasyonlarının aşırı düzeyde artmasına yol açabilir; bu da çevresel uyum risklerini artırır. Geleneksel karışık akım arıtma yöntemi, yüksek kimyasal tüketim gerektirir, büyük hacimli tehlikeli çamur üretir ve yüksek işletme maliyetlerine neden olur. Standart ekipmanlar genellikle yeterli korozyon direncine ve kirlenmeye karşı dayanıklılığa sahip değildir; ayrıca geleneksel betonarme sistemler büyük alan kaplar ve genişletilmesi zordur; bu nedenle özelleştirilmiş çözümler şarttır.
III. Arıtma Süreci ve Temel Ekipman
Önerilen süreç, ayrılmış toplama, ön işlem, karmaşıklaşma çözme, florür ve silika giderimi, koagülasyon ve çöktürme, ileri oksidasyon, UF + kirlenmeye dirençli RO membran arıtımı ve konsantre hacim azaltımını içerir. Ayrı eşitleme tankları, hidrolik şoka neden olan ani debi değişimlerini en aza indirir. Karmaşıklaşma çözme işlemi ağır metal komplekslerini giderirken; özel olarak tasarlanmış florür/silika giderim sistemleri ana kirleticileri ortadan kaldırır. İleri oksidasyon işlemi kalıntılardaki organik maddeleri yok eder ve UF-RO sistemi, yonga temizleme amacıyla kullanılabilecek geri kazanılmış su üretir. Temel ekipmanlar arasında korozyona dayanıklı eşitleme tankları, karmaşıklaşma çözme reaktörleri, florür ve silika giderim reaktörleri, akıllı dozaj sistemleri, kirlenmeye dirençli membran modülleri, çevrimiçi su kalitesi analizörleri ve PLC kontrol sistemleri yer alır.
IV. Çözüm Avantajları
Çözüm, silika kolloid birikimini, florür giderilmesini, ağır metal kontrolünü ve membran sertleşmesini etkili bir şekilde ele alırken, deşarj ve su yeniden kullanımına ilişkin kararlı uyum sağlar. Korozyona dayanıklı yapılar, tıkanmaya karşı korunmuş akış kanalları ve kompakt yerleşimlerle özelleştirilebilir modüler ekipmanlar mevcuttur. Tüm ana ekipmanlar CE, UL ve ISO sertifikalarına sahiptir. Su yeniden kullanımı %95’i aşar; bakım sıklığı ve çamur üretimi önemli ölçüde azalır; modüler otomatik tasarım, gelecekteki kapasite genişletmelerini destekler.
V. Proje Referansları ve Destekleyici Belgeler
Bofu, 8 inç ve 12 inç silikon wafers üretimi yapan çok sayıda tesis için atıksu arıtma sistemleri başarıyla uygulamıştır. Günlük 1.200 m³ kapasiteli bir öncü proje yıllardır güvenilir şekilde çalışmakta; silika kaynaklı membran kirliliğini ortadan kaldırmakta, florür ve silikat seviyelerini kontrol etmekte ve çevre ile fabrika kabul testlerini geçmektedir. Destekleyici belgeler arasında patentli teknolojiler, CE/UL/ISO sertifikaları, bağımsız üçüncü parti su kalitesi raporları, proje kabul sertifikaları ve referans projeler yer almaktadır.
VI. Hizmet Kapsamı ve Proje İş Akışı
Bofu, saha incelemesi, atıksu analizi, özelleştirilmiş süreç ve ekipman tasarımı, imalat, montaj, devreye alma, işletme ve bakım, sistem güncellemeleri ile ömür boyu tüketim malzemeleri tedariki dahil olmak üzere tam kapsamlı EPC anahtar teslim hizmetleri sunar.
İş Akışı:
1. Saha incelemesi ve su kalitesi analizi.
2. Özelleştirilmiş süreç tasarımı, teklif hazırlanması ve yerleşim planlaması.
3. Ekipman imalatı ve saha inşaatı.
4. Kurulum, devreye alma ve performans doğrulaması.
5. Çevresel kabul desteği ve operatör eğitimi.
6. Uzun vadeli bakım, denetim, güncellemeler ve teknik destek.
EN
