I. Nuotekų šaltiniai, tipiški teršalai ir vandens kokybės charakteristikos
Silicio plokštelių gamybos nuotekos susidaro daugiausia iš plokštelių rūgštinio apdorojimo, šlifavimo, paviršiaus valymo, plonų plėvelių nusodinimo, fotolitografijos ir švarios patalpos plovimo procesų. Tai vienos didžiausių ir sudėtingiausių nuotekų srautų silicio pagrindu gaminamuose puslaidininkiuose. Nuotekos paprastai klasifikuojamos kaip fluoridų turinčios nuotekos, rūgštinės/šarminės technologinės nuotekos, organinio valymo nuotekos, sunkiųjų metalų kompleksų nuotekos ir aukštos druskos koncentracijos koncentratas iš ultrašvaraus vandens (UPW) gamybos.
Tipiški teršalai apima fluoridus, silikatus, ultrafinezes kvarco koloidines daleles, rūgštinius ir šarminius druskas bei pėdsakuojančius vario ir nikelio jonų kiekius kartu su fotoatspindžio likučiais ir paviršiaus aktyviais medžiagomis. Nuotekose pastebimi reikšmingi pH svyravimai, labai stabilūs koloidai, stiprus užkalkėjimo potencialas ir prasta biologinė skaidomumas. Kai kurie sunkieji metalai egzistuoja stabiliose kompleksinėse formose, kurias sunku pašalinti įprastu nuosėdinimu. Kadangi plokštelių gamybai reikalingas itin aukštos grynumo technologinis vanduo, tiek nuotekų pakartotinio naudojimo, tiek išleidimo standartai yra žymiai griežtesni nei įprastų pramonės nuotekų.
II. Dažniausiai pasitaikančios klientų problemos
Ultramikrieji silicio dioksido koloidai ir fluoro-silikato kompleksai yra sunkiai atskiriami, dažnai sukeliantys vamzdynų nuosėdų susidarymą, membranų užteršimą ir gamybos sustojimus. Nuotekų svyravimai gali sukelti per didelį fluorido ir sunkiųjų metalų koncentracijų padidėjimą, todėl didėja aplinkos reikalavimų laikymosi rizika. Įprastinė mišrių srautų valymo technologija reikalauja didelės chemikalų sąnaudų, sukuria didelius pavojingų nuosėdų kiekius ir lemia aukštus eksploatacijos kaštus. Standartinė įranga dažnai neturi pakankamos korozijos atsparumo ir užteršimo prevencijos galimybių, o tradicinės statybinės sistemos užima didelius plotus ir jų plėtimas yra sudėtingas, todėl būtinos specializuotos sprendimų schemos.
III. Valymo procesas ir pagrindinė įranga
Rekomenduojamas procesas apima atskirą surinkimą, pirminį apdorojimą, sudėtingų junginių skaidymą, fluorido ir silicio pašalinimą, koaguliaciją ir nuosėdinimą, pažangų oksidavimą, UF ir antipuvinčių RO membranų apdorojimą bei koncentrato tūrio sumažinimą. Atskiras išlyginamasis baseinas sumažina hidraulinį smūgį. Sudėtingų junginių skaidymas pašalina sunkiųjų metalų kompleksus, o specializuotas fluorido/silicio pašalinimas pašalina pagrindinius teršalus. Pažangus oksidavimas pašalina likusius organinius junginius, o UF-RO sistema gamina perdirbtą vandenį, tinkamą plokštelių valymui. Pagrindiniai įrenginiai apima korozijai atsparius išlyginamuosius baseinus, sudėtingų junginių skaidymo reaktorius, fluorido ir silicio pašalinimo reaktorius, protingas dozavimo sistemas, antipuvinčias membranų modulius, tikrosios laiko vandens kokybės analizatorius ir PLC valdymo sistemas.
IV. Sprendimo privalumai
Šis sprendimas veiksmingai pašalina silicio dioksido koloidų kaupimąsi, fluoridų pašalinimą, sunkiųjų metalų kontrolę ir membranų užterštumą, tuo pat metu užtikrindamas stabilų atitikimą nuotekų išleidimo ir vandens pakartotinio naudojimo reikalavimams. Pateikiamos pritaikytos modulinės įrangos sistemos su korozijai atspariais konstrukciniais elementais, nuo užsikimšimo apsaugotais srauto kanalais ir kompaktiškomis schemomis. Visos pagrindinės įrangos sistemos atitinka CE, UL ir ISO standartus. Vandens pakartotinio naudojimo lygis viršija 95 %, techninės priežiūros dažnis ir nuosėdų kiekis žymiai sumažėja, o modulinė automatinė konstrukcija leidžia lengvai plėsti galios pajėgumus ateityje.
V. Projektų nuorodos ir palaikomieji dokumentai
Bofu sėkmingai įdiegė nuotekų valymo sistemas kelioms 8 colių ir 12 colių silicio plokštelių gamybos įmonėms. Pagrindinis projektas, kurio valymo našumas – 1200 m³/parą, veikia patikimai jau keletą metų: pašalintas silicio dėlės sukeltas membranų užteršimas, kontroliuojami fluorido ir silikato kiekiai, o sistema atitinka aplinkos apsaugos reikalavimus bei gamyklos priėmimo standartus. Pridėti dokumentai apima patentuotas technologijas, CE/UL/ISO sertifikatus, nepriklausomų šalių parengtus vandens kokybės ataskaitų, projekto priėmimo pažymėjimus ir nuorodų projektus.
VI. Paslaugų apimtis ir projekto darbo eiga
Bofu teikia visą EPC „raktas rankose“ paslaugų spektrą, įskaitant vietos tyrimus, nuotekų analizę, individualizuotą technologinio proceso ir įrangos projektavimą, gamybą, montavimą, paleidimą, eksploataciją bei techninę priežiūrą, sistemos modernizavimą ir visą gyvavimo ciklo trukmę trunkančią sunaudojamųjų medžiagų tiekimą.
Darbo eiga:
1. Vietos tyrimai ir vandens kokybės analizė.
2. Individualizuoto technologinio proceso projektavimas, kainų pasiūlymas ir išdėstymas.
3. Įrangos gamyba ir statybos vietoje.
4. Įrengimo, paleidimo ir našumo patvirtinimas.
5. Aplinkos priėmimo pagalba ir operatorių mokymas.
6. Ilgalaikė priežiūra, patikrinimai, atnaujinimai ir techninė palaika.
EN
