I. Sumber Air Sisa, Pencemar Lazim & Ciri-Ciri Kualiti Air
Air sisa pengilangan wafer silikon dihasilkan terutamanya daripada proses penggilapan wafer, penggilapan, pembersihan permukaan, pemendapan lapisan nipis, fotolitografi, dan pembasuhan bilik bersih. Ia merupakan salah satu aliran air sisa terbesar dan paling kompleks dalam pengilangan semikonduktor berbasis silikon. Secara umumnya, air sisa ini diklasifikasikan kepada air sisa mengandungi fluorida, air sisa proses berasid/beralkali, air sisa pembersihan organik, air sisa kompleks logam berat, dan pekat berasid tinggi daripada pengeluaran air ultra tulen (UPW).
Bahan pencemar lazim termasuk fluorida, silikat, koloid silika ultrahalus, garam berasid dan beralkali, serta ion kuprum dan nikel dalam jumlah jejak, bersama dengan sisa fotoresist dan surfaktan. Air sisa ini menunjukkan ayunan pH yang ketara, koloid yang sangat stabil, potensi pengendapan yang kuat, dan kebolehbiogradasi yang lemah. Sesetengah logam berat wujud dalam bentuk kompleks yang stabil, yang sukar diasingkan melalui penutunan konvensional. Memandangkan pembuatan wafer memerlukan air proses berketulenan sangat tinggi, maka piawaian untuk penggunaan semula dan pelupusan air sisa adalah jauh lebih ketat berbanding piawaian bagi air sisa industri konvensional.
II. Cabaran Pelanggan Lazim
Koloid silika ultrahalus dan kompleks fluoro-silikat sukar dipisahkan, yang kerap menyebabkan pemendapan dalam paip, pendaraban membran, dan penghentian pengeluaran. Ketidakstabilan air sisa boleh mengakibatkan kepekatan fluorida dan logam berat yang terlalu tinggi, meningkatkan risiko ketidaksesuaian dengan peraturan alam sekitar. Rawatan aliran bercampur konvensional memerlukan penggunaan bahan kimia yang tinggi, menghasilkan jumlah lumpur berbahaya yang besar, serta kos operasi yang tinggi. Peralatan piawai sering tidak mempunyai rintangan kakisan dan prestasi anti-pendaraban yang mencukupi, manakala sistem binaan awam tradisional memerlukan ruang lantai yang luas dan sukar dikembangkan, menjadikan penyelesaian tersuai sangat diperlukan.
III. Proses Rawatan & Peralatan Utama
Proses yang disyorkan terdiri daripada pengumpulan berasingan, rawatan awal, pemecahan kompleks, penyingkiran fluorida dan silika, pengkoagulan dan pengenapan, pengoksidaan lanjutan, rawatan membran UF + RO tahan pendakap, serta pengurangan isipadu pekat. Penyeimbangan berasingan meminimumkan kejutan hidraulik. Pemecahan kompleks menyingkirkan kompleks logam berat, manakala penyingkiran fluorida/silika khusus menghilangkan kontaminan utama. Pengoksidaan lanjutan menyingkirkan bahan organik baki, dan sistem UF-RO menghasilkan air terpakai semula yang sesuai untuk pembersihan wafer. Kelengkapan utama termasuk tangki penyeimbangan tahan kakisan, reaktor pemecahan kompleks, reaktor penyingkiran fluorida & silika, sistem dosan pintar, modul membran tahan pendakap, penganalisis kualiti air dalam talian, dan sistem kawalan PLC.
IV. Kelebihan Penyelesaian
Penyelesaian ini secara berkesan mengatasi pengumpulan koloid silika, penyingkiran fluorida, kawalan logam berat, dan pendakapan membran sambil memastikan pematuhan yang stabil terhadap pembuangan dan penggunaan semula air. Peralatan modular tersuai tersedia dengan struktur tahan kakisan, saluran aliran anti-sumbat, dan susun atur padat. Semua peralatan utama disahkan oleh CE, UL, dan ISO. Penggunaan semula air melebihi 95%, frekuensi penyelenggaraan dan penghasilan lumpur dikurangkan secara ketara, manakala reka bentuk modular automatik menyokong pengembangan kapasiti pada masa hadapan.
V. Rujukan Projek & Dokumen Sokongan
Bofu telah berjaya melaksanakan sistem rawatan air sisa untuk beberapa kemudahan pengeluaran wafer silikon 8 inci dan 12 inci. Satu projek utama dengan kapasiti rawatan 1,200 m³/hari telah beroperasi secara boleh percaya selama bertahun-tahun, menghilangkan pendaraban membran akibat silika serta mengawal tahap fluorida dan silikat, sambil memenuhi piawaian penerimaan alam sekitar dan kilang. Dokumen sokongan termasuk teknologi bertenaga paten, sijil CE/UL/ISO, laporan kualiti air pihak ketiga, sijil penerimaan projek, dan rujukan projek.
VI. Lingkup Perkhidmatan & Aliran Kerja Projek
Bofu menyediakan perkhidmatan EPC siap pakai sepenuhnya, termasuk tinjauan tapak, analisis air sisa, rekabentuk proses dan peralatan tersuai, pembuatan, pemasangan, penyusunan, operasi & penyelenggaraan, peningkatan sistem, dan bekalan bahan habis pakai sepanjang hayat.
Aliran kerja:
1. Tinjauan tapak dan analisis kualiti air.
2. Rekabentuk proses tersuai, penawaran harga, dan susun atur.
3. Pembuatan peralatan dan pembinaan di tapak.
4. Pemasangan, penyusunan, dan pengesahan prestasi.
5. Bantuan penerimaan persekitaran dan latihan operator.
6. Penyelenggaraan jangka panjang, pemeriksaan, kemaskini, dan sokongan teknikal.
EN
