I. A szennyvíz forrásai, a tipikus szennyező anyagok és a vízminőségi jellemzők
A szilíciumlapkák gyártásából származó szennyvíz főként a lapkák etcholásából, csiszolásából, felületi tisztításából, vékonyréteg-lemezlerakásból, fotolitográfiából és a tisztasági osztályok (cleanroom) lemosásából keletkezik. Ez a szilíciumalapú félvezetőgyártás egyik legnagyobb és legösszetettebb szennyvízárama. A szennyvizet általában fluoridtartalmú szennyvízre, savas/lúgos technológiai szennyvízre, szerves tisztító szennyvízre, nehézfém-komplex szennyvízre és az ultratisztán víz (UPW) előállításából származó magas sótartalmú koncentrátumra osztják.
A tipikus szennyező anyagok közé tartoznak a fluoridok, szilikátok, ultrafinom szilícium-dioxid kolloidok, savas és lúgos sók, valamint nyomnyi réz- és nikkelionok, továbbá fényérzékeny festék-maradékok és felületaktív anyagok. A szennyvíz jellemzően erősen ingadozó pH-értéket mutat, nagyon stabil kolloidokat tartalmaz, erős lerakódási hajlamú, és rosszul biológiailag lebontható. Egyes nehézfémek stabil komplex formában fordulnak elő, amelyeket a hagyományos csapadékképzési eljárásokkal nehezen lehet eltávolítani. Mivel a félvezetőlapkák gyártása rendkívül magas tisztaságú folyamatvizet igényel, a szennyvíz újrahasznosítására és kibocsátására vonatkozó szabványok lényegesen szigorúbbak, mint a hagyományos ipari szennyvíz esetében.
II. Gyakori ügyfélkérdések
Az ultrafin szilícium-dioxid kolloidok és a fluoroszilikát komplexek elválasztása nehéz feladat, gyakran csővezeték-üledék-képződést, membrán-fertőződést és termelési leállásokat okoznak. A szennyvíz ingadozásai túlzott fluorid- és nehézfém-koncentrációkhoz vezethetnek, növelve az ökológiai szabályozási kockázatokat. A hagyományos kevert áramlású kezelés nagy mennyiségű vegyszerfelhasználást igényel, nagy térfogatú veszélyes iszapot termel, és magas üzemeltetési költségekkel jár. A szokásos berendezések gyakran nem rendelkeznek elegendő korrózióállósággal és lerakódásgátló teljesítménnyel, miközben a hagyományos épített rendszerek nagy területet foglalnak el, és bővítésük nehézkes, így testre szabott megoldásokra van szükség.
III. Kezelési folyamat és alapfelszerelés
A javasolt folyamat a szétválasztott gyűjtésből, előkezelésből, dekomplexálásból, fluorid- és szilícium-dioxid-eltávolításból, koagulációból és ülepítésből, fejlett oxidációból, UF + szennyeződés-ellenálló RO membránkezelésből, valamint a koncentrátum térfogatának csökkentéséből áll. A különálló kiegyenlítés minimalizálja a hidraulikus sokkot. A dekomplexálás eltávolítja a nehézfém-komplexeket, míg a külön fluorid-/szilícium-dioxid-eltávolító folyamat megszünteti a kulcsfontosságú szennyező anyagokat. A fejlett oxidáció eltávolítja a maradék szerves anyagokat, és az UF–RO rendszer újrahasznosított vizet állít elő, amely megfelel a szilíciumlapkák tisztításához. A fő berendezések közé tartoznak a korrózióálló kiegyenlítő tartályok, a dekomplexáló reaktorok, a fluorid- és szilícium-dioxid-eltávolító reaktorok, az intelligens adagoló rendszerek, a szennyeződés-ellenálló membránmodulok, az online vízminőség-elemzők és a PLC vezérlőrendszerek.
IV. Megoldás előnyei
A megoldás hatékonyan kezeli a szilícium-dioxid kolloidok felhalmozódását, a fluorid eltávolítását, a nehézfémek ellenőrzését és a membránok lerakódását, miközben biztosítja a szennyvízbe engedéshez és a víz újrafelhasználásához szükséges stabil megfelelést. Egyedi, moduláris berendezések érhetők el korrózióálló szerkezetekkel, eldugulás-ellenes áramlási csatornákkal és kompakt elrendezéssel. Az összes főbb berendezés CE-, UL- és ISO-tanúsítvánnyal rendelkezik. A víz újrafelhasználása meghaladja a 95%-ot, a karbantartási gyakoriság és a szennyiszap-termelés jelentősen csökken, és a moduláris, automatizált tervezés támogatja a jövőbeni kapacitásbővítést.
V. Projektreferenciák és támogató dokumentumok
A Bofu sikeresen telepített szennyvízkezelő rendszereket több 8 és 12 hüvelykes szilíciumlemez-gyártó létesítmény számára. Egy kiemelt projekt, amelynek kezelési kapacitása 1200 m³/nap, évek óta megbízhatóan üzemel, kiküszöbölte a szilícium-dioxidhoz kapcsolódó membrán-fertőződést, és szabályozza a fluorid- és szilikát-szinteket, miközben megfelel az ökológiai és gyári elfogadási követelményeknek. A támogató dokumentumok közé tartoznak a szabadalmazott technológiák, a CE/UL/ISO tanúsítványok, független harmadik fél által készített vízminőségi jelentések, projektfogadási tanúsítványok és referencia-projektek.
VI. Szolgáltatási kör és projekt-munkafolyamat
A Bofu teljes körű EPC kulcsrakész szolgáltatásokat nyújt, ideértve a helyszíni felmérést, a szennyvíz analízisét, az egyedi folyamat- és berendezéstervezést, a gyártást, a telepítést, az üzembe helyezést, az üzemeltetést és karbantartást, a rendszerfrissítéseket, valamint az élettartamra szóló fogyóeszköz-ellátást.
Munkafolyamat:
1. Helyszíni felmérés és vízminőségi elemzés.
2. Egyedi folyamattervezés, árajánlat és elrendezés.
3. Berendezések gyártása és helyszíni építés.
4. Telepítés, üzembe helyezés és teljesítmény-ellenőrzés.
5. Környezeti elfogadási segítségnyújtás és üzemeltetők képzése.
6. Hosszú távú karbantartás, ellenőrzések, frissítések és műszaki támogatás.
EN
