I. Kilder til spildevand, typiske forurenende stoffer og vandkvalitetskarakteristika
Spildevand fra fremstilling af siliciumwafer opstår primært ved ætsning af wafer, polering, rengøring af overflader, aflejring af tyndfilm, fotolitografi og rengøring af renrum. Det er en af de største og mest komplekse spildevandsstrømme i siliciumbaseret halvlederfremstilling. Spildevand klassificeres generelt som fluoridholdigt spildevand, surt/basiske proces-spildevand, organisk rengørings-spildevand, tungmetal-kompleks-spildevand samt koncentrat med høj saltindhold fra fremstilling af ultraren vand (UPW).
Typiske forureninger omfatter fluorider, silikater, ultrafine kolloidale siliciumdioxidpartikler, sure og basiske salte samt spor af kobber- og nikkelioner sammen med fotolitresiduer og overfladespændingsmidler. Spildevandet karakteriseres ved betydelige pH-svingninger, meget stabile kolloider, stærk udfældningstendens og dårlig biologisk nedbrydelighed. Visse tungmetaller forekommer i stabile komplekser, som er svære at fjerne ved konventionel fældning. Da waferproduktion kræver procesvand af ekstremt høj renhed, er både genbrugs- og udledningskravene langt strengere end for almindeligt industriel spildevand.
II. Almindelige kundeudfordringer
Ultrafine kiselsandkolloider og fluorosilikatkomplekser er svære at adskille, hvilket ofte fører til sedimentation i rørledninger, membranforurening og produktionsstop. Svingninger i spildevandet kan føre til for høje koncentrationer af fluorid og tungmetaller, hvilket øger risikoen for manglende overholdelse af miljøkrav. Konventionel behandling af blandede strømme kræver stor kemikalieforbrug, genererer store mængder farligt slam og medfører høje driftsomkostninger. Standardudstyr mangler ofte tilstrækkelig korrosionsbestandighed og anti-forureningsevne, mens traditionelle bygningsbaserede systemer optager store arealer og er svære at udvide, hvilket gør skræddersyede løsninger nødvendige.
III. Behandlingsproces og kerneudstyr
Den anbefalede proces består af adskilt indsamling, forbehandling, dekompleksering, fjernelse af fluorid og kiselsyre, koagulation og sedimentation, avanceret oxidation, UF + anti-fouling RO-membranbehandling samt koncentratvolumenreduktion. Adskilt udligevning minimerer hydraulisk chok. Dekompleksering fjerner tungmetal-komplekser, mens dedikeret fjernelse af fluorid/kiselsyre eliminerer centrale forureninger. Avanceret oxidation fjerner resterende organiske stoffer, og UF-RO-systemet producerer genbrugt vand, der er egnet til waferrensning. Kerneudstyr omfatter korrosionsbestandige udligevningstanke, dekomplekseringsreaktorer, fluorid- og kiselsyrefjernelsesreaktorer, intelligente doseringssystemer, anti-fouling membranmoduler, online vandkvalitetsanalyser og PLC-styringssystemer.
IV. Løsningsfordele
Løsningen håndterer effektivt akkumulering af kiselsol, fjernelse af fluorid, kontrol af tungmetaller og membranaflejring, samtidig med at den sikrer stabil overholdelse af kravene til udledning og genbrug af vand. Tilpasset modulær udstyr er tilgængeligt med korrosionsbestandige konstruktioner, anti-tildæmmende strømningskanaler og kompakte layout. Alt større udstyr er certificeret i henhold til CE-, UL- og ISO-standarder. Vandgenbrug overstiger 95 %, vedligeholdelsesfrekvensen og slamdannelsen reduceres betydeligt, og den modulære automatiserede design understøtter fremtidig kapacitetsudvidelse.
V. Projektreferencer og dokumentation
Bofu har succesfuldt implementeret spildevandstreatmentsystemer til flere produktionsfaciliteter for 8-tommers og 12-tommers siliciumwafer. Et fremtrædende projekt med en behandlingskapacitet på 1.200 m³/dag har kørt pålideligt i årevis, hvilket eliminerer silika-relateret membranforurening og kontrollerer fluorid- og silikatniveauer, samtidig med at det opfylder miljømæssige krav samt fabrikks acceptkrav. Understøttende dokumenter inkluderer patenterede teknologier, CE/UL/ISO-certificeringer, uafhængige vandkvalitetsrapporter, projektaftagelsescertifikater og referencenprojekter.
VI. Serviceomfang og projektopgaveflow
Bofu leverer komplette EPC turnkey-services, herunder lokalundersøgelse, spildevandsanalyse, skræddersyet proces- og udstyrsdesign, fremstilling, installation, idriftsætning, drift og vedligeholdelse, systemopgraderinger samt levetidslevering af forbrugsartikler.
Arbejdsgang:
1. Lokalundersøgelse og vandkvalitetsanalyse.
2. Skræddersyet procesdesign, tilbud og layout.
3. Fremstilling af udstyr og byggeaktiviteter på stedet.
4. Installation, idriftsættelse og ydeevneverificering.
5. Miljømæssig godkendelseshjælp og operatørtræning.
6. Langtidsvedligeholdelse, inspektion, opgraderinger og teknisk support.
EN
