Solusyon para sa Pagpapalinis ng Tubig na Basura mula sa Paggawa ng Silicon Wafer

I. Mga Pinagmulan ng Tubig na Panustos, Karaniwang mga Polutante, at mga Katangian ng Kalidad ng Tubig

Ang tubig na panustos mula sa paggawa ng silicon wafer ay pangunahing nabubuo mula sa pag-etch ng wafer, pagpo-polish, paglilinis ng ibabaw, pag-deposito ng manipis na pelikula, photolithography, at mga proseso ng paghuhugas sa cleanroom. Ito ang isa sa pinakamalaki at pinakakumplikadong daloy ng tubig na panustos sa paggawa ng semiconductor na batay sa silicon. Karaniwang hinahati ang tubig na panustos sa mga sumusunod: tubig na may laman na fluoride, acidic/alkaline na tubig mula sa proseso, tubig na may organikong kalinisan, tubig na may komplikadong heavy metal, at mataas na konsentrasyon ng asin mula sa produksyon ng ultrapure water (UPW).

Kasagaran ng mga kontaminante ay ang mga fluoride, silikato, ultra-maliit na koloideng silica, asidong at alkalining mga asin, at maliit na halaga ng mga ion ng tanso at nikel, kasama ang mga residwang photoresist at surfactant. Ang tubig na basura ay may malaking pagbabago sa pH, napakatibay na koloid, mataas na posibilidad ng pagbuo ng scale, at mahinang biodegradability. Ang ilang mga heavy metal ay umiiral sa matatag na anyong nakakomplekso na mahirap alisin gamit ang karaniwang proseso ng precipitation. Dahil ang paggawa ng wafer ay nangangailangan ng napakalinis na tubig para sa proseso, ang mga pamantayan para sa muling paggamit at pag-alis ng tubig na basura ay napakasigla kumpara sa mga karaniwang pamantayan para sa tubig na basura mula sa industriya.

II. Karaniwang Hamon ng mga Customer

Ang mga ultrafine silica colloids at fluorosilicate complexes ay mahirap paghiwalayin, kaya’t madalas na nagdudulot ng sedimentation sa pipeline, membrane fouling, at pagpapahinto ng produksyon. Ang mga pagbabago sa wastewater ay maaaring magdulot ng labis na konsentrasyon ng fluoride at heavy metal, na nagpapataas ng panganib sa pagkakaroon ng environmental compliance. Ang karaniwang mixed-stream treatment ay nangangailangan ng mataas na consumption ng kemikal, lumilikha ng malalaking dami ng hazardous sludge, at nagreresulta sa mataas na operating costs. Ang karaniwang kagamitan ay madalas na kulang sa sapat na corrosion resistance at anti-fouling performance, samantalang ang tradisyonal na civil-built systems ay kumukuha ng malawak na espasyo at mahirap palawakin, kaya’t kinakailangan ang customized solutions.

III. Treatment Process & Core Equipment

Ang inirerekomendang proseso ay binubuo ng hiwalay na pagkolekta, pre-treatment, decomplexation, pag-alis ng fluoride at silica, coagulation at sedimentation, advanced oxidation, UF + anti-fouling RO membrane treatment, at pagbawas ng dami ng concentrate. Ang hiwalay na equalization ay nagpapababa ng hydraulic shock. Ang decomplexation ay nag-aalis ng mga complex ng heavy metal, samantalang ang dedikadong fluoride/silica removal ay nagtatanggal ng mga pangunahing contaminant. Ang advanced oxidation ay nag-aalis ng natitirang organics, at ang sistema ng UF-RO ay gumagawa ng reclaimed water na angkop para sa paglilinis ng wafer. Kasama sa pangunahing kagamitan ang mga corrosion-resistant equalization tanks, decomplexation reactors, fluoride & silica removal reactors, intelligent dosing systems, anti-fouling membrane modules, online water quality analyzers, at PLC control systems.

IV. Mga Kawilihan ng Solusyon

Ang solusyon ay epektibong nakakatugon sa pag-akumula ng silica colloid, pag-alis ng fluoride, kontrol sa heavy metal, at pagkakaroon ng scale sa membrane habang tiyakin ang matatag na pagsunod sa mga pamantayan para sa paglabas ng tubig at muling paggamit nito. Magagamit ang pasadyang modular na kagamitan na may mga istrukturang tumutol sa corrosion, daloy na mga channel na hindi madadaya, at kompakto ang layout. Ang lahat ng pangunahing kagamitan ay sertipikado ng CE, UL, at ISO. Ang muling paggamit ng tubig ay lumalampas sa 95%, nababawasan nang malaki ang kadalasan ng pagpapanatili at paglikha ng sludge, at ang modular na awtomatikong disenyo ay sumusuporta sa hinaharap na pagpapalawak ng kapasidad.

V. Mga Sanggunian sa Proyekto at Suportadong Dokumento

Matagumpay na ipinatupad ng Bofu ang mga sistemang panggamot ng tubig na basura para sa maraming pasilidad na gumagawa ng silicon wafer na may sukat na 8 pulgada at 12 pulgada. Ang isang pangunahing proyekto na may kakayahang gamutin ang 1,200 m³/araw ay tumatakbo nang maaasahan sa loob ng ilang taon, na nag-aalis ng pagkakabulok ng membrane dulot ng silica at kontrolado ang antas ng fluoride at silicate habang natutugunan ang mga pamantayan sa kapaligiran at sa pagsasaayos ng pasilidad. Kasama sa mga sumusuportang dokumento ang mga nakarehistrong teknolohiya, sertipikasyon ng CE/UL/ISO, mga ulat sa kalidad ng tubig mula sa ikatlong partido, mga sertipiko ng pagsasaayos ng proyekto, at mga sangguniang proyekto.

VI. Saklaw ng Serbisyo at Daloy ng Proyekto

Ang Bofu ay nagbibigay ng kumpletong serbisyo sa EPC turnkey, kabilang ang pagsusuri sa lokasyon, pagsusuri sa kalidad ng tubig na basura, pasadyang disenyo ng proseso at kagamitan, paggawa, pag-install, pagsisimula, operasyon at pangangalaga, pag-upgrade ng sistema, at suplay ng mga konsumible sa buong buhay ng sistema.

Daloy ng Trabaho:

1. Pagsusuri sa lokasyon at pagsusuri sa kalidad ng tubig.
2. Pasadyang disenyo ng proseso, presyo, at layout.
3. Pagpapagawa ng kagamitan at konstruksyon sa lokasyon.
4. Pag-install, pagpapagana, at pagpapatunay ng pagganap.
5. Tulong sa pagtanggap sa mga kondisyon ng kapaligiran at pagsasanay sa mga operator.
6. Pangmatagalang pagpapanatili, inspeksyon, pag-upgrade, at suporta sa teknikal.