I. Kilder til avløpsvann, typiske forurensende stoffer og vannkvalitetsegenskaper
Avløpsvann fra silisiumwafer-produksjon oppstår hovedsakelig ved etsing, polering, overflaterensing, tynnfilmsavsetning, fotolitografi og vask av renrom. Det er en av de største og mest komplekse avløpsvannsstrømmene i silisiumbasert halvlederproduksjon. Avløpsvann klassifiseres vanligvis som fluoridholdig avløpsvann, surt/basiske prosessavløpsvann, organisk renseavløpsvann, tungmetallkompleks avløpsvann og saltrik konsentrat fra produksjon av ultrarent vann (UPW).
Typiske forurensende stoffer inkluderer fluorider, silikater, ultrafine kolloidale silika, sure og alkaliske salter samt spor av kobber- og nikkelioner, i tillegg til fotolakkrester og overflateaktive stoffer. Avløpsvannet viser betydelige pH-svingninger, svært stabile kolloider, sterkt inkrustasjonspotensiale og dårlig biologisk nedbrytbarhet. Noen tungmetaller forekommer i stabile kompleksformer som er vanskelige å fjerne ved konvensjonell felling. Ettersom vafertilvirkning krever prosessvann av ekstrem renhet, er både kravene til gjenbruk og utslipp av avløpsvann mye strengere enn for konvensjonelt industriavvann.
II. Vanlige kundeutfordringer
Ultrafine kiselsøl-kolloider og fluorosilikatkomplekser er vanskelige å separere, noe som ofte fører til avleiring i rørledninger, membranforurensning og produksjonsnedleggelse. Svingninger i avløpsvann kan føre til for høye konsentrasjoner av fluor og tungmetaller, noe som øker risikoen for manglende overholdelse av miljøkrav. Konvensjonell behandling av blandet avløpsstrøm krever høy kjemikalieförbrukning, produserer store mengder farlig slam og resulterer i høye driftskostnader. Standardutstyr mangler ofte tilstrekkelig korrosjonsbestandighet og anti-forurensningsegenskaper, mens tradisjonelle sivilbygde anlegg tar opp mye plass og er vanskelige å utvide, noe som gjør tilpassede løsninger nødvendige.
III. Behandlingsprosess og kjerneutstyr
Den anbefalte prosessen består av atskilt innsamling, forbehandling, dekompleksering, fjerning av fluorid og silika, koagulering og sedimentering, avansert oksidasjon, UF- og anti-fouling-RO-membranbehandling samt reduksjon av konsentratvolum. Atskilt utjevningsbehandling minimerer hydraulisk sjokk. Dekompleksering fjerner tungmetallkomplekser, mens dedikert fjerning av fluorid og silika eliminerer viktige forurensninger. Avansert oksidasjon fjerner resterende organiske stoffer, og UF-RO-systemet produserer gjenbrukt vann egnet for vaferskylning. Sentral utstyr inkluderer korrosjonsbestandige utjevningskar, dekomplekseringsreaktorer, reaktorer for fjerning av fluorid og silika, intelligente doseringssystemer, anti-fouling-membranmoduler, online-vannkvalitetsanalyserere og PLC-styringssystemer.
IV. Løsningsfordeler
Løsningen takler effektivt akkumulering av kiselsol, fjerning av fluorid, kontroll av tungmetaller og membranavsetting, samtidig som den sikrer stabil overholdelse av krav til utslipp og gjenbruk av vann. Tilpasset modulær utstyr er tilgjengelig med korrosjonsbestandige konstruksjoner, flomkanaler som ikke tetter til og kompakte oppsett. Alt viktig utstyr er sertifisert i henhold til CE-, UL- og ISO-standarder. Vannets gjenbruk overstiger 95 %, vedlikeholdsfrekvensen og slamprodusjonen reduseres betydelig, og det modulære automatiserte designet støtter fremtidig kapasitetsutvidelse.
V. Prosjektreferanser og støttedokumenter
Bofu har vellykket implementert avløpsvannsbehandlingsanlegg for flere fabrikker for produksjon av 8-tommers og 12-tommers silisiumwafer. Et flaggskipprosjekt med en behandlingskapasitet på 1 200 m³/dag har vært i drift pålitelig i flere år, og eliminerer membranforurensning forårsaket av silika samt kontrollerer nivåene av fluorid og silikat – samtidig som det oppfyller kravene fra både miljømyndigheter og fabrikkens akseptkriterier. Støttedokumenter inkluderer patenterede teknologier, CE-/UL-/ISO-sertifiseringer, uavhengige vannkvalitetsrapporter, prosjektakseptansesertifikater og referanseprosjekter.
VI. Tjenesteområde og prosjektarbeidsflyt
Bofu tilbyr fullstendige EPC-turnkey-tjenester, inkludert stedsundersøkelse, analyse av avløpsvann, tilpasset prosess- og utstyrsdesign, produksjon, installasjon, igangsetting, drift og vedlikehold, systemoppgraderinger samt levertilførsel av forbruksgoder gjennom hele systemets levetid.
Arbeidsflyt:
1. Stedsundersøkelse og analyse av vannkvalitet.
2. Tilpasset prosessdesign, prisantall og plassering.
3. Produksjon av utstyr og bygging på stedet.
4. Installasjon, igangsetting og ytelsesverifisering.
5. Miljøgodkjenningssupport og operatørutdanning.
6. Langsiktig vedlikehold, inspeksjon, oppgraderinger og teknisk støtte.
EN
