سیلیکان ویفر کی تیاری کے لیے پانی کی صفائی کا حل

پہلا۔ گندے پانی کے ذرائع، عام آلودگی کے عوامل اور پانی کی معیاری خصوصیات

سیلیکون ویفر کی تیاری کے دوران نکلنے والا گندا پانی بنیادی طور پر ویفر ایچنگ، پالش، سطحی صفائی، پتلی فلم کی جماعت، فوٹولیتھوگرافی اور صاف کمرے کی دھلائی کے عمل سے پیدا ہوتا ہے۔ یہ سیلیکون پر مبنی سیمی کنڈکٹر کی تیاری میں سب سے بڑے اور پیچیدہ گندے پانی کے بہاؤ میں سے ایک ہے۔ عام طور پر گندے پانی کو فلورائیڈ والے گندے پانی، تیزابی/قلوی عمل کے گندے پانی، جزوی صفائی کے گندے پانی، بھاری دھاتوں کے مرکبات والے گندے پانی، اور الٹرا پیور واٹر (UPW) کی تیاری سے حاصل ہونے والے زیادہ نمکین کن سنٹریٹ میں درجہ بند کیا جاتا ہے۔

عام آلودگی کنندہ مواد میں فلورائیڈز، سلیکیٹس، انتہائی باریک سلیکا کولائیڈز، ایسڈ اور الکلین نمک، اور نشانی کے طور پر کاپر اور نکل آئنز شامل ہیں، ساتھ ہی فوٹو ریزسٹ کے باقیات اور سرفیکٹنٹس بھی۔ اس صنعتی آبِ فضلات میں قدرِ حموضت (pH) کے واضح اتار چڑھاؤ، انتہائی مستحکم کولائیڈز، مضبوط اسکیلنگ کی صلاحیت، اور کمزور بایوڈی گریڈیبلٹی کی خصوصیات پائی جاتی ہیں۔ کچھ سنگین دھاتیں مستحکم مرکب شکلوں میں موجود ہوتی ہیں جنہیں روایتی رسوبیت کے ذریعے دور کرنا مشکل ہوتا ہے۔ چونکہ ویفر کی تیاری کے لیے انتہائی صاف عملی پانی کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے آبِ فضلات کو دوبارہ استعمال کرنے اور چھوڑنے کے معیارات عام صنعتی آبِ فضلات کے مقابلے میں کافی سخت ہوتے ہیں۔

دوسری قسم: عام صارفین کے چیلنجز

بہت باریک سلیکا کولائیڈز اور فلوروسلیکیٹ کمپلیکسز کو الگ کرنا مشکل ہوتا ہے، جس کی وجہ سے اکثر پائپ لائن میں رسوبات جمع ہوتے ہیں، ممبرین کا آلودہ ہونا اور پیداواری دیری واقع ہوتی ہے۔ صرف آبِ فضلات کے اتار چڑھاؤ سے فلورائیڈ اور بھاری دھاتوں کی زیادہ سے زیادہ تراکیب پیدا ہو سکتی ہیں، جس سے ماحولیاتی قوانین کی پابندی کے خطرات میں اضافہ ہوتا ہے۔ روایتی طریقہ کار کے تحت ملاوٹ شدہ آبِ فضلات کے علاج کے لیے کیمیائی ادویات کی بہت زیادہ مقدار درکار ہوتی ہے، جس سے خطرناک کیچڑ کی بڑی مقدار پیدا ہوتی ہے اور آپریشن کے اخراجات بھی بہت زیادہ ہوتے ہیں۔ معیاری آلات اکثر کافی حد تک جَنگال رُوکنے اور زنگ لگنے سے بچانے والی صلاحیت نہیں رکھتے، جبکہ روایتی سول تعمیراتی نظام کے لیے زمین کا بہت بڑا رقبہ درکار ہوتا ہے اور ان کو وسعت دینا بہت مشکل ہوتا ہے، جس کی وجہ سے منفرد حل کی ضرورت پیدا ہو جاتی ہے۔

تیسری: علاج کا طریقہ کار اور بنیادی آلات

تجویز کردہ طریقہ کار میں الگ الگ اکٹھا کرنا، پیش علاج، کمپلیکس کو ختم کرنا، فلورائیڈ اور سلیکا کا اخراج، کوآگولیشن اور رسوبیت، جدید آکسیڈیشن، یو ایف اور اینٹی فاؤلنگ آر او غشائی علاج، اور تمرکوز کے حجم کو کم کرنا شامل ہے۔ الگ الگ ایکوائلائزیشن ہائیڈرولک شاک کو کم سے کم کرتی ہے۔ کمپلیکس کو ختم کرنا بھاری دھاتوں کے کمپلیکس کو دور کرتا ہے، جب کہ مخصوص فلورائیڈ اور سلیکا کے اخراج کے عمل اہم آلودگی کو ختم کرتے ہیں۔ جدید آکسیڈیشن باقی ماندہ عضوی مواد کو ختم کرتی ہے، اور یو ایف-آر او نظام وافر صاف کرنے کے لیے قابلِ استعمال دوبارہ حاصل کردہ پانی پیدا کرتا ہے۔ بنیادی آلات میں کھانے سے محفوظ ایکوائلائزیشن ٹینک، کمپلیکس ختم کرنے والے ری ایکٹرز، فلورائیڈ اور سلیکا ختم کرنے والے ری ایکٹرز، ذہین ڈوسنگ سسٹم، اینٹی فاؤلنگ غشائی ماڈیول، آن لائن پانی کے معیار کے تجزیہ کار، اور پی ایل سی کنٹرول سسٹم شامل ہیں۔

چوتھا۔ حل کے فوائد

حل سلیکا کولائیڈ جمع ہونے، فلورائیڈ کے اخراج، بھاری دھاتوں کے کنٹرول اور غشائی اسکیلنگ کو مؤثر طریقے سے دور کرتا ہے، جبکہ نکاسی اور پانی کے دوبارہ استعمال کے لیے مستحکم مطابقت یقینی بناتا ہے۔ مواد کی خوردنی مقاومت، رکاوٹ کے خلاف بہاؤ کے راستوں اور کمپیکٹ ترتیب کے ساتھ منفرد ماڈیولر آلات دستیاب ہیں۔ تمام اہم آلات سی-ای، یو-ایل اور آئی ایس او سرٹیفائیڈ ہیں۔ پانی کا دوبارہ استعمال ۹۵ فیصد سے زیادہ ہے، دیکھ بھال کی فریکوئنسی اور کیچڑ کی پیداوار کو کافی حد تک کم کیا گیا ہے، اور ماڈیولر خودکار ڈیزائن مستقبل میں صلاحیت کے وسیع ہونے کی حمایت کرتا ہے۔

وی۔ منصوبہ کے حوالہ جات اور معاون دستاویزات

بوفو نے کئی 8 انچ اور 12 انچ سلیکون ویفر تیار کرنے والی سہولیات کے لیے پانی کے استعمال کے بعد کے علاج کے نظام کو کامیابی کے ساتھ لاگو کیا ہے۔ ایک اہم منصوبہ جس کی صلاحیت روزانہ 1,200 میٹر³ ہے، سالوں سے قابل اعتماد طریقے سے کام کر رہا ہے، جس میں سلیکا سے متعلق غشائی آلودگی ختم کی گئی ہے اور فلورائیڈ اور سلیکیٹ کی سطح کو کنٹرول کیا گیا ہے، جبکہ ماحولیاتی اور فیکٹری کی منظوری بھی حاصل کر لی گئی ہے۔ حمایتی دستاویزات میں دریافت شدہ ٹیکنالوجیاں، سی ای / یو ایل / آئی ایس او سرٹیفیکیشنز، تیسرے فریق کی پانی کی معیار رپورٹس، منصوبہ قبولیت سرٹیفیکیٹس اور حوالہ منصوبے شامل ہیں۔

چھٹا۔ خدمات کا دائرہ کار اور منصوبہ کا کام کا طریقہ کار

بوفو مکمل ای پی سی ٹرن کی سروس فراہم کرتا ہے، جس میں مقامی سروے، پانی کے استعمال کے بعد کے تجزیہ، منفرد عمل اور آلات کی ڈیزائننگ، تیاری، انسٹالیشن، شروعات، آپریشن اور دیکھ بھال، نظام کی اپ گریڈنگ، اور زندگی بھر کے استعمال کے اجزاء کی فراہمی شامل ہے۔

عمل کا درجہ:

1. مقامی سروے اور پانی کے معیار کا تجزیہ۔
2. منفرد عمل کی ڈیزائننگ، قیمت کا تخمینہ اور منصوبہ بندی۔
3. آلات کی تیاری اور مقامی تعمیر۔
4. انسٹالیشن، کمیشننگ، اور کارکردگی کی تصدیق۔
5. ماحولیاتی قبولیت کی مدد اور آپریٹر کی تربیت۔
6. طویل مدتی ری موںٹیننس، معائنہ، اپ گریڈز، اور تکنیکی سپورٹ۔