I. Vituo vya Maji ya Kuponya, Uchafuzi wa Kawaida na Tabia za Ubora wa Maji
Maji ya kuponya kutoka kwa uzalishaji wa silikoni wafer huundwa kubwana kutoka kwa kufinyanga wa wafer, kuchakata, kufuta uso, kufanya filmi ndogo, photolithography, na mchakato wa kufuta chumba cha safi. Ni moja ya mikondo kubwa zaidi na yanayotarajia zaidi ya maji ya kuponya katika uzalishaji wa semiconductor zenye msingi wa silikoni. Maji ya kuponya mara nyingi hujumlishwa kama maji ya kuponya yenye fluoride, maji ya kuponya ya mchakato yenye asidi/alkali, maji ya kuponya ya kusafisha ya kiumbe, maji ya kuponya yenye uunganisho wa metali nzito, na maji ya kuponya yenye ushiriki mkubwa kutoka kwa uzalishaji wa maji ya safi sana (UPW).
Vituo vya kawaida vinajumuisha fluoridi, silikati, koloidi za silika ya ukubwa wa chini sana, deshi za asidi na alkali, na viungo vya shaba na nikeli vya kiasi kidogo, pamoja na mabaki ya photorezisti na surfaktanti. Maji ya uvuruga yana mabadiliko makubwa ya pH, koloidi yenye ustawi mkubwa sana, uwezekano mkubwa wa kujenga kipindi cha kuvuruga (scaling), na uwezekano mdogo wa kuharibika kwa vitu vya kiume. Baadhi ya metali nzito zinapatikana katika fomu za kushirikiana zenye ustawi ambazo hazijaweza kufukuzwa kwa njia ya kawaida ya kufukuzwa. Kwa sababu utengenezaji wa wafer unahitaji maji ya kazi ya ubora wa juu sana, vipengele vya kutumia tena maji ya uvuruga na viwango vya kutoa ni vya kipekee kuliko vya maji ya uvuruga ya viwanda vya kawaida.
II. Changamoto za wateja wanazozitumia mara kwa mara
Koloidi za silika ya kina sana na majumu ya fluorosilikati ni ngumu kuzozwa, mara nyingi husababisha uchafuzi wa mitambo, uchafuzi wa membrane, na kupungua kwa uzalishaji. Mabadiliko ya maji ya matumizi yanayotumiwa tena yanaweza kusababisha ongezeko la fluoride na metali nzito, kuhongeza hatari za kufuata sheria za mazingira. Uzalishaji wa maji ya matumizi yanayotumiwa tena kwa njia ya kuchanganya mitiririko inahitaji matumizi ya kemikali mingi, huunda uchafuzi mkubwa wa asidi, na huleta gharama kubwa za uendeshaji. Vifaa vya kawaida mara nyingi havina uwezo wa kuzuia uvunjika kwa sababu ya asidi na uwezo wa kuzuia uchafuzi kwa kina, wakati mfumo wa kujenga kwa mikono unachukua eneo kubwa na ni ngumu kuzidisha, kama hivyo suluhisho zinazofanana na mahitaji ni muhimu.
III. Mchakato wa Kuzozwa na Vifaa vya Msingi
Mchakato ulioshauriwa unajumuisha kusafisha kwa kujitenga, usambazaji wa awali, kuteketeza uunganisho, onyo la fluoride na silica, ukamili na kushikwa kwa mafuta, uvutaji wa kina, ufumbuzi wa UF pamoja na kumbukumbu ya RO ya kupindua uchafuzi, na kupunguza kiasi cha mfumo wa kuvutwa. Kujitenga kwa usawa kunapunguza mgawo wa maji. Kuteketeza uunganisho hufuta uunganisho wa metali nzito, wakati usafishaji wa kipekee wa fluoride/silica hufuta vifaa vya uchafuzi muhimu. Uvutaji wa kina hufuta vifaa vya kisasa vya kiume, na mfumo wa UF-RO hutoa maji yanayoweza kutumika tena kwa usafishaji wa wafer. Vifaa muhimu vya msingi ni vyombo vya kuhifadhi vya kusawa vinavyoharibika kwa urahisi, vyombo vya kuteketeza uunganisho, vyombo vya kufuta fluoride na silica, mfumo wa kutoa dawa kwa busara, vifungu vya kumbukumbu vinavyopindua uchafuzi, vianalyzer vya ubora wa maji vinavyotumika kwenye mtandao, na mfumo wa udhibiti wa PLC.
IV. Faida za Suluhisho
Suluhisho hili linashughulikia kikamilifu kukusanyika kwa koloidi ya silika, ongeza kwa fluoride, udhibiti wa metali nzito, na kuchafua ya membrane, wakati huo huo ukidumisha utii wa kudumu kwa uondolewaji wa maji na urudufu wa maji. Vifaa vya kipekee vya kipande vinapatikana na miundo inayolinda dhidi ya uvunjivu, vifungo vya mtiririko vinayolinda dhidi ya kufunguka, na mpangilio mrefu. Vifaa vyote vya kuu vimeidhinishwa na CE, UL, na ISO. Urudufu wa maji unapita 95%, tarakimu ya usimamizi na uzao wa mchanga unapungua kwa kiasi kikubwa, na muundo wa kipekee unaotarajia kujitawala unasaidia kuongeza uwezo wa baadaye.
V. Marejeo ya Mradi na Vitambulisho vya Msaada
Bofu amefanikisha kutekeleza mifumo ya kutengeneza maji yaliyosagwa kwa kazi za uuzaji wa silikoni ya 8-inchi na 12-inchi. Mradi mkuu wenye uwezo wa kutengeneza maji ya 1,200 m³/kila siku umeshafanya kazi kwa muda mrefu bila shida, ukakomboa ufoulingi wa membrane unaohusiana na silika na kuwakilisha kiwango cha fluoride na silikati pamoja na kupita utambulisho wa mazingira na wa kampuni. Vitambulisho vya msaada vinajumuisha teknolojia zilizopatikana haki, sertifikati za CE/UL/ISO, ripoti za ubora wa maji kutoka kwa mtandaoni, sertifikati za kukubali mradi, na miradi ya kumbukumbu.
VI. Kipindi cha Huduma na Mtiririko wa Mradi
Bofu inatoa huduma kamili za EPC za kujitawala, ikiwemo utafutaji wa eneo, kuchambua ubora wa maji yaliyosagwa, ubunifu wa mchakato na vifaa kulingana na mahitaji, uzalishaji, usanidi, kuanzisha, kufanya majaribio, uendeshaji na usimamizi, kuboresha mfumo, na usambazaji wa vitu vya matumizi kwa wakati wote.
Mtiririko wa kazi:
1. Utafutaji wa eneo na kuchambua ubora wa maji.
2. Ubunifu wa mchakato kulingana na mahitaji, kuipa bei, na mpangilio.
3. Uzalishaji wa vifaa na kujenga kwenye eneo.
4. Uwekaji, kuanzisha na uthibitisho wa utendaji.
5. Msaada katika kukubali mazingira na mafunzo ya watumiaji.
6. Ushughulikiaji muda mrefu, ukaguzi, uboreshaji na msaada wa teknolojia.
EN
